Ellipsometer Spektroskopi Presisi Tinggi | Sistem Pangukuran Ketebalan Film Ipis & Indéks Bias Non-Destruktif
Pitunjuk Mesen
Kusabab sipat khusus produk ieu, harga anu dipidangkeun dina halaman ieu mangrupikeun harga deposit, sanés harga anu saleresna. Mangga ngahubungi layanan palanggan kanggo kéngingkeun kutipan.
Pesenan anu dilakukeun langsung tanpa kontak sateuacanna teu tiasa dikirim! Hatur nuhun kana kerjasamana! Kanggo inpormasi produk anu langkung lengkep, mangga ngahubungi layanan palanggan pikeun nampi brosur produk.
Pangukuran konci
Kandel Pilem (lapisan tunggal dugi ka lapisan ganda)
Indéks Réfraktif (n) & Koéfisién Énghap (k)
Celah Pita Optik (Contona)
Kasar Permukaan
Sorotan Téknis
Rentang Spéktral Lega: Cakupan UV dugi ka NIR pikeun analisis bahan anu serbaguna
Sensitivitas Luhur: Mampu ngukur pilem ultra-ipis dugi ka skala sub-nanometer
Non-Kontak & Non-Destruktif: Ideal pikeun sampel sénsitip dina lingkungan R&D sareng produksi
Parangkat Lunak Pemodelan Canggih: Ngarojong analisis tumpukan multi-lapisan anu rumit kalayan alur kerja anu ramah-pangguna
Aplikasi
Sistem ieu seueur dianggo dina manufaktur semikonduktor, palapis optik, tampilan panel datar, pamekaran fotovoltaik (sél surya), panalungtikan élmu bahan, sareng biosénsing.
Naha Milih Solusi Kami
Salaku produsén profésional kalayan kamampuan R&D anu kuat, kami nawiskeun harga langsung ka pabrik, konfigurasi anu tiasa disaluyukeun, sareng dukungan téknis khusus. Naha anjeun peryogi sistem benchtop pikeun analisis laboratorium atanapi solusi in-line pikeun pangawasan produksi, kami tiasa nyaluyukeun instrumen kana kabutuhan pangukuran khusus anjeun.
Nyuhunkeun Kutipan
Hubungi kami ayeuna pikeun ngabahas aplikasi anjeun atanapi nyuhunkeun kutipan. Tim kami nyayogikeun konsultasi téknis gratis pikeun ngabantosan anjeun milih solusi pangukuran lapisan ipis anu optimal.
Parameter Téknis Utama
1. Kamampuh Pangukuran: élémen matriks Mueller orde ka-16, spéktrum polarisasi Psi/Delta, indéks bias, ketebalan, birefringence, sareng konstanta dielektrik, jsb.
2. Rentang Spéktral: 210nm-1690nm
3. Jarak Panjang Gelombang: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm
4. Waktos Pangukuran Titik Tunggal: ≤10s
5. Ukuran Mikro-bintik: ≤200μm
6. Téhnologi Modulasi: Modulasi sistem kompensator rotary ganda PCSCA
7. Tahap Sampel Otomatis: Fokus otomatis sumbu-Z, perjalanan maksimum 18mm, léngkah minimum 1µm
8. Akurasi pangulangan ketebalan pilem: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 pangukuran anu diulang, diitung salaku 1σ)
9. Akurasi pangulangan indéks bias: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 pangukuran anu diulang, diitung salaku 1σ)
10. Akurasi ketebalan pilem absolut: ≤0,5% (100nm SiO2/Si, laporan metrologi pihak katilu disayogikeun)
11. Fungsi pemetaan: Nganggo tahapan scanning otomatis tipe x/y presisi tinggi, ngadukung pangukuran posisi sareng scanning otomatis tina substrat 2/4/6/8 inci, akurasi pangulangan ≤6μm, generasi hiji-klik tina peta distribusi ketebalan pilem 2D/3D
12. Pangaturan sareng fokus laser: Posisi panjang fokus otomatis ngalangkungan jalur optik pantulan laser, perjalanan fokus ≤3mm
13. Modél bédana: Sacara otomatis ngitung data bédana psi-diff sareng delta-diff
14. Parangkat lunak analisis: Ngawengku sahenteuna 5 mode pangukuran anu béda, database n/k bawaan pikeun langkung ti 100 bahan optik, sareng ngadukung nyiptakeun database khusus; ngagaduhan kamampuan analisis uji coba sareng modél pikeun lapisan tunggal, multi-lapisan (dugi ka 30 lapisan), sareng pilem ipis silih ganti komposit, kalebet modél cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, sareng Oscillator, sareng ngadukung lisénsi parangkat lunak offline.
