Ýokary Takyklykly Spektroskopik Ellipsometr | Zyýansyz Inçe Plenka Galyňlygyny we Döwülme Indeksini Ölçemek Ulgamy
Sargyt etmek boýunça görkezmeler
Önümiň aýratyn häsiýeti sebäpli, sahypada görkezilen baha hakyky baha däl-de, başlangyç bahadyr. Bahany bilmek üçin müşderi hyzmaty bilen habarlaşyň.
Öňünden habarlaşman göni berlen sargytlar iberilip bilinmez! Hyzmatdaşlygyňyz üçin sag boluň! Önüm barada has giňişleýin maglumat almak üçin önüm broşýuralaryny almak üçin müşderi hyzmaty bilen habarlaşyň.
Esasy ölçegler
Plenkanyň galyňlygy (bir gatlaklydan köp gatlaga çenli)
Synma görkezijisi (n) we Sönme koeffisiýenti (k)
Optik zolak aralygy (Mysal üçin)
Ýüziň gödekligi
Tehniki esasy zatlar
Giň spektral diapazon: köpugurly materiallary seljermek üçin UV-den NIR-e çenli örtük
Ýokary duýgurlyk: Ultra inçe plýonkalary nanometrden kiçi ölçege çenli ölçäp bilýär
Kontaktsyz we zyýansyz: Ylmy-barlag we işläp taýýarlamak we önümçilik gurşawlarynda duýgur nusgalar üçin ideal
Ösen Modelleşdiriş Programma üpjünçiligi: Ulanyjy üçin amatly iş akymlary bilen çylşyrymly köp gatlakly stek analizini goldaýar
Programmalar
Bu ulgam ýarymgeçirijiler önümçiliginde, optiki örtükde, tekiz panelli displeýlerde, fotowoltaik (gün batareýasy) işläp düzmekde, material ylmy barlaglarynda we biosensingde giňden ulanylýar.
Näme üçin biziň çözgüdimizi saýlaýarys
Güýçli ylmy-barlag we işläp taýýarlamak mümkinçiliklerine eýe bolan professional önüm öndüriji hökmünde biz zawoddan göni bahalary, sazlanyp bilinýän konfigurasiýalary we ýörite tehniki goldawy hödürleýäris. Size laboratoriýa analizleri üçin stol üsti ulgamy ýa-da önümçiligi gözegçilik etmek üçin içerki çözgüt gerek bolsa-da, biz enjamyň ölçeg zerurlyklaryňyzy anyklaşdyryp bileris.
Baha soraň
Arzaňyzy ara alyp maslahatlaşmak ýa-da baha soramak üçin şu gün biziň bilen habarlaşyň. Toparymyz size iň gowy inçe plýonka ölçeg çözgüdini saýlamaga kömek etmek üçin mugt tehniki maslahat berýär.
Esasy tehniki parametrler
1. Ölçeg mümkinçilikleri: 16-njy derejeli Mýuller matrisasynyň elementleri, polýarizasiýa spektri Psi/Delta, döwülme görkezijisi, galyňlyk, iki sindirilme we dielektrik yzygiderliligi we ş.m.
2. Spektral diapazon: 210nm-1690nm
3. Tolkun uzynlygynyň aralygy: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm
4. Bir Nokatly Ölçeg Wagty: ≤10s
5. Mikro nokatlaryň ululygy: ≤200μm
6. Modulýasiýa tehnologiýasy: PCSCA iki aýlawly kompensator ulgamynyň modulýasiýa
7. Awtomatiki nusga tapgyry: Z okunyň awtomatiki fokuslamasy, iň ýokary hereket 18 mm, iň pes ädim 1 µm
8. Plenkanyň galyňlygynyň gaýtalanma takyklygy: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 gezek gaýtalanan ölçeg, 1σ hökmünde hasaplanýar)
9. Döwülme görkezijisiniň gaýtalanma takyklygy: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 gezek gaýtalanan ölçeg, 1σ hökmünde hasaplanýar)
10. Plenkanyň mutlak galyňlygynyň takyklygy: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, üçünji tarapyň metrologiýa hasabaty berilýär)
11. Kartalaşdyrma funksiýasy: Ýokary takyklykly x/y görnüşli awtomatiki skanirleme tapgyryny ulanýar, 2/4/6/8 dýuýmly substratlaryň awtomatiki ýerleşişini we skanirleme ölçeglerini goldaýar, gaýtalanma takyklygy ≤6μm, 2D/3D plýonka galyňlygynyň paýlanyş kartalaryny bir gezek basmak bilen döredýär
12. Lazer aralygy we fokuslama: Lazer şöhlelenme optiki ýoly arkaly awtomatiki fokus aralygyny ýerleşdirmek, fokuslama syýahaty ≤3 mm
13. Tapawut modeli: psi-diff we delta-diff tapawut maglumatlaryny awtomatiki usulda hasaplaýar
14. Analiz programma üpjünçiligi: Iň azyndan 5 dürli ölçeg režimine, 100-den gowrak optiki materiallar üçin gurlan n/k maglumat bazasyna eýedir we ýörite maglumat bazalaryny döretmegi goldaýar; bir gatlakly, köp gatlakly (30 gatlaga çenli) we koşi, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline we Oscillator modellerini öz içine alýan kompozit üýtgeýän inçe plýonkalar üçin synag we modelleşdirme analiz mümkinçiliklerine eýedir we oflaýn programma üpjünçiliginiň ygtyýarnamasyny goldaýar.
