اعلی صحت سے متعلق سپیکٹروسکوپک ایلیپسومیٹر | غیر تباہ کن پتلی فلم کی موٹائی اور ریفریکٹیو انڈیکس پیمائش کا نظام
آرڈر کرنے کی ہدایات
پروڈکٹ کی خاص نوعیت کی وجہ سے، صفحہ پر دکھائی گئی قیمت ایک ڈپازٹ قیمت ہے، اصل قیمت نہیں۔ براہ کرم اقتباس کے لیے کسٹمر سروس سے رابطہ کریں۔
پیشگی رابطے کے بغیر براہ راست رکھے گئے آرڈرز بھیجے نہیں جا سکتے! آپ کے تعاون کا شکریہ! مزید پروڈکٹ کی معلومات کے لیے، براہ کرم پروڈکٹ بروشرز حاصل کرنے کے لیے کسٹمر سروس سے رابطہ کریں۔
کلیدی پیمائش
فلم کی موٹائی (سنگل سے ملٹی لیئر)
اضطراری اشاریہ (n) اور معدومیت کا عدد (k)
آپٹیکل بینڈ گیپ (مثال کے طور پر)
سطح کی کھردری
تکنیکی جھلکیاں
وسیع اسپیکٹرل رینج: ورسٹائل مواد کے تجزیہ کے لیے UV سے NIR کوریج
اعلی حساسیت: انتہائی پتلی فلموں کو ذیلی نینو میٹر پیمانے پر ماپنے کے قابل
غیر رابطہ اور غیر تباہ کن: R&D اور پیداواری ماحول میں حساس نمونوں کے لیے مثالی
ایڈوانسڈ ماڈلنگ سافٹ ویئر: صارف دوست ورک فلوز کے ساتھ پیچیدہ ملٹی لیئر اسٹیک تجزیہ کی حمایت کرتا ہے۔
درخواستیں
یہ نظام سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ، آپٹیکل کوٹنگ، فلیٹ پینل ڈسپلے، فوٹو وولٹک (سولر سیل) ڈیولپمنٹ، میٹریل سائنس ریسرچ، اور بائیوسینسنگ میں بڑے پیمانے پر اپنایا جاتا ہے۔
ہمارا حل کیوں منتخب کریں۔
مضبوط R&D صلاحیتوں کے ساتھ ایک پیشہ ور صنعت کار کے طور پر، ہم فیکٹری سے براہ راست قیمتوں کا تعین، حسب ضرورت کنفیگریشنز، اور وقف تکنیکی معاونت پیش کرتے ہیں۔ چاہے آپ کو لیبارٹری تجزیہ کے لیے بینچ ٹاپ سسٹم کی ضرورت ہو یا پروڈکشن مانیٹرنگ کے لیے ان لائن حل کی ضرورت ہو، ہم آپ کی مخصوص پیمائش کی ضروریات کے مطابق آلہ تیار کر سکتے ہیں۔
ایک اقتباس کی درخواست کریں۔
اپنی درخواست پر بحث کرنے یا اقتباس کی درخواست کرنے کے لیے آج ہی ہم سے رابطہ کریں۔ ہماری ٹیم بہترین پتلی فلم کی پیمائش کے حل کو منتخب کرنے میں آپ کی مدد کے لیے اعزازی تکنیکی مشاورت فراہم کرتی ہے۔
اہم تکنیکی پیرامیٹرز
1. پیمائش کی صلاحیتیں: 16 ویں آرڈر میولر میٹرکس عناصر، پولرائزیشن سپیکٹرم Psi/Delta، ریفریکٹیو انڈیکس، موٹائی، بائرفرنجنس، اور ڈائی الیکٹرک کنسٹنٹ وغیرہ۔
2. سپیکٹرل رینج: 210nm-1690nm
3. طول موج کا وقفہ: ≤0.8nm@210-1000nm، ≤3.5nm@1000-1690nm
4. سنگل پوائنٹ پیمائش کا وقت: ≤10s
5. مائیکرو اسپاٹ سائز: ≤200μm
6. ماڈیولیشن ٹیکنالوجی: PCSCA ڈوئل روٹری کمپنسیٹر سسٹم ماڈیولیشن
7. خودکار نمونہ مرحلہ: Z-axis خودکار فوکسنگ، زیادہ سے زیادہ سفر 18mm، کم از کم مرحلہ 1µm
