Ellipsometru Spettroskopiku ta' Preċiżjoni Għolja | Sistema ta' Kejl tal-Ħxuna tal-Film Irqiq Mhux Distruttiv u l-Indiċi Refrattiv

Ellipsometru Spettroskopiku ta' Preċiżjoni Għolja | Sistema ta' Kejl tal-Ħxuna ta' Film Irqiq Mhux Distruttiv u l-Indiċi Refrattiv Immaġni Dehru

Dan l-ellissometriku spettroskopiku huwa sistema ta' metroloġija ottika ta' preċiżjoni għolja ddisinjata għall-karatterizzazzjoni mhux distruttiva ta' films irqaq u materjali bl-ingrossa. Ibbażat fuq prinċipji avvanzati ta' ellissometrija, ikejjel il-bidliet fl-istat tal-polarizzazzjoni (proporzjon tal-amplitudni Ψ u differenza fil-fażi Δ) biex jagħti kostanti ottiċi u parametri strutturali preċiżi.

Preċiżjoni tal-Kejl tar-Ripetibbiltà:0.005nm

Marka:MSK

Ħin ta' Kejl Uniku:≤15s

Ibgħatilna email

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Istruzzjonijiet tal-Ordni

Minħabba n-natura speċjali tal-prodott, il-prezz muri fuq il-paġna huwa prezz ta' depożitu, mhux il-prezz attwali. Jekk jogħġbok ikkuntattja lis-servizz tal-konsumatur għal kwotazzjoni.

Ordnijiet li jsiru direttament mingħajr kuntatt minn qabel ma jistgħux jintbagħtu! Grazzi tal-kooperazzjoni tiegħek! Għal aktar informazzjoni dwar il-prodott, jekk jogħġbok ikkuntattja lis-servizz tal-konsumatur biex tirċievi l-fuljetti tal-prodott.

@mskcnctool #ellissometru #film irqiq #manifattura tas-semikondutturi #metroloġija #kisi ottiku #tagħmirtal-laboratorju #ċellulasolari #teknoloġijatal-manifattura #kejlpreċiż ♬ ħoss oriġinali - MSK CNC Tools

Kejl Ewlenin

Ħxuna tal-Film (minn saff wieħed għal saff multiplu)

Indiċi Refrattiv (n) & Koeffiċjent ta' Estinzjoni (k)

Distakk fil-Banda Ottika (Eż.)

Ħruxija tal-wiċċ

Punti Ewlenin Tekniċi

Firxa Spettrali Wiesgħa: Kopertura UV sa NIR għal analiżi versatili tal-materjal

Sensittività Għolja: Kapaċi li tkejjel films ultra-rqaq sa skala sub-nanometrika

Mhux Kuntatt & Mhux Distruttiv: Ideali għal kampjuni sensittivi f'ambjenti ta' R&Ż u produzzjoni

Softwer ta' Immudellar Avvanzat: Jappoġġja analiżi kumplessa ta' munzell b'ħafna saffi b'flussi tax-xogħol faċli għall-utent

Applikazzjonijiet

Din is-sistema hija adottata b'mod wiesa' fil-manifattura tas-semikondutturi, kisi ottiku, wirjiet ta' pannelli ċatti, żvilupp fotovoltajċi (ċelloli solari), riċerka fix-xjenza tal-materjali, u bijosensing.

Għaliex Agħżel is-Soluzzjoni Tagħna

Bħala manifattur professjonali b'kapaċitajiet qawwija ta' R&D, noffru prezzijiet diretti mill-fabbrika, konfigurazzjonijiet personalizzabbli, u appoġġ tekniku dedikat. Kemm jekk teħtieġ sistema benchtop għall-analiżi tal-laboratorju jew soluzzjoni in-line għall-monitoraġġ tal-produzzjoni, nistgħu nfasslu l-istrument għall-bżonnijiet speċifiċi ta' kejl tiegħek.

Itlob Kwotazzjoni

Ikkuntattjana llum biex tiddiskuti l-applikazzjoni tiegħek jew titlob kwotazzjoni. It-tim tagħna jipprovdi konsultazzjoni teknika bla ħlas biex jgħinek tagħżel is-soluzzjoni ottimali għall-kejl ta' film irqiq.

