Taas nga Precision Spectroscopic Ellipsometer | Dili Makadaot nga Nipis nga Film nga Gibag-on ug Refractive Index nga Sistema sa Pagsukod

Mga Aplikasyon

Kini nga sistema kaylap nga gigamit sa paggama sa semiconductor, optical coating, flat panel displays, pagpalambo sa photovoltaic (solar cell), panukiduki sa materials science, ug biosensing.

Ngano nga Pilion ang Among Solusyon

Isip usa ka propesyonal nga tiggama nga adunay lig-on nga kapabilidad sa R&D, nagtanyag kami og presyo nga direkta sa pabrika, mapasibo nga mga konfigurasyon, ug dedikado nga teknikal nga suporta. Kung kinahanglan nimo ang usa ka benchtop system alang sa pag-analisar sa laboratoryo o usa ka in-line nga solusyon alang sa pagmonitor sa produksiyon, mahimo namon nga ipasibo ang instrumento sa imong piho nga mga panginahanglanon sa pagsukod.

Paghangyo og Kwotasyon

Kontaka kami karon aron hisgutan ang imong aplikasyon o mangayo og kwotasyon. Ang among team mohatag og libreng teknikal nga konsultasyon aron matabangan ka sa pagpili sa labing maayong solusyon sa pagsukod sa nipis nga pelikula.

Pangunang Teknikal nga mga Parameter

1. Mga Kapabilidad sa Pagsukod: Ika-16 nga order nga Mueller matrix elements, polarization spectrum Psi/Delta, refractive index, gibag-on, birefringence, ug dielectric constant, ug uban pa.

2. Sakop sa Espritwal: 210nm-1690nm

3. Gintang sa Gitas-on sa Balud: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Oras sa Pagsukod sa Usa ka Punto: ≤10s

5. Gidak-on sa Micro-spot: ≤200μm

6. Teknolohiya sa Modulasyon: PCSCA dual rotary compensator system modulation

7. Awtomatikong Yugto sa Sampol: Awtomatikong pag-focus sa Z-axis, labing taas nga pagbiyahe 18mm, labing gamay nga lakang 1µm

8. Katukma sa pagkasubli sa gibag-on sa pelikula: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 ka balik-balik nga pagsukod, gikalkulo isip 1σ)

9. Katukma sa pagkasubli sa refractive index: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 ka balik-balik nga pagsukod, gikalkulo isip 1σ)

10. Hingpit nga katukma sa gibag-on sa pelikula: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, gihatag ang report sa metrolohiya sa ikatulo nga partido)

11. Function sa pagmapa: Naggamit og high-precision x/y type automatic scanning stage, nagsuporta sa automatic positioning ug scanning measurement sa 2/4/6/8-inch substrates, repeatability accuracy ≤6μm, one-click generation sa 2D/3D film thickness distribution maps

12. Pag-range ug pag-focus sa laser: Awtomatikong pagposisyon sa gitas-on sa focal pinaagi sa laser reflection optical path, nga nag-focus sa pagbiyahe nga ≤3mm

13. Modelo sa kalainan: Awtomatikong nagkalkula sa datos sa kalainan sa psi-diff ug delta-diff

14. Software sa pag-analisa: Adunay labing menos 5 ka lain-laing mga paagi sa pagsukod, usa ka built-in nga n/k database para sa kapin sa 100 ka optical nga materyales, ug nagsuporta sa paghimo og custom nga mga database; adunay mga kapabilidad sa pagsulay ug pagmodelo sa pag-analisa para sa single-layer, multi-layer (hangtod sa 30 ka layer), ug composite alternating thin films, lakip ang cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, ug Oscillator nga mga modelo, ug nagsuporta sa offline nga paglilisensya sa software.

Teknikal nga mga Espisipikasyon

I. Pasiuna sa Kagamitan

Ang ME-Mapping Spectroellipsometry adunay dual-rotation compensator modulation technology nga giubanan sa high-precision data analysis algorithms. Mahimo niini nga makuha ang tanang 16 ka elemento sa tibuok Mueller matrix ug polarization spectrum sa usa lang ka pagsukod, nga makapahimo sa paspas ug dili makadaot nga pagsukod sa sample. Ang instrumento adunay lig-on nga optical path design ug naggamit og semiconductor-cooled detector, nga makakuha og light intensity signals sulod sa pipila ka segundo. Nagtanyag kini og mas paspas nga pagsukod ug mas taas nga katukma, nga nagsuporta sa tukmang pagsukod sa mga parameter sama sa gibag-on, refractive index, extinction coefficient, ug optical dielectric constant para sa lain-laing thin film materials. Dugang pa, mahimo kini nga ipasibo gamit ang lain-laing gidak-on nga "wafer repeatable positioning stages" para sa multi-point mapping scanning measurements sa lain-laing dagkong sample.