8. فلم کی موٹائی کی تکرار کی درستگی: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si، 30 بار بار پیمائش، جس کا حساب 1σ کے طور پر کیا جاتا ہے)
9. ریفریکٹیو انڈیکس ریپیٹ ایبلٹی کی درستگی: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si، 30 بار بار پیمائش، جس کا حساب 1σ ہے)
10. مطلق فلم کی موٹائی کی درستگی: ≤0.5% (100nm SiO2/Si، تھرڈ پارٹی میٹرولوجی رپورٹ فراہم کی گئی)
11. میپنگ فنکشن: ایک اعلی درستگی والے x/y قسم کے خودکار اسکیننگ اسٹیج پر کام کرتا ہے، 2/4/6/8-انچ سبسٹریٹس کی خودکار پوزیشننگ اور اسکیننگ پیمائش کو سپورٹ کرتا ہے، ریپیٹ ایبلٹی کی درستگی ≤6μm، 2D/3D فلم موٹائی کی تقسیم کے نقشوں کی ایک کلک جنریشن
12. لیزر رینجنگ اور فوکسنگ: لیزر ریفلیکشن آپٹیکل پاتھ کے ذریعے خودکار فوکل لینتھ پوزیشننگ، فوکسنگ ٹریول ≤3mm
13. فرق ماڈل: خود بخود psi-diff اور delta-diff فرق ڈیٹا کا حساب لگاتا ہے
14. تجزیہ سافٹ ویئر: کم از کم 5 مختلف پیمائش کے طریقوں کی خصوصیات، 100 سے زیادہ آپٹیکل مواد کے لیے ایک بلٹ ان n/k ڈیٹا بیس، اور حسب ضرورت ڈیٹا بیس بنانے میں معاونت کرتا ہے۔ سنگل لیئر، ملٹی لیئر (30 لیئرز تک) اور کمپوزٹ باری باری پتلی فلموں کے لیے ٹیسٹنگ اور ماڈلنگ کی صلاحیتوں کا حامل ہے، بشمول cauchy، Sellmeier، Tauc-Lorentz، Bspline، اور Oscillator ماڈلز، اور آف لائن سافٹ ویئر لائسنسنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔
تکنیکی وضاحتیں
I. آلات کا تعارف
ME-Mapping Spectroellipsometry میں ڈبل روٹیشن کمپنسیٹر ماڈیولیشن ٹکنالوجی کو اعلی درستگی والے ڈیٹا تجزیہ الگورتھم کے ساتھ ملایا گیا ہے۔ یہ مکمل مولر میٹرکس اور پولرائزیشن سپیکٹرم کے تمام 16 عناصر کو ایک ہی پیمائش میں حاصل کر سکتا ہے، جس سے تیز رفتار اور غیر تباہ کن نمونے کی پیمائش ممکن ہو سکتی ہے۔ یہ آلہ ایک مستحکم آپٹیکل پاتھ ڈیزائن پر فخر کرتا ہے اور ایک سیمی کنڈکٹر کولڈ ڈیٹیکٹر لگاتا ہے، جو سیکنڈوں میں روشنی کی شدت کے سگنل حاصل کرتا ہے۔ یہ تیز رفتار پیمائش کی رفتار اور اعلیٰ درستگی پیش کرتا ہے، مختلف پتلی فلمی مواد کے لیے پیرامیٹرز کی درست پیمائش جیسے کہ موٹائی، اضطراری اشاریہ، معدومیت کے قابلیت، اور آپٹیکل ڈائی الیکٹرک کنسٹنٹ کی حمایت کرتا ہے۔ مزید برآں، مختلف بڑے سائز کے نمونوں کی ملٹی پوائنٹ میپنگ اسکیننگ پیمائش کے لیے اسے مختلف سائز کے "وفر ریپیٹیبل پوزیشننگ سٹیجز" کے ساتھ اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔
II درخواست کا دائرہ کار