Parametri Tekniċi Prinċipali

1. Kapaċitajiet ta' Kejl: Elementi tal-matriċi Mueller tas-16-il ordni, spettru ta' polarizzazzjoni Psi/Delta, indiċi ta' rifrazzjoni, ħxuna, birefringenza, u kostanti dielettrika, eċċ.

2. Firxa Spettrali: 210nm-1690nm

3. Spazjar tat-Tul tal-Mewġa: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Ħin ta' Kejl f'Punt Uniku: ≤10s

5. Daqs tal-mikro-spot: ≤200μm

6. Teknoloġija tal-Modulazzjoni: Modulazzjoni tas-sistema ta' kumpensatur rotatorju doppju PCSCA

7. Stadju Awtomatiku tal-Kampjun: Iffokar awtomatiku fuq l-assi Z, vjaġġar massimu ta' 18mm, pass minimu ta' 1µm

8. Preċiżjoni tar-ripetibbiltà tal-ħxuna tal-film: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 kejl ripetut, ikkalkulat bħala 1σ)

9. Preċiżjoni tar-ripetibbiltà tal-indiċi refrattiv: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 kejl ripetut, ikkalkulat bħala 1σ)

10. Preċiżjoni assoluta tal-ħxuna tal-film: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, rapport tal-metroloġija ta' parti terza pprovdut)

11. Funzjoni tal-immappjar: Timpjega stadju ta' skennjar awtomatiku tat-tip x/y ta' preċiżjoni għolja, tappoġġja l-pożizzjonament awtomatiku u l-kejl tal-iskennjar ta' sottostrati ta' 2/4/6/8 pulzieri, preċiżjoni tar-ripetibbiltà ≤6μm, ġenerazzjoni b'klikk waħda ta' mapep tad-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-film 2D/3D

12. Firxa u ffukar bil-lejżer: Pożizzjonament awtomatiku tat-tul fokali permezz tal-mogħdija ottika tar-riflessjoni tal-lejżer, vjaġġar tal-iffukar ≤3mm

13. Mudell ta' differenza: Jikkalkula awtomatikament id-dejta tad-differenza psi-diff u delta-diff

14. Softwer tal-analiżi: Jinkludi mill-inqas 5 modi ta' kejl differenti, database n/k integrata għal aktar minn 100 materjal ottiku, u jappoġġja l-ħolqien ta' databases personalizzati; jippossjedi kapaċitajiet ta' ttestjar u analiżi ta' mmudellar għal films irqaq alternanti b'saff wieħed, b'ħafna saffi (sa 30 saff), u komposti, inklużi mudelli Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, u Oscillator, u jappoġġja l-liċenzjar tas-softwer offline.

Speċifikazzjonijiet Tekniċi

I. Introduzzjoni tat-Tagħmir

L-Spettroellipsometrija tal-ME-Mapping tinkludi teknoloġija ta' modulazzjoni ta' kumpensatur b'rotazzjoni doppja flimkien ma' algoritmi ta' analiżi tad-dejta ta' preċiżjoni għolja. Tista' takkwista s-16-il element kollha tal-matriċi Mueller sħiħa u l-ispettru tal-polarizzazzjoni f'kejl wieħed, li jippermetti kejl rapidu u mhux distruttiv tal-kampjuni. L-istrument jiftaħar b'disinn stabbli tal-passaġġ ottiku u juża ditekter imkessaħ b'semikondutturi, li jakkwista sinjali tal-intensità tad-dawl fi ftit sekondi. Joffri veloċità ta' kejl aktar mgħaġġla u preċiżjoni ogħla, li jappoġġja kejl preċiż ta' parametri bħall-ħxuna, l-indiċi refrattiv, il-koeffiċjent tal-estinzjoni, u l-kostanti dielettrika ottika għal diversi materjali tal-film irqiq. Barra minn hekk, tista' tiġi personalizzata b'"stadji ta' pożizzjonament ripetibbli tal-wejfer" ta' daqsijiet differenti għal kejl ta' skannjar ta' mapping b'ħafna punti ta' diversi kampjuni ta' daqs kbir.

II. Ambitu tal-Applikazzjoni

L-ellissometristi jintużaw l-aktar f'semikondutturi, wirjiet ċatti, fotovoltajċi solari, films ottiċi rqaq, komunikazzjonijiet ottiċi, u nanomaterjali.

