Ellipsometer Speictreasgopach Àrd-Mhionaideachd | Siostam Tomhais Tiugh Film Tana Neo-sgriosail & Clàr-amais Ath-tharraingeach

Iarrtasan

Tha an siostam seo air a chleachdadh gu farsaing ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, còmhdach optaigeach, taisbeanaidhean pannal còmhnard, leasachadh fòto-bholtaigeach (cealla grèine), rannsachadh saidheans stuthan, agus bith-mhothachadh.

Carson a thaghas tu ar fuasgladh

Mar neach-dèanamh proifeasanta le comasan làidir R&D, tha sinn a’ tabhann prìsean dìreach bhon fhactaraidh, rèiteachaidhean gnàthaichte, agus taic theicnigeach sònraichte. Co-dhiù a tha feum agad air siostam beingidh airson mion-sgrùdadh obair-lann no fuasgladh in-loidhne airson sgrùdadh cinneasachaidh, is urrainn dhuinn an ionnstramaid a dhealbhadh a rèir do fheumalachdan tomhais sònraichte.

Iarr luachan

Cuir fios thugainn an-diugh gus beachdachadh air an tagradh agad no gus luachan iarraidh. Bidh an sgioba againn a’ toirt seachad co-chomhairle theicnigeach an-asgaidh gus do chuideachadh le bhith a’ taghadh an fhuasglaidh tomhais film tana as fheàrr.

Prìomh pharaimearan teicnigeach

1. Comasan Tomhais: eileamaidean maitrís Mueller den 16mh òrdugh, speactram pòlarachaidh Psi/Delta, clàr-amais ath-tharraingeach, tiughas, dà-reothadh, agus cunbhalach dielectric, msaa.

2. Raon Speictreach: 210nm-1690nm

3. Àiteachadh Tonn-fhaid: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Ùine Tomhais Aon-Phuing: ≤10s

5. Meud micro-spot: ≤200μm

6. Teicneòlas modulachaidh: modulachadh siostam dìolaidh rothlach dùbailte PCSCA

7. Ìre Sampall Fèin-ghluasadach: fòcas fèin-ghluasadach ais-Z, siubhal as motha 18mm, ceum as ìsle 1µm

8. Cruinneas ath-aithris tiugh film: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 tomhas ath-aithris, air a thomhas mar 1σ)

9. Cruinneas ath-aithris clàr-amais ath-tharraingeach: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 tomhas ath-aithrisichte, air a thomhas mar 1σ)

10. Cruinneas tighead film iomlan: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, aithisg meatreòlais treas-phàrtaidh air a thoirt seachad)

11. Gnìomh mapaidh: A’ cleachdadh ìre sganaidh fèin-ghluasadach seòrsa x/y àrd-chruinneas, a’ toirt taic do shuidheachadh fèin-ghluasadach agus tomhas sganaidh de shubstratan 2/4/6/8-òirleach, cruinneas ath-aithris ≤6μm, ginealach aon-bhriog de mhapaichean cuairteachaidh tighead film 2D/3D

12. Raonadh is fòcasadh leusair: Suidheachadh fad fòcas fèin-ghluasadach tro shlighe optigeach meòrachaidh leusair, siubhal fòcas ≤3mm

13. Modail eadar-dhealachaidh: Bidh e gu fèin-ghluasadach a’ tomhas dàta eadar-dhealachaidh psi-diff agus delta-diff

14. Bathar-bog anailis: Tha co-dhiù 5 modhan tomhais eadar-dhealaichte ann, stòr-dàta n/k togte airson còrr is 100 stuth optaigeach, agus tha e a’ toirt taic do bhith a’ cruthachadh stòran-dàta gnàthaichte; tha comasan deuchainn is modaladh anailis ann airson filmichean tana aon-fhilleadh, ioma-fhilleadh (suas ri 30 sreathan), agus filmichean tana eile co-dhèanta, nam measg modailean cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, agus Oscillator, agus tha e a’ toirt taic do cheadachd bathar-bog far-loidhne.

Sònrachaidhean Teicnigeach

I. Ro-ràdh Uidheam

Tha teicneòlas modulachaidh dìolaidh dà-rothlaidh aig an ME-Mapping Spectroellipsometry còmhla ri algairidhean mion-sgrùdaidh dàta àrd-chruinneas. Faodaidh e na 16 eileamaidean uile de mhaitrice Mueller slàn agus speactram polarachaidh fhaighinn ann an aon thomhas, a’ comasachadh tomhas sampall luath agus neo-sgriosail. Tha dealbhadh slighe optigeach seasmhach aig an ionnsramaid agus bidh e a’ cleachdadh lorgaire fuaraichte le leth-chonnsaiche, a’ faighinn comharran dian solais taobh a-staigh diogan. Tha e a’ tabhann astar tomhais nas luaithe agus cruinneas nas àirde, a’ toirt taic do thomhas mionaideach air paramadairean leithid tiugh, clàr-amais ath-tharraingeach, co-èifeachd cuir às, agus cunbhalachd dielectric optigeach airson diofar stuthan film tana. A bharrachd air an sin, faodar a ghnàthachadh le diofar mheudan “ìrean suidheachaidh ath-aithris wafer” airson tomhasan sganaidh mapadh ioma-phuing de dhiofar shampaill mòra.