Ellipsometer Spectroscopic Spectroscopic High Precision | Ètò Ìwọ̀n Fíìmù Tínrin Tí Kò Ní Parun àti Àtòjọ Ìyípadà

Àwọn ohun èlò ìlò

A gba eto yii ni ibigbogbo ninu iṣelọpọ semiconductor, ibora opitika, awọn ifihan panẹli alapin, idagbasoke fọtovoltaic (sẹẹli oorun), iwadii imọ-jinlẹ ohun elo, ati imọ-ẹrọ biosensing.

Kí ló dé tí o fi yan ojútùú wa

Gẹ́gẹ́ bí olùpèsè ọ̀jọ̀gbọ́n pẹ̀lú agbára ìwádìí àti ìdàgbàsókè tó lágbára, a ń fúnni ní iye owó taara-ilé-iṣẹ́, àwọn ìṣètò tó ṣeé ṣe, àti ìrànlọ́wọ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ tó ṣe pàtàkì. Yálà o nílò ètò ìṣàyẹ̀wò yàrá tàbí ojútùú oní-ìlànà fún ìṣàyẹ̀wò iṣẹ́-ọnà, a lè ṣe àtúnṣe ohun èlò náà sí àwọn àìní ìwọ̀n pàtó rẹ.

Beere fun idiyele kan

Kan si wa loni lati jiroro lori ohun elo rẹ tabi beere fun idiyele kan. Ẹgbẹ wa n pese ijumọsọrọ imọ-ẹrọ ọfẹ lati ṣe iranlọwọ fun ọ lati yan ojutu wiwọn fiimu tinrin ti o dara julọ.

Awọn Ilana Imọ-ẹrọ Pataki

1. Àwọn Agbára Ìwọ̀n: Àwọn ohun èlò ìpele 16th Mueller matrix, ìpele polarization spectrum Psi/Delta, àtọ́ka refractive, ìfúnpọ̀, birefringence, àti dielectric constant, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

2. Ìwọ̀n Àwòrán: 210nm-1690nm

3. Ààlà Gígùn Ìgbì: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Àkókò Ìwọ̀n Àmì Kan: ≤10s

5. Ìwọ̀n kékeré: ≤200μm

6. Ìmọ̀-ẹ̀rọ Ìyípadà: Ìyípadà ètò ìyípadà onípele méjì ti PCSCA

7. Ipele Ayẹwo Aifọwọyi: Idojukọ aifọwọyi Z-axis, irin-ajo ti o pọju 18mm, igbesẹ ti o kere ju 1µm

8. Ìwọ̀n ìtúnṣe fíìmù náà tó nípọn: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, ìwọ̀n 30 tí a tún ṣe, tí a ṣírò gẹ́gẹ́ bí 1σ)

9. Ìpéye àtúnṣe àtọ́ka àtúnṣe: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, àwọn ìwọ̀n tí a tún ṣe 30, tí a ṣírò gẹ́gẹ́ bí 1σ)

10. Ìwọ̀n tó péye tó nípọn fíìmù: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, ìròyìn metrology ẹni-kẹta tí a pèsè)

11. Iṣẹ́ àwòrán: Ó lo ìpele ìwòran aládàáni x/y tó péye, ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìwọ̀n àdánidá àti wíwo àwòrán àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ 2/4/6/8-inch, ìṣedéédéé ìtúnṣe ≤6μm, ìṣẹ̀dá àwọn àwòrán ìpínkiri fíìmù 2D/3D ní ìwọ̀n ìwúwo lẹ́ẹ̀kan.

12. Ìwọ̀n àti ìfojúsùn léésà: Ìdúró gígùn ìfojúsùn aládàáṣe nípasẹ̀ ọ̀nà ìṣàfihàn léésà, ìrìn àjò ìfojúsùn ≤3mm

13. Àwòṣe Ìyàtọ̀: A máa ṣírò ìwífún ìyàtọ̀ psi-diff àti delta-diff láìfọwọ́sí

14. Sọ́fítíwọ́ọ̀kì Oníṣàyẹ̀wò: Ó ní àwọn ọ̀nà ìwọ̀n tó yàtọ̀ síra márùn-ún, ibi ìkópamọ́ n/k tí a kọ́ sínú rẹ̀ fún àwọn ohun èlò ìrísí tó lé ní ọgọ́rùn-ún, ó sì ń ṣètìlẹ́yìn fún ṣíṣẹ̀dá ibi ìkópamọ́ dátà àṣà; ó ní agbára ìdánwò àti àwòṣe fún àwọn ohun èlò onípele kan ṣoṣo, onípele púpọ̀ (tó tó 30 fẹlẹfẹlẹ), àti àwọn fíìmù onípele tín-tín tó ń yípo, títí bí àwọn àwòṣe cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, àti Oscillator, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìwé àṣẹ sísọ̀fítíwọ́ọ̀kì àìsíṣẹ́.

Àwọn Ìlànà Ìmọ̀-ẹ̀rọ

I. Ifihan Ohun elo

Ìwòran ME-Mapping Spectroellipsometry ní ìmọ̀ ẹ̀rọ ìyípadà onípele méjì tí a so pọ̀ mọ́ àwọn algoridimu ìṣàyẹ̀wò dátà tí ó péye. Ó lè gba gbogbo àwọn èròjà mẹ́rìndínlógún ti ìpele Mueller àti ìpele ìṣàfihàn polarization ní ìwọ̀n kan ṣoṣo, èyí tí ó ń jẹ́ kí ìwọ̀n àyẹ̀wò yára àti èyí tí kò ní parun. Ohun èlò náà ní àwòrán ọ̀nà opitika tí ó dúró ṣinṣin, ó sì lo ẹ̀rọ amóhùnmáwòrán tí ó tutù semiconductor, tí ó ń gba àwọn àmì agbára ìmọ́lẹ̀ láàrín ìṣẹ́jú-àáyá. Ó ń fúnni ní iyàrá ìwọ̀n yíyára àti ìṣedéédé gíga, tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìwọ̀n pípéye ti àwọn paramita bíi sísanra, àtọ́ka ìfàmọ́ra, ìpele ìparun, àti ìdúróṣinṣin dielectric opitika fún onírúurú ohun èlò fíìmù tín-ínrín. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, a lè ṣe é ní àtúnṣe pẹ̀lú àwọn ìpele ìdúrósí "wafer repeatable positioning stages" tí ó yàtọ̀ síra fún àwọn ìwọ̀n ìwòran mapping mapping multipoint ti onírúurú àwọn àyẹ̀wò ńlá.