III. Rekwiżiti Tekniċi Ġenerali

1. Speċifikazzjonijiet Tekniċi:
1.1 Parametri tal-Kejl: elementi tal-matriċi Mueller tas-16-il ordni, Psi/Delta, indiċi refrattiv, ħxuna, birefringenza, u kostanti dielettrika, eċċ.
1.2 Firxa Spettrali: 210nm-1690nm;
1.3 Ħin ta' Kejl f'Punt Uniku: ≤10s;
1.4 Daqs tal-Mikrospot: ≤200μm;
1.5 Teknoloġija tal-Modulazzjoni: Modulazzjoni ta' kumpens ta' rotazzjoni doppja PC1SCA;
1.6 Stadju Awtomatiku tal-Kampjun: Jappoġġja l-iffukar awtomatiku tal-assi z, vjaġġar massimu ta' 18mm, pass minimu ta' 1μm;
1.7 Preċiżjoni tar-Ripetibbiltà tal-Ħxuna tal-Film: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 kejl ripetut, ikkalkulat 1σ);
1.8 Preċiżjoni tar-Ripetibbiltà tal-Indiċi Refrattiv: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 kejl ripetut, ikkalkulat 1σ);
1.9 Preċiżjoni Assoluta tal-Ħxuna tal-Film: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, rapport tal-metroloġija ta' parti terza pprovdut); μm
1.10 Funzjoni tal-Immappjar: Timpjega stadju ta' skennjar awtomatiku tat-tip x/y ta' preċiżjoni għolja, li jappoġġja l-pożizzjonament awtomatiku u l-kejl tal-iskennjar ta' sottostrati ta' 2/4/6/8 pulzieri, b'eżattezza ta' ripetibbiltà ≤6μm, u ġenerazzjoni b'klikk waħda ta' mapep tad-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-film 2D/3D;
1.11 Sejbien tal-Medda u Fokus bil-Laser: Jippożizzjona awtomatikament it-tul fokali bl-użu tal-mogħdija ottika tar-riflessjoni tal-laser, b'moviment ta' sejbien tal-fokus ≤3mm;
1.12 Firxa tal-Kejl tal-Ħxuna tal-Film: 1nm-10μm;
1.13 Mudell tad-Differenza: Jikkalkula awtomatikament id-dejta tad-differenza psi-diff u delta-diff;
1.14 Softwer tal-Analiżi:
* Kapaċitajiet ta' Kejl Spettroskopiku: 16-il element tal-matriċi sħiħa ta' Mueller, spettroskopija ta' polarizzazzjoni Psi/Delta, N/C/S, depolarizzazzjoni, eċċ.;
* Kapaċitajiet ta' Analiżi tad-Data: Kapaċi janalizza l-ħxuna u l-kostanti ottiċi (n, k) ta' materjali ta' film irqiq iżotropiċi u anisotropiċi b'saff wieħed u b'ħafna saffi (sa 20 saff);
* Jappoġġja mudelli għal kostanti ottiċi, distribuzzjoni tal-gradjent tal-indiċi refrattiv, mezzi ekwivalenti, ħruxija, eċċ., ta' films irqaq b'ħafna komponenti u materjali bl-ingrossa;
* Jappoġġja mudelli komuni ta' kostanti ottiċi u mudelli komuni ta' oxxillatur (mudell Cauchy, mudell Lorentz, mudell Gaussian, Drude, Sellmeier, eċċ.), u jappoġġja twaħħil ta' mudelli ibridi b'ħafna oxxillaturi grafiċi;
* Jappoġġja l-ħruġ ta' immaġnijiet topografiċi 2D/3D, il-wiri ta' dejta storika, u l-esportazzjoni u l-editjar ta' dejta u rapporti korrispondenti;
* Formati tal-Output tad-Data: TXT, CSV, SNAP snapshot, spettru mhux ipproċessat, DAT, eċċ.;
* Jappoġġja l-kejl tad-dewmien tal-fażi, kapaċi li jittestja d-dewmien tal-fażi, l-angolu tal-ażimut, l-angolu tar-rotazzjoni ottika, il-proporzjon tal-amplitudni, l-ordni, eċċ.;
* Għandu funzjonijiet ta' analiżi u mmudellar tal-istruttura tal-gradilja perjodika 1D/2D.