Spésifikasi Téknis
I. Bubuka Peralatan
Spektroellipsometri ME-Mapping nampilkeun téknologi modulasi kompensator rotasi ganda anu digabungkeun sareng algoritma analisis data presisi tinggi. Éta tiasa kéngingkeun sadaya 16 unsur tina matriks Mueller lengkep sareng spéktrum polarisasi dina hiji pangukuran, ngamungkinkeun pangukuran sampel anu gancang sareng henteu ngaruksak. Instrumen ieu ngagaduhan desain jalur optik anu stabil sareng nganggo detektor anu didinginkan ku semikonduktor, kéngingkeun sinyal inténsitas cahaya dina sababaraha detik. Éta nawiskeun kecepatan pangukuran anu langkung gancang sareng akurasi anu langkung luhur, ngadukung pangukuran parameter anu tepat sapertos ketebalan, indéks bias, koefisien pamusnahan, sareng konstanta dielektrik optik pikeun rupa-rupa bahan pilem ipis. Salajengna, éta tiasa disaluyukeun sareng "tahap posisi wafer anu tiasa diulang" ukuran anu béda pikeun pangukuran scanning pemetaan multi-titik tina rupa-rupa sampel ukuran ageung.
II. Ruang Lingkup Aplikasi
Ahli elipsometri utamana dianggo dina semikonduktor, tampilan panel datar, fotovoltaik surya, film ipis optik, komunikasi optik, sareng nanomaterial.
III. Sarat Téknis Sakabéhna
1. Spésifikasi Téknis:
1.1 Parameter Pangukuran: unsur matriks Mueller orde ka-16, Psi/Delta, indéks bias, ketebalan, birefringence, sareng konstanta dielektrik, jsb.
1.2 Rentang Spéktral: 210nm-1690nm;
1.3 Waktos Pangukuran Titik Tunggal: ≤10s;
1.4 Ukuran Mikrospot: ≤200μm;
1.5 Téhnologi Modulasi: Modulasi kompensasi rotasi ganda PC1SCA;
1.6 Tahap Sampel Otomatis: Ngarojong fokus sumbu-z otomatis, perjalanan maksimum 18mm, léngkah minimum 1μm;
1.7 Akurasi Pangulangan Kandel Pilem: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 pangukuran anu diulang, diitung 1σ);
1.8 Akurasi Pangulangan Indéks Réfraktif: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 pangukuran anu diulang, diitung 1σ);
1.9 Akurasi Kandel Pilem Absolut: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, laporan métrologi pihak katilu disayogikeun); μm
1.10 Fungsi Pemetaan: Ngagunakeun tahapan scanning otomatis tipe-x/y anu presisi tinggi, ngadukung pangukuran posisi sareng scanning otomatis tina substrat 2/4/6/8 inci, kalayan akurasi pangulangan ≤6μm, sareng generasi sakali klik tina peta distribusi ketebalan pilem 2D/3D;
1.11 Pangukuran Jarak jeung Fokus Laser: Sacara otomatis nempatkeun panjang fokus ngagunakeun jalur optik pantulan laser, kalayan gerakan pangukuran fokus ≤3mm;
1.12 Rentang Pangukuran Kandel Pilem: 1nm-10μm;
1.13 Modél Bédana: Sacara otomatis ngitung data bédana psi-diff sareng delta-diff;
1.14 Parangkat Lunak Analisis:
* Kamampuh Pangukuran Spektroskopi: 16 unsur tina matriks Mueller lengkep, spéktroskopi polarisasi Psi/Delta, N/C/S, depolarisasi, jsb.;
* Kamampuh Analisis Data: Mampu nganalisis ketebalan sareng konstanta optik (n, k) tina bahan pilem ipis isotropik sareng anisotropik lapisan tunggal sareng multi-lapisan (dugi ka 20 lapisan);
* Ngarojong modél pikeun konstanta optik, distribusi gradien indéks bias, média anu sami, kakasaran, jsb., tina pilem ipis multi-komponén sareng bahan curah;
* Ngarojong modél konstanta optik umum sareng modél osilator umum (modél Cauchy, modél Lorentz, modél Gaussian, Drude, Sellmeier, jsb.), sareng ngadukung pas modél hibrida multi-osilator grafis;
* Ngarojong kaluaran gambar topografi 2D/3D, ningali data historis, sareng ngékspor sareng ngédit data sareng laporan anu saluyu;
* Format Kaluaran Data: TXT, CSV, snapshot SNAP, spéktrum atah, DAT, jsb.;
* Ngarojong pangukuran reureuh fase, sanggup nguji reureuh fase, sudut azimuth, sudut rotasi optik, babandingan amplitudo, tatanan, jsb.;
* Mibanda fungsi analisis struktur kisi périodik sareng modél 1D/2D.
2. Daptar Konfigurasi:
1) Hiji sét unit utama ellipsometer;
2) Hiji set leungeun ellipsometry sareng leungeun analyzer;
3) Hiji sét tahapan sampel otomatis;
4) Hiji sét perangkat lunak analisis;
5) Hiji sét slide standar;
6) Hiji komputer;
7) Hiji set alat debugging;
8) Hiji sét rakitan mikro-titik;
9) Hiji pompa adsorpsi vakum;
10) Hiji tahapan scanning pemetaan.