Tehniki aýratynlyklar
I. Enjamlar bilen tanyşdyryş
ME-Mapping Spektroellipsometriýasy ýokary takyklykly maglumatlary seljermek algoritmleri bilen utgaşdyrylan iki aýlawly kompensator modulýasiýa tehnologiýasyna eýedir. Ol tutuş Mueller matrisasynyň we polýarizasiýa spektriniň ähli 16 elementini bir ölçegde alyp bilýär, bu bolsa çalt we zyýansyz nusga ölçemäge mümkinçilik berýär. Enjam durnukly optiki ýol dizaýnyna eýedir we ýarymgeçirijili sowadyjy detektory ulanýar, birnäçe sekuntda ýagtylyk intensiwligi signallaryny alýar. Ol has çalt ölçeme tizligini we has ýokary takyklygy hödürleýär, dürli inçe plýonka materiallary üçin galyňlyk, döwülme görkezijisi, sönme koeffisiýenti we optiki dielektrik hemişelik ýaly parametrleriň takyk ölçemesini goldaýar. Mundan başga-da, dürli uly ölçegli nusgalaryň köp nokatly kartalaşdyrma skanerleme ölçegleri üçin dürli ölçegli "wafer gaýtalanýan ýerleşdiriş tapgyrlary" bilen sazlanyp bilner.
II. Ulanylyş çägi
Ellipsometristler esasan ýarymgeçirijilerde, tekiz panelli displeýlerde, gün fotoelektrikalarynda, optiki inçe plýonkalarda, optiki aragatnaşykda we nanomateriallarda ulanylýar.
III. Umumy tehniki talaplar
1. Tehniki aýratynlyklar:
1.1 Ölçeg parametrleri: 16-njy derejeli Mýuller matrisasynyň elementleri, Psi/Delta, döwülme görkezijisi, galyňlyk, iki synma we dielektrik hemişelik we ş.m.
1.2 Spektral diapazon: 210nm-1690nm;
1.3 Bir nokatly ölçeg wagty: ≤10s;
1.4 Mikronoklaryň ululygy: ≤200μm;
1.5 Modulýasiýa tehnologiýasy: PC1SCA iki gezek aýlanýan kompensasiýa modulýasiýa;
1.6 Awtomatiki nusga tapgyry: Awtomatiki z okuna fokuslamany goldaýar, iň ýokary hereket 18 mm, iň pes ädim 1μm;
1.7 Plenkanyň galyňlygynyň gaýtalanmagy takyklygy: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 gezek gaýtalanan ölçeg, 1σ hasaplandy);
1.8 Döwülme görkezijisiniň gaýtalanma takyklygy: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 gezek gaýtalanan ölçeg, 1σ hasaplandy);
1.9 Plenkanyň mutlak galyňlygynyň takyklygy: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, üçünji tarapyň metrologiýa hasabaty berilýär); μm
1.10 Kartalaşdyrma funksiýasy: 2/4/6/8 dýuýmlyk substratlaryň awtomatiki ýerleşişini we skanirleme ölçeglerini goldaýan, gaýtalanma takyklygy ≤6μm bolan ýokary takyklykly x/y görnüşli awtomatiki skanirleme tapgyryny ulanýar we 2D/3D plýonka galyňlygynyň paýlanyş kartalaryny bir gezek basmak bilen döredýär;
