उच्च सुस्पष्टता स्पेक्ट्रोस्कोपिक एलिप्सोमीटर | विनाशरहित पातळ थराची जाडी आणि अपवर्तनांक मापन प्रणाली
ऑर्डर करण्याच्या सूचना
उत्पादनाच्या विशेष स्वरूपामुळे, पृष्ठावर दर्शवलेली किंमत ही अनामत रक्कम आहे, वास्तविक किंमत नाही. दरपत्रकासाठी कृपया ग्राहक सेवेशी संपर्क साधा.
पूर्व संपर्क न करता थेट दिलेल्या ऑर्डर पाठवल्या जाऊ शकत नाहीत! आपल्या सहकार्याबद्दल धन्यवाद! उत्पादनाबद्दल अधिक माहितीसाठी, कृपया उत्पादन माहितीपत्रके मिळवण्यासाठी ग्राहक सेवेशी संपर्क साधा.
मुख्य मोजमापे
फिल्मची जाडी (एकल ते बहु-स्तरीय)
अपवर्तनांक (n) आणि क्षय गुणांक (k)
ऑप्टिकल बँड गॅप (उदा.)
पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा
तांत्रिक ठळक मुद्दे
विस्तृत वर्णपटीय श्रेणी: विविध प्रकारच्या पदार्थांच्या विश्लेषणासाठी UV ते NIR पर्यंतची व्याप्ती.
उच्च संवेदनशीलता: उप-नॅनोमीटर स्केलपर्यंतच्या अति-पातळ थरांचे मापन करण्यास सक्षम
संपर्करहित आणि विनाशरहित: संशोधन आणि विकास (R&D) आणि उत्पादन वातावरणातील संवेदनशील नमुन्यांसाठी आदर्श.
प्रगत मॉडेलिंग सॉफ्टवेअर: वापरकर्त्यासाठी सोप्या कार्यप्रवाहांसह जटिल बहु-स्तरीय स्टॅक विश्लेषणास समर्थन देते.
अर्ज
ही प्रणाली सेमीकंडक्टर उत्पादन, ऑप्टिकल कोटिंग, फ्लॅट पॅनल डिस्प्ले, फोटोव्होल्टेइक (सौर सेल) विकास, पदार्थ विज्ञान संशोधन आणि बायोसेन्सिंगमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते.
आमचा उपाय का निवडावा?
एक व्यावसायिक उत्पादक म्हणून, आमच्याकडे मजबूत संशोधन आणि विकास (R&D) क्षमता आहे आणि आम्ही थेट कारखान्यातील दर, गरजेनुसार बदलता येणारी संरचना आणि समर्पित तांत्रिक सहाय्य देतो. तुम्हाला प्रयोगशाळेतील विश्लेषणासाठी बेंचटॉप प्रणाली हवी असो किंवा उत्पादन देखरेखीसाठी इन-लाइन सोल्यूशन हवे असो, आम्ही तुमच्या विशिष्ट मापन गरजांनुसार उपकरण तयार करून देऊ शकतो.
कोटेशनसाठी विनंती करा
तुमच्या अर्जावर चर्चा करण्यासाठी किंवा दरपत्रक मागवण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा. सर्वोत्तम थिन फिल्म मापन प्रणाली निवडण्यात तुम्हाला मदत करण्यासाठी आमची टीम विनामूल्य तांत्रिक सल्ला देते.
मुख्य तांत्रिक मापदंड
१. मापन क्षमता: १६ व्या क्रमाचे म्यूलर मॅट्रिक्स घटक, ध्रुवीकरण स्पेक्ट्रम साय/डेल्टा, अपवर्तनांक, जाडी, बायरेफ्रिंजन्स आणि डायलेक्ट्रिक स्थिरांक, इत्यादी.
२. वर्णपटीय श्रेणी: २१०nm-१६९०nm
३. तरंगलांबीतील अंतर: ≤०.८nm@२१०-१०००nm, ≤३.५nm@१०००-१६९०nm
४. एकल-बिंदू मापन वेळ: ≤१० सेकंद
५. सूक्ष्म-ठिपक्याचा आकार: ≤२००μm
६. मॉड्युलेशन तंत्रज्ञान: पीसीएससीए ड्युअल रोटरी कॉम्पेन्सेटर सिस्टीम मॉड्युलेशन
७. स्वयंचलित नमुना मंच: झेड-अक्षीय स्वयंचलित फोकसिंग, कमाल प्रवास १८ मिमी, किमान पायरी १ मायक्रॉन
८. फिल्मच्या जाडीच्या पुनरावृत्तीची अचूकता: ≤०.००५nm (१००nm SiO2/Si, ३० वेळा पुनरावृत्त मोजमाप, १σ म्हणून गणना केली)
९. अपवर्तनांक पुनरावृत्ती अचूकता: ≤०.०००२ (१००nm SiO2/Si, ३० पुनरावृत्त मोजमापे, १σ म्हणून गणना केली)
१०. फिल्मच्या जाडीची अचूक अचूकता: ≤०.५% (१००nm SiO2/Si, त्रयस्थ मेट्रोलॉजी अहवाल सादर केल्यास)
११. मॅपिंग फंक्शन: उच्च-सुस्पष्टता असलेल्या एक्स/वाय प्रकारच्या स्वयंचलित स्कॅनिंग स्टेजचा वापर करते, २/४/६/८-इंच सबस्ट्रेट्सचे स्वयंचलित पोझिशनिंग आणि स्कॅनिंग मापनास समर्थन देते, पुनरावृत्ती अचूकता ≤६μm, एका क्लिकवर २डी/३डी फिल्म जाडी वितरण नकाशांची निर्मिती.