3. Komputer Pangukuran sareng Kontrol
Nganggo PC industri komérsial kalayan sistem operasi Windows 10; CPU: prosesor i7; Mémori: 15GB; Hard Disk: 1TB; Monitor LCD: 24 inci; kalebet mouse sareng keyboard.
4. Sarat Lingkungan sareng Daya:
1) Sarat Platform: 2.0m (panjang) x 1.2m (lébar), kapasitas beban langkung ti 100kg (isolasi geter optik disarankeun).
2) Rentang Suhu Operasi: 20~30°C
3) Kalembaban Relatif: 35% ~ 60% RH
4) Tegangan Catu Daya: 220VAC
5) Arus Fase: Nilai RMS kirang ti 4A (220VAC);
6) Daya Maksimum: 800W
Objek Pangukuran Ellipsometri
Prinsip Pangukuran Ellipsometri
Prosés Analisis Ellipsometri
Ellipsometri Matriks Muller
Ellipsometri Matriks ME-L Mueller
Ellipsometri matriks Mueller presisi tinggi otomatis pinuh kelas panalungtikan
Téhnologi pangaturan sudut sareng fokus otomatis pinuh, pangukuran gancang sakali klik
Antarbeungeut manusa-mesin interaktif anu dipandu, pangalaman operasi parangkat lunak anu merenah
Database bahan anu beunghar sareng perpustakaan modél algoritma, kamampuan analisis data anu kuat
Spésifikasi Téknis
| Nomer Modél | ME-L |
| Aplikasi | Kelas Panalungtikan/Perusahaan |
| Fungsi Dasar | Psi/Delta, R/T, Mueller Matrix, sareng sénsor optik anu sanésna |
| Analisis Spéktrum | 380-1000nm (ngarojong ékspansi ka 193-2500nm) |
| Waktu Pangukuran Tunggal | ≤15s |
| Akurasi Pangukuran Pangulangan | 0.005nm |
| Akurasi Mutlak (Ukuran Udara Ngaliwatan) | Parameter elipsometri: 4 = 45 ± 0,05°, A = 0 ± 0,1° Matriks Muller: Unsur diagonal m = 10,005 Élémen di luar diagonal m = 0 ± 0,005 |
| Akurasi Pangulangan Indéks Réfraktif | 0.0005 |
| Ukuran Titik | Ukuran titik ageung: 2-4 mm Ukuran titik leutik: 200 μm/100 μm Ukuran titik anu leutik pisan: 50 μm (gumantung kana panjang gelombang) |
Indéks akurasi pangulangan dumasar kana 30 pangukuran anu tiasa diulang tina sampel standar SiO2/Si 100nm;
Parameter téknis khusus instrumen ieu aya hubunganana sareng modul sareng asesoris fungsional anu saleresna, sareng data dina tabel ngan ukur kanggo rujukan.
Konfigurasi Opsional
| Pilihan Band | VN: 380-1650nm |
| V: 380-1000nm | PBB: 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | PBB+: 210-2500nm |
| DUV: 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
Pilihan Sudut
Tetep: 65°
Otomatis: 45-90°
Manual: 45-90° (tambahan 5°)
Pilihan Sanésna
Pilihan Pemetaan: 100*100mm/200*200mm
Tahap Kontrol Suhu: 190-550°C/RT-1000°C
Tentang Kami
Profil Pabrik
Naha Milih Kami
FAQ
Q1: Saha urang téh?
A1: Diadegkeun dina taun 2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd parantos terus berkembang sareng lulus Rheinland ISO 9001.
auténtikasi. Kalayan pusat panggilingan lima sumbu SACCKE kelas luhur Jerman, pusat pamariksaan alat genep sumbu ZOLLER Jerman, mesin Taiwan PALMARY sareng peralatan manufaktur canggih internasional anu sanésna, kami berkomitmen pikeun ngahasilkeun alat CNC kelas luhur, profésional sareng efisien.
Q2: Naha anjeun perusahaan dagang atanapi produsén?
A2: Kami pabrik pakakas karbida.
Q3: Dupi anjeun tiasa ngirim produk ka Forwarder kami di Cina?
A3: Sumuhun, upami anjeun gaduh Forwarder di Cina, urang bakal bingah ngirim produk ka anjeunna.
Q4: Sarat pamayaran naon anu tiasa ditampi?
A4: Biasana urang nampi T/T.
Q5: Naha anjeun nampi pesenan OEM?
A5: Sumuhun, OEM sareng kustomisasi sayogi, sareng kami ogé nyayogikeun jasa percetakan labél.
Q6: Naha anjeun kedah milih kami?
A6:1) Kontrol biaya - mésér produk anu kualitasna luhur kalayan harga anu pantes.
2) Réspon gancang - dina 48 jam, tanaga profésional bakal masihan anjeun kutipan sareng ngabahas masalah anjeun.
3) Kualitas luhur - Perusahaan salawasna ngabuktikeun kalayan niat anu tulus yén produk anu disayogikeun 100% kualitas luhur.
4) Layanan purna jual sareng bimbingan téknis - Perusahaan nyayogikeun layanan purna jual sareng bimbingan téknis numutkeun sarat sareng kabutuhan palanggan.