ایلیپسومیٹرسٹ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹرز، فلیٹ پینل ڈسپلے، سولر فوٹوولٹکس، آپٹیکل پتلی فلموں، آپٹیکل کمیونیکیشنز، اور نینو میٹریلز میں استعمال ہوتے ہیں۔
III مجموعی طور پر تکنیکی تقاضے
1. تکنیکی وضاحتیں:
1.1 پیمائش کے پیرامیٹرز: 16 ویں آرڈر کے مولر میٹرکس عناصر، Psi/Delta، ریفریکٹیو انڈیکس، موٹائی، birefringence، اور dielectric constant، وغیرہ۔
1.2 سپیکٹرل رینج: 210nm-1690nm؛
1.3 سنگل پوائنٹ پیمائش کا وقت: ≤10s؛
1.4 مائیکرو اسپاٹ سائز: ≤200μm؛
1.5 ماڈیولیشن ٹیکنالوجی: PC1SCA دوہری گردش معاوضہ ماڈیولیشن؛
1.6 خودکار نمونہ کا مرحلہ: خودکار z-axis فوکس کرنے کی حمایت کرتا ہے، زیادہ سے زیادہ سفر 18mm، کم از کم مرحلہ 1μm؛
1.7 فلم کی موٹائی کی تکرار کی درستگی: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si، 30 بار بار پیمائش، 1σ کا حساب لگایا گیا)؛
1.8 ریفریکٹیو انڈیکس ریپیئٹیبلٹی درستگی: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si، 30 بار بار پیمائش، کیلکولیشن 1σ)؛
1.9 مطلق فلم کی موٹائی کی درستگی: ≤0.5% (100nm SiO2/Si، تھرڈ پارٹی میٹرولوجی رپورٹ فراہم کی گئی)؛ μm
1.10 میپنگ فنکشن: ایک اعلی درستگی والے x/y-قسم کے آٹومیٹک اسکیننگ اسٹیج پر کام کرتا ہے، 2/4/6/8-انچ سبسٹریٹس کی خودکار پوزیشننگ اور اسکیننگ پیمائش کو سپورٹ کرتا ہے، جس میں ریپیٹ ایبلٹی درستگی ≤6μm، اور 2D/3D فلم موٹائی کی تقسیم کے نقشوں کی ایک کلک جنریشن؛
1.11 لیزر رینج فائنڈنگ اور فوکسنگ: لیزر ریفلیکشن آپٹیکل پاتھ کا استعمال کرتے ہوئے فوکل لینتھ کو خود بخود پوزیشن میں رکھتا ہے، فوکس فائنڈنگ ٹریول ≤3mm؛
1.12 فلم کی موٹائی کی پیمائش کی حد: 1nm-10μm؛
1.13 فرق ماڈل: خود بخود psi-diff اور delta-diff فرق ڈیٹا کا حساب لگاتا ہے۔
1.14 تجزیہ سافٹ ویئر:
* سپیکٹروسکوپک پیمائش کی صلاحیتیں: مکمل مولر میٹرکس کے 16 عناصر، Psi/Delta polarization spectroscopy، N/C/S، depolarization، وغیرہ؛
* ڈیٹا تجزیہ کی صلاحیتیں: سنگل لیئر اور ملٹی لیئر (20 تہوں تک) آئسوٹروپک اور انیسوٹروپک پتلی فلمی مواد کی موٹائی اور آپٹیکل کنسٹنٹ (n، k) کا تجزیہ کرنے کی صلاحیت؛
* کثیر اجزاء والی پتلی فلموں اور بلک مواد کے آپٹیکل کنسٹنٹ، ریفریکٹیو انڈیکس گریڈینٹ ڈسٹری بیوشن، مساوی میڈیا، کھردرا پن وغیرہ کے ماڈلز کی حمایت کرتا ہے۔
* عام آپٹیکل کنسٹنٹ ماڈلز اور عام آسکیلیٹر ماڈلز (کاچی ماڈل، لورینٹز ماڈل، گاوسی ماڈل، ڈروڈ، سیلمیئر، وغیرہ) کو سپورٹ کرتا ہے، اور گرافیکل ملٹی آسیلیٹر ہائبرڈ ماڈل فٹنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔
* 2D/3D ٹپوگرافک امیجز کو آؤٹ پٹ کرنے، تاریخی ڈیٹا کو دیکھنے، اور ڈیٹا اور متعلقہ رپورٹس کو ایکسپورٹ اور ایڈٹ کرنے کی حمایت کرتا ہے۔
* ڈیٹا آؤٹ پٹ فارمیٹس: TXT، CSV، SNAP سنیپ شاٹ، خام سپیکٹرم، DAT، وغیرہ؛
* مرحلے میں تاخیر کی پیمائش کی حمایت کرتا ہے، مرحلے میں تاخیر، ازیموت زاویہ، نظری گردش زاویہ، طول و عرض کا تناسب، ترتیب، وغیرہ کی جانچ کرنے کے قابل؛
* 1D/2D متواتر grating ڈھانچہ تجزیہ اور ماڈلنگ کے افعال رکھتا ہے۔
2. ترتیب کی فہرست:
1) ایلیپسومیٹر مین یونٹ کا ایک سیٹ؛
2) بیضوی بازو اور تجزیہ کار بازو میں سے ہر ایک کا ایک سیٹ؛
3) خودکار نمونہ مرحلے کا ایک سیٹ؛
4) تجزیہ سافٹ ویئر کا ایک سیٹ؛
5) معیاری سلائیڈوں کا ایک سیٹ؛
6) ایک کمپیوٹر؛
7) ڈیبگنگ ٹولز کا ایک سیٹ؛
8) مائیکرو اسپاٹ اسمبلی کا ایک سیٹ؛
9) ایک ویکیوم جذب پمپ؛
10) ایک میپنگ سکیننگ مرحلہ۔
3. پیمائش اور کنٹرول کمپیوٹر
ونڈوز 10 آپریٹنگ سسٹم کے ساتھ تجارتی صنعتی پی سی استعمال کرتا ہے۔ CPU: i7 پروسیسر؛ میموری: 15 جی بی؛ ہارڈ ڈسک: 1 ٹی بی؛ LCD مانیٹر: 24 انچ؛ ماؤس اور کی بورڈ پر مشتمل ہے۔
4. ماحولیاتی اور بجلی کے تقاضے:
1) پلیٹ فارم کے تقاضے: 2.0m (لمبائی) x 1.2m (چوڑائی)، بوجھ کی گنجائش 100kg سے زیادہ (آپٹیکل وائبریشن آئسولیشن کی سفارش کی جاتی ہے)۔
2) آپریٹنگ درجہ حرارت کی حد: 20 ~ 30 ° C
3) رشتہ دار نمی: 35%~60%RH
4) پاور سپلائی وولٹیج: 220VAC
5) فیز کرنٹ: RMS ویلیو 4A (220VAC) سے کم؛
6) زیادہ سے زیادہ پاور: 800W
Ellipsometry پیمائش آبجیکٹ
بیضوی پیمائش کا اصول
ایلپسومیٹری تجزیہ کا عمل
مولر میٹرکس ایلیپسومیٹری
ME-L Mueller Matrix Ellipsometry
ریسرچ گریڈ مکمل طور پر خودکار ہائی پریسجن مولر میٹرکس ایلیپسومیٹری
مکمل طور پر خودکار زاویہ ایڈجسٹمنٹ اور توجہ مرکوز کرنے والی ٹیکنالوجی، ایک کلک کی تیز رفتار پیمائش
گائیڈڈ انٹرایکٹو انسانی مشین انٹرفیس، آسان سافٹ ویئر آپریشن کا تجربہ
امیر مواد ڈیٹا بیس اور الگورتھم ماڈل لائبریری، طاقتور ڈیٹا تجزیہ کی صلاحیتوں
تکنیکی وضاحتیں
| ماڈل نمبر | ME-L |
| درخواستیں | ریسرچ/انٹرپرائز گریڈ |
| بنیادی افعال | Psi/Delta، R/T، Mueller Matrix، اور دیگر آپٹیکل سینسر |
| سپیکٹرم تجزیہ | 380-1000nm (193-2500nm تک توسیع کی حمایت کرتا ہے) |
| واحد پیمائش کا وقت | ≤15 سیکنڈ |
| Repeatability پیمائش کی درستگی | 0.005nm |
| مطلق درستگی (بذریعہ پیمائش ہوا) | ایلیپسومیٹری کے پیرامیٹرز: 4 = 45 ± 0.05°، A = 0 ± 0.1° مولر میٹرکس: اختراعی عنصر m = 10.005 آف اخترن عنصر m = 0 ± 0.005 |
