Elîpsometreya Spektroskopîk a Rastbûna Bilind | Pergala Pîvandina Stûriya Fîlma Tenik a Ne-Têkçûn û Endeksa Refraktîfê

Serlêdan

Ev sîstem bi berfirehî di çêkirina nîvconductor, pêçandina optîkî, dîmenderên panelên dûz, pêşkeftina fotovoltaîk (hucreya rojê), lêkolîna zanistiya materyalan û biyosensorê de tê bikar anîn.

Çima Çareseriya Me Hilbijêrin

Wekî hilberînerek profesyonel bi kapasîteyên R&D yên bihêz, em bihayên rasterast ji kargehê, mîhengên xwerûkirî, û piştgiriya teknîkî ya taybet pêşkêş dikin. Çi hûn ji bo analîza laboratîfê pergalek sermaseyê an çareseriyek di rêzê de ji bo çavdêriya hilberînê hewce bikin, em dikarin amûrê li gorî hewcedariyên we yên pîvandinê yên taybetî biguncînin.

Daxwaza Pêşniyarekê

Ji bo nîqaşkirina serlêdana xwe an jî daxwaza pêşniyarekê îro bi me re têkilî daynin. Tîma me şêwirmendiya teknîkî ya bêpere peyda dike da ku ji we re bibe alîkar ku hûn çareseriya pîvandina fîlima zirav a çêtirîn hilbijêrin.

Parametreyên Teknîkî yên Sereke

1. Kapasîteyên Pîvandinê: Elementên matrîksa Mueller a rêza 16-an, spektruma polarîzasyonê Psi/Delta, endeksa şikestinê, qalindahî, duqatbûn, û sabîta dielektrîkê, û hwd.

2. Rêzeya Spektral: 210nm-1690nm

3. Mesafeya Dirêjahiya Pêlê: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Dema Pîvandina Xala Yekane: ≤10s

5. Mezinahiya mîkro-xalê: ≤200μm

6. Teknolojiya Modulasyonê: Modulasyona pergala tezmînata zivirî ya dualî ya PCSCA

7. Qonaxa Nimûneya Otomatîk: Fokuskirina otomatîk a Z-eksen, rêwîtiya herî zêde 18mm, gava herî kêm 1µm

8. Rastbûna dubarekirina qalindahiya fîlmê: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 pîvandinên dubarekirî, wekî 1σ tê hesibandin)

9. Rastbûna dubarekirina endeksa şikestinê: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 pîvandinên dubarekirî, wekî 1σ hat hesabkirin)

10. Rastbûna mutleq a qalindahiya fîlmê: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, rapora metrolojiyê ya partiya sêyemîn hatî peyda kirin)

11. Fonksiyona nexşekirinê: Qonaxek skankirina otomatîkî ya celebê x/y ya rastbûna bilind bikar tîne, piştgirî dide pozîsyonkirin û pîvandina skankirina otomatîkî ya substratên 2/4/6/8-inch, rastbûna dubarekirinê ≤6μm, çêkirina nexşeyên belavkirina qalindahiya fîlmê 2D/3D bi yek klîk.

12. Rêzkirin û fokuskirina lazerê: Cihêkirina dûrahiya fokusê ya otomatîk bi rêya rêça optîkî ya refleksa lazerê, rêwîtiya fokuskirinê ≤3mm

13. Modela cudahîyê: Daneyên cudahîyê yên psi-diff û delta-diff bi otomatîkî hesab dike.

14. Nermalava analîzê: Bi kêmanî 5 awayên pîvandinê yên cûda, databaseke n/k ya çêkirî ji bo zêdetirî 100 materyalên optîkî vedihewîne, û piştgiriyê dide afirandina databasên xwerû; xwedî şiyanên analîzê yên ceribandin û modelkirinê ye ji bo fîlmên tenik ên yek-qatî, pir-qatî (heta 30 qatî), û yên pêkhatî yên alternatîf, di nav de modelên cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, û Oscillator, û piştgiriyê dide lîsanskirina nermalava negirêdayî.

Taybetmendiyên Teknîkî

I. Danasîna Amûran

Spectroellipsometriya ME-Mapping teknolojiya modûlasyona kompensatorê du-zivirînê bi algorîtmayên analîzkirina daneyên rastbûna bilind ve tê de heye. Ew dikare hemî 16 hêmanên matrîksa Mueller a tevahî û spektruma polarîzasyonê di pîvandinek yekane de bi dest bixe, ku pîvandina nimûneyê bilez û ne-tuneker gengaz dike. Amûr xwedan sêwirana rêça optîkî ya stabîl e û detektorek sarbûyî ya nîvconductor bikar tîne, ku di nav çend saniyan de sînyalên şîdeta ronahiyê bi dest dixe. Ew leza pîvandinê ya zûtir û rastbûnek bilindtir pêşkêşî dike, piştgirî dide pîvandina rast a parametreyên wekî qalindahî, endeksa şikestinê, katsayiya vemirandinê, û sabîta dielektrîk a optîkî ji bo cûrbecûr materyalên fîlima zirav. Wekî din, ew dikare bi "qonaxên pozîsyona dubarekirî ya wafer" ên bi mezinahiyên cûda ji bo pîvandinên şopandina nexşeya pir-xalî yên cûrbecûr nimûneyên mezin were xweş kirin.