2. Lista ta' Konfigurazzjoni:

1) Sett wieħed ta' unità prinċipali tal-ellissometru;

2) Sett wieħed ta' driegħ tal-ellissometrija u driegħ tal-analizzatur;

3) Sett wieħed ta' stadju awtomatiku tal-kampjun;

4) Sett wieħed ta' softwer tal-analiżi;

5) Sett wieħed ta' slajds standard;

6) Kompjuter wieħed;

7) Sett wieħed ta' għodod ta' debugging;

8) Sett wieħed ta' assemblaġġ ta' mikro-spot;

9) Pompa waħda ta' adsorbiment bil-vakwu;

10) Stadju wieħed ta' skennjar tal-immappjar.

3. Kompjuter tal-Kejl u l-Kontroll

Juża PC industrijali kummerċjali bis-sistema operattiva Windows 10; CPU: proċessur i7; Memorja: 15GB; Hard Disk: 1TB; Monitor LCD: 24 pulzier; jinkludi maws u tastiera.

4. Rekwiżiti Ambjentali u tal-Enerġija:

1) Rekwiżiti tal-Pjattaforma: 2.0m (tul) x 1.2m (wisa'), kapaċità ta' tagħbija akbar minn 100kg (iżolament tal-vibrazzjoni ottika rakkomandat).
2) Firxa tat-Temperatura Operattiva: 20 ~ 30 ° C
3) Umdità Relattiva: 35% ~ 60% RH
4) Vultaġġ tal-Provvista tal-Enerġija: 220VAC
5) Kurrent tal-Fażi: Valur RMS inqas minn 4A (220VAC);
6) Qawwa Massima: 800W

Oġġett tal-Kejl tal-Ellipsometrija

Prinċipju tal-Kejl tal-Ellipsometrija

Proċess ta' Analiżi tal-Ellipsometrija

Ellipsometrija tal-Matriċi ta' Muller

Ellipsometru Spettroskopiku għal Film Irqiq

Ellipsometrija tal-Matriċi Mueller ME-L

Ellipsometrija tal-matriċi Mueller ta' preċiżjoni għolja kompletament awtomatika ta' grad ta' riċerka

Aġġustament tal-angolu u teknoloġija ta' ffukar kompletament awtomatiċi, kejl rapidu b'klikk waħda

Interfaċċja interattiva gwidata bejn il-bniedem u l-magna, esperjenza konvenjenti ta' tħaddim tas-softwer

Database rikka ta' materjali u librerija ta' mudelli ta' algoritmi, kapaċitajiet qawwija ta' analiżi tad-dejta

Speċifikazzjonijiet Tekniċi

Numru tal-Mudell	ME-L
Applikazzjonijiet	Grad ta' Riċerka/Intrapriża
Funzjonijiet Bażiċi	Psi/Delta, R/T, Mueller Matrix, u sensuri ottiċi oħra
Analiżi tal-Ispettru	380-1000nm (jappoġġja espansjoni għal 193-2500nm)
Ħin ta' Kejl Uniku	≤15s
Preċiżjoni tal-Kejl tar-Ripetibbiltà	0.005nm
Preċiżjoni Assoluta (Kejl tal-Arja minn ġo fih)	Parametri tal-ellissometrija: 4 = 45 ± 0.05°, A = 0 ± 0.1° Matriċi ta' Muller: Element djagonali m = 10.005 Element barra mid-djagonali m = 0 ± 0.005
Preċiżjoni tar-Ripetibbiltà tal-Indiċi Refrattiv	0.0005
Daqs tal-Post	Daqs kbir tal-post: 2-4 mm Daqs żgħir tal-post: 200 μm/100 μm Daqs tal-post ultra-żgħir: 50 μm (skont it-tul tal-mewġa)

L-indiċi tal-eżattezza tar-ripetibbiltà huwa bbażat fuq 30 kejl ripetibbli ta' kampjun standard ta' 100nm SiO2/Si;

Il-parametri tekniċi speċifiċi tal-istrument huma relatati mal-moduli funzjonali u l-aċċessorji attwali, u d-dejta fit-tabella hija għal referenza biss.