| ریفریکٹیو انڈیکس ریپیئٹیبلٹی درستگی | 0.0005 |
| اسپاٹ سائز | بڑی جگہ کا سائز: 2-4 ملی میٹر چھوٹی جگہ کا سائز: 200 μm/100 μm انتہائی چھوٹے جگہ کا سائز: 50 μm (طول موج پر منحصر ہے) |
ریپیٹ ایبلٹی ایکوریسی انڈیکس 100nm SiO2/Si معیاری نمونے کی 30 دوبارہ قابل پیمائش پیمائش پر مبنی ہے۔
آلہ کے مخصوص تکنیکی پیرامیٹرز کا تعلق اصل فنکشنل ماڈیولز اور لوازمات سے ہے، اور ٹیبل میں موجود ڈیٹا صرف حوالہ کے لیے ہے۔
اختیاری کنفیگریشنز
| بینڈ کا انتخاب | VN: 380-1650nm |
| V: 380-1000nm | اقوام متحدہ: 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | UN+: 210-2500nm |
| DUV: 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
زاویہ کا انتخاب
فکسڈ: 65°
خودکار: 45-90°
دستی: 45-90° (5° اضافہ)
دیگر اختیارات
نقشہ سازی کے اختیارات: 100*100mm/200*200mm
درجہ حرارت کنٹرول کا مرحلہ: 190-550 ° C/RT-1000 ° C
ہمارے بارے میں
فیکٹری پروفائل
ہمیں کیوں منتخب کریں۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
Q1: ہم کون ہیں؟
A1: 2015 میں قائم کیا گیا، MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd نے مسلسل ترقی کی ہے اور Rheinland ISO 9001 کو پاس کیا ہے۔
جرمن SACCKE ہائی اینڈ فائیو ایکسس گرائنڈنگ سینٹرز، جرمن زولر سکس ایکسس ٹول انسپکشن سینٹر، تائیوان پالمری مشین اور دیگر بین الاقوامی جدید مینوفیکچرنگ آلات کے ساتھ، ہم اعلیٰ درجے کے، پیشہ ورانہ اور موثر CNC ٹول تیار کرنے کے لیے پرعزم ہیں۔
Q2: کیا آپ ٹریڈنگ کمپنی یا صنعت کار ہیں؟
A2: ہم کاربائیڈ ٹولز کی فیکٹری ہیں۔
Q3: کیا آپ چین میں ہمارے فارورڈر کو مصنوعات بھیج سکتے ہیں؟
A3: ہاں، اگر آپ کے پاس چین میں فارورڈر ہے، تو ہمیں اس کو مصنوعات بھیج کر خوشی ہوگی۔
Q4: ادائیگی کی کون سی شرائط قابل قبول ہیں؟
A4: عام طور پر ہم T/T قبول کرتے ہیں۔
Q5: کیا آپ OEM آرڈرز کو قبول کرتے ہیں؟
A5: ہاں، OEM اور حسب ضرورت دستیاب ہیں، اور ہم لیبل پرنٹنگ سروس بھی فراہم کرتے ہیں۔
Q6: آپ ہمیں کیوں منتخب کریں؟
A6:1) لاگت پر کنٹرول - مناسب قیمت پر اعلیٰ معیار کی مصنوعات خریدنا۔
2) فوری جواب - 48 گھنٹوں کے اندر، پیشہ ور اہلکار آپ کو ایک اقتباس فراہم کریں گے اور آپ کے خدشات کو دور کریں گے۔
3) اعلیٰ معیار - کمپنی ہمیشہ خلوص نیت کے ساتھ ثابت کرتی ہے کہ اس کی فراہم کردہ مصنوعات 100% اعلیٰ معیار کی ہیں۔
4) فروخت کے بعد سروس اور تکنیکی رہنمائی - کمپنی کسٹمر کی ضروریات اور ضروریات کے مطابق فروخت کے بعد سروس اور تکنیکی رہنمائی فراہم کرتی ہے۔