1.11 Lazer aralygyny ölçemek we fokuslamak: Fokus aralygyny lazer şöhlelenme optiki ýoluny ulanyp awtomatiki usulda ýerleşdirýär, fokus tapyş syýahaty ≤3 mm;
1.12 Plenkanyň galyňlygynyň ölçeg aralygy: 1nm-10μm;
1.13 Tapawut Modeli: psi-diff we delta-diff tapawut maglumatlaryny awtomatiki usulda hasaplaýar;
1.14 Analiz programma üpjünçiligi:
* Spektroskopik Ölçeg Ukyplary: Doly Mueller matrisasynyň 16 elementi, Psi/Delta polýarizasiýa spektroskopiýasy, N/C/S, depolýarizasiýa we ş.m.;
* Maglumatlary seljermek mümkinçilikleri: Bir gatlakly we köp gatlakly (20 gatlaga çenli) izotrop we anizotrop inçe plýonka materiallarynyň galyňlygyny we optiki konstantalaryny (n, k) seljermäge ukyply;
* Köp komponentli inçe plýonkalaryň we göwrümli materiallaryň optiki yzygiderlikleri, döwülme görkezijisiniň gradient paýlanyşy, deň derejeli gurşaw, gödeklik we ş.m. üçin modelleri goldaýar;
* Umumy optiki yzygiderli modelleri we umumy ossilýator modellerini (Koşi modeli, Lorens modeli, Gauss modeli, Drude, Sellmeier we ş.m.) goldaýar we grafiki köp ossilýatorly gibrid modeliň sazlanmagyny goldaýar;
* 2D/3D topografik suratlary çykarmagy, taryhy maglumatlary görmegi, şeýle hem maglumatlary we degişli hasabatlary eksport etmegi we redaktirlemegi goldaýar;
* Maglumat Çykyş Formatlary: TXT, CSV, SNAP snapshot, raw spectrum, DAT we ş.m.;
* Faza gijikdiriş ölçeglerini goldaýar, faza gijikdirişini, azimut burçuny, optiki aýlanma burçuny, amplituda gatnaşygyny, tertibini we ş.m. synagdan geçirip bilýär;
* 1D/2D döwürleýin tor gurluşynyň analizine we modelleşdiriş funksiýalaryna eýe.
2. Konfigurasiýa sanawy:
1) Ellipsometriň esasy blokunyň bir toplumy;
2) Ellipsometriýa golunyň we analizator golunyň her birinden bir toplum;
3) Awtomatiki nusga tapgyrlarynyň bir toplumy;
4) Analiz programma üpjünçiliginiň bir toplumy;
5) Standart slaýdlaryň bir toplumy;
6) Bir kompýuter;
7) Bir topar sazlama gurallary;
8) Mikro nokatly toplumyň bir toplumy;
9) Bir wakuum adsorbsiýa nasosy;
10) Bir kartalaşdyryş skanirleme tapgyry.
3. Ölçeg we dolandyryş kompýuteri
Windows 10 operasiýa ulgamy bolan täjirçilik senagat kompýuterini ulanýar; CPU: i7 prosessor; Ýatda saklamak: 15 GB; Gaty disk: 1 TB; LCD monitor: 24 dýuým; syçanjyk we klawiatura bilen birlikde.
4. Daşky gurşaw we energiýa talaplary:
1) Platformanyň talaplary: 2.0m (uzynlyk) x 1.2m (ini), ýük göterijiligi 100 kg-dan ýokary (optiki titreme izolýasiýasy maslahat berilýär).