Konfigurazzjonijiet Fakultattivi

Għażla tal-Banda	VN: 380-1650nm
V: 380-1000nm	NU: 210-1650nm
UV: 245-1000nm	DN: 193-1650nm
UV+: 210-1000nm	UN+: 210-2500nm
DUV: 193-1000nm	DN+: 193-2500nm

Għażla tal-Angolu

Fiss: 65°
Awtomatiku: 45-90°
Manwali: 45-90° (inkrementi ta' 5°)

Għażliet Oħra

Għażliet ta' Immappjar: 100 * 100mm / 200 * 200mm

Stadju tal-Kontroll tat-Temperatura: 190-550°C/RT-1000°C

Dwarna

Imwaqqfa fl-2015, MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd kibret kontinwament u għaddietAwtentikazzjoni Rheinland ISO 9001Biċ-ċentri tat-tħin ta' ħames assi high-end SACCKE Ġermaniżi, iċ-ċentru ta' spezzjoni tal-għodda ta' sitt assi ZOLLER Ġermaniż, il-magna PALMARY tat-Tajwan u tagħmir ieħor tal-manifattura avvanzat internazzjonali, aħna impenjati li nipproduċuta' kwalità għolja, professjonali u effiċjentiGħodda tas-CNC.

L-ispeċjalità tagħna hija d-disinn u l-manifattura ta' kull tip ta' għodda tat-tqattigħ tal-karbur solidu:Imtieħen tat-tarf, trapani, alesaturi, viti u għodod speċjali.Il-filosofija tan-negozju tagħna hija li nipprovdu lill-klijenti tagħna b'soluzzjonijiet komprensivi li jtejbu l-operazzjonijiet tal-magni, iżidu l-produttività, u jnaqqsu l-ispejjeż.Servizz + Kwalità + PrestazzjoniIt-tim ta' Konsulenza tagħna joffri wkollgħarfien espert tal-produzzjoni, b'firxa ta' soluzzjonijiet fiżiċi u diġitali biex ngħinu lill-klijenti tagħna jinnavigaw b'mod sikur lejn il-futur tal-industrija 4.0. Għal aktar informazzjoni dettaljata dwar kwalunkwe qasam partikolari tal-kumpanija tagħna, jekk jogħġbokesplora s-sit tagħna oruża t-taqsima ikkuntattjanabiex tikkuntattja lit-tim tagħna direttament.

Profil tal-Fabbrika

Għaliex Agħżelna

Mistoqsijiet Frekwenti

M1: Min aħna?

A1: Imwaqqfa fl-2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd kibret kontinwament u għaddiet ir-Rheinland ISO 9001
awtentikazzjoni. Biċ-ċentri tat-tħin ta' ħames assi high-end SACCKE Ġermaniżi, iċ-ċentru ta' spezzjoni tal-għodda ta' sitt assi ZOLLER Ġermaniż, il-magna PALMARY tat-Tajwan u tagħmir ieħor tal-manifattura avvanzat internazzjonali, aħna impenjati li nipproduċu għodda CNC high-end, professjonali u effiċjenti.

M2: Inti kumpanija kummerċjali jew manifattur?

A2: Aħna l-fabbrika tal-għodod tal-karbur.

M3: Tista' tibgħat prodotti lill-Speditur tagħna fiċ-Ċina?

A3: Iva, jekk għandek Forwarder fiċ-Ċina, aħna kuntenti li nibagħtu l-prodotti lilu/lilha.

M4: Liema termini ta' ħlas huma aċċettabbli?

A4: Normalment naċċettaw T/T.

M5: Taċċetta ordnijiet OEM?

A5: Iva, l-OEM u l-adattament huma disponibbli, u nipprovdu wkoll servizz tal-istampar tat-tikketti.

M6: Għaliex għandek tagħżel lilna?

A6:1) Kontroll tal-ispejjeż - xiri ta' prodotti ta' kwalità għolja bi prezz xieraq.

2) Rispons rapidu - fi żmien 48 siegħa, persunal professjonali jagħtik kwotazzjoni u jindirizza t-tħassib tiegħek.

3) Kwalità għolja - Il-kumpanija dejjem tipprova b'intenzjoni sinċiera li l-prodotti li tipprovdi huma 100% ta' kwalità għolja.

4) Servizz ta' wara l-bejgħ u gwida teknika - Il-kumpanija tipprovdi servizz ta' wara l-bejgħ u gwida teknika skont ir-rekwiżiti u l-bżonnijiet tal-klijent.

Preċedenti: Strument tal-Kejl tal-Kontorn ta' Preċiżjoni Għolja SP1000 | Apparat li Jkejjel il-Profil 2D u l-Ħruxija tal-Wiċċ

Li jmiss: Traċċar bil-Lejżer fuq Skala Kbira Portabbli | Sistema ta' Kejl Industrijali 3D ta' Preċiżjoni Għolja