2) Işleýiş temperaturasynyň diapazony: 20~30°C
3) Nisbi çyglylyk: 35% ~ 60% RH
4) Elektrik üpjünçiliginiň woltlylygy: 220VAC
5) Faza Toky: RMS bahasy 4A-dan (220VAC) az;
6) Maksimum güýç: 800W
Ellipsometriýa Ölçeg Obýekti
Ellipsometriýanyň ölçeg prinsipi
Ellipsometriýa Analiz Prosesi
Muller Matrisa Ellipsometriýasy
ME-L Mueller Matrisa Ellipsometriýasy
Ylmy derejeli doly awtomatiki ýokary takyklykly Mueller matrisa ellipsometriýasy
Doly awtomatiki burç sazlamak we fokuslamak tehnologiýasy, bir gezek basmak bilen çalt ölçemek
Ýolbaşçylyk edilýän interaktiw adam-maşyn interfeýsi, amatly programma üpjünçiligini ulanmak tejribesi
Baý materiallar bazasy we algoritm model kitaphanasy, güýçli maglumatlary seljermek mümkinçilikleri
Tehniki aýratynlyklar
| Model belgisi | ME-L |
| Programmalar | Ylmy-barlag/Kärhana derejesi |
| Esasy funksiýalar | Psi/Delta, R/T, Mueller Matrix we beýleki optiki sensorlar |
| Spektr analizi | 380-1000nm (193-2500nm çenli giňelmegi goldaýar) |
| Bir gezek ölçemek wagty | ≤15s |
| Gaýtalanýan Ölçeg Takyklygy | 0.005nm |
| Absolýut takyklyk (Ölçeg howasynyň üsti bilen) | Ellipsometriýa parametrleri: 4 = 45 ± 0.05°, A = 0 ± 0.1° Muller matrisasy: Diagonal element m = 10.005 Diagonaldan daşary element m = 0 ± 0.005 |
| Döwülme görkezijisiniň gaýtalanmagy takyklygy | 0.0005 |
| Nokatlaryň ululygy | Uly tegmiliň ölçegi: 2-4 mm Kiçi tegmiliň ululygy: 200 μm/100 μm Ultra kiçi tegmil ölçegi: 50 μm (tolkun uzynlygyna baglylykda) |
Gaýtalanýanlygyň takyklyk indeksi 100 nm SiO2/Si standart nusgasynyň 30 gezek gaýtalanýan ölçeglerine esaslanýar;
Guralyň anyk tehniki parametrleri hakyky funksional modullar we aksessuarlar bilen baglanyşyklydyr we tablisadaky maglumatlar diňe salgylanmak üçindir.
Goşmaça Konfigurasiýalar
| Toparyň saýlanyşy | VN: 380-1650nm |
| V: 380-1000nm | BMG: 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | BMG+: 210-2500nm |
| DUV: 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
Burç saýlamak
Beklenen: 65°
Awtomatiki: 45-90°
Goly bilen: 45-90° (5° aralyklar)
Başga wariantlar
Kartalaşdyryş opsiýalary: 100*100mm/200*200mm
Temperatura gözegçilik tapgyry: 190-550°C/RT-1000°C
Biz barada
Zawodyň profili
Näme üçin bizi saýlaýarys
Köp soralýan soraglar
S1: Biz kim?
A1: 2015-nji ýylda esaslandyrylan MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd kompaniýasy yzygiderli ösdi we Rheinland ISO 9001 standartyndan geçdi.
awtentifikasiýa. Germaniýanyň SACCKE ýokary derejeli bäş okly üweme merkezleri, Germaniýanyň ZOLLER alty okly gurallary barlamak merkezi, Taýwanyň PALMARY enjamy we beýleki halkara ösen önümçilik enjamlary bilen biz ýokary derejeli, professional we netijeli CNC gurallaryny öndürmäge borçlanýarys.
S2: Siz söwda kompaniýasymy ýa-da öndürijimi?
A2: Biz karbid gurallarynyň zawodydyrys.
S3: Önümleri Hytaýdaky ekspeditorymyza iberip bilersiňizmi?
A3: Hawa, eger Hytaýda ekspeditoryňyz bar bolsa, biz oňa önümleri ibermekden hoşal bolarys.
S4: Töleg şertleriniň haýsylary kabul ederlikli?
A4: Adatça biz T/T kabul edýäris.
S5: Siz OEM sargytlaryny kabul edýärsiňizmi?
A5: Hawa, OEM we özelleşdirme elýeterlidir, şeýle hem biz etiket çap etmek hyzmatyny hödürleýäris.
S6: Näme üçin bizi saýlamaly?
A6:1) Çykdajylaryň gözegçiligi - ýokary hilli önümleri degişli bahadan satyn almak.
2) Çalt jogap - 48 sagadyň dowamynda hünärmen işgärler size teklip berer we aladalaryňyzy çözüp bererler.
3) Ýokary hilli - Kompaniýa hödürleýän önümleriniň 100% ýokary hillidigini hemişe ak ýürekden subut edýär.
4) Satuwdan soňky hyzmat we tehniki görkezmeler - Kompaniýa müşderileriň talaplaryna we zerurlyklaryna laýyklykda satuwdan soňky hyzmat we tehniki görkezmeler berýär.