१२. लेझरद्वारे अंतर निश्चिती आणि केंद्रीकरण: लेझर परावर्तित प्रकाशीय मार्गाद्वारे नाभीय लांबीचे स्वयंचलित निर्धारण, केंद्रीकरणाची व्याप्ती ≤३मिमी
१३. फरक मॉडेल: psi-diff आणि delta-diff फरक डेटाची स्वयंचलितपणे गणना करते.
१४. विश्लेषण सॉफ्टवेअर: यात किमान ५ विविध मापन पद्धती, १०० हून अधिक ऑप्टिकल पदार्थांसाठी अंगभूत n/k डेटाबेस आहे आणि ते सानुकूल डेटाबेस तयार करण्यास समर्थन देते; यात एकल-स्तर, बहु-स्तर (३० थरांपर्यंत), आणि संमिश्र पर्यायी पातळ फिल्म्ससाठी चाचणी आणि मॉडेलिंग विश्लेषण क्षमता आहेत, ज्यात कॉची, सेलमेयर, टॉक-लॉरेन्झ, बी-स्प्लाइन आणि ऑसिलेटर मॉडेल्सचा समावेश आहे, आणि ते ऑफलाइन सॉफ्टवेअर परवान्यास समर्थन देते.
तांत्रिक तपशील
१. उपकरणांची ओळख
एमई-मॅपिंग स्पेक्ट्रोएलिप्सोमेट्रीमध्ये उच्च-सुस्पष्टता डेटा विश्लेषण अल्गोरिदमसह ड्युअल-रोटेशन कॉम्पेन्सेटर मॉड्युलेशन तंत्रज्ञान आहे. हे एकाच मापनात संपूर्ण म्यूलर मॅट्रिक्सचे सर्व १६ घटक आणि ध्रुवीकरण स्पेक्ट्रम मिळवू शकते, ज्यामुळे नमुन्याचे जलद आणि विनाशरहित मापन शक्य होते. या उपकरणात स्थिर ऑप्टिकल पाथ डिझाइन आहे आणि ते सेमीकंडक्टर-कूल्ड डिटेक्टर वापरते, जे काही सेकंदात प्रकाशाच्या तीव्रतेचे सिग्नल मिळवते. हे जलद मापन गती आणि उच्च अचूकता प्रदान करते, ज्यामुळे विविध पातळ फिल्म सामग्रीसाठी जाडी, अपवर्तनांक, विलुप्तता गुणांक आणि ऑप्टिकल डायलेक्ट्रिक स्थिरांक यांसारख्या पॅरामीटर्सचे अचूक मापन करता येते. याव्यतिरिक्त, विविध मोठ्या आकाराच्या नमुन्यांच्या मल्टी-पॉइंट मॅपिंग स्कॅनिंग मापनासाठी वेगवेगळ्या आकाराच्या "वेफर रिपीटेबल पोझिशनिंग स्टेजेस" सह ते सानुकूलित केले जाऊ शकते.
II. अर्जाची व्याप्ती
एलिप्सोमेट्रिस्टचा वापर प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर, फ्लॅट पॅनल डिस्प्ले, सौर फोटोव्होल्टाईक्स, ऑप्टिकल थिन फिल्म्स, ऑप्टिकल कम्युनिकेशन्स आणि नॅनोमटेरियल्समध्ये केला जातो.
III. एकूण तांत्रिक आवश्यकता
१. तांत्रिक वैशिष्ट्ये:
१.१ मापन मापदंड: १६व्या-ऑर्डरचे म्यूलर मॅट्रिक्स घटक, साय/डेल्टा, अपवर्तनांक, जाडी, बायरेफ्रिंजन्स आणि डायलेक्ट्रिक स्थिरांक, इत्यादी.
१.२ वर्णपटीय श्रेणी: २१०nm-१६९०nm;
१.३ एकल-बिंदू मापन वेळ: ≤१० सेकंद;
१.४ मायक्रोस्पॉटचा आकार: ≤२००μm;
१.५ मॉड्युलेशन तंत्रज्ञान: PC1SCA दुहेरी रोटेशन भरपाई मॉड्युलेशन;
१.६ स्वयंचलित नमुना मंच: स्वयंचलित झेड-अक्षीय फोकसिंगला समर्थन देते, कमाल प्रवास १८ मिमी, किमान पायरी १ मायक्रॉन;
१.७ फिल्मच्या जाडीच्या पुनरावृत्तीची अचूकता: ≤०.००५nm (१००nm SiO2/Si, ३० वेळा पुनरावृत्त मोजमाप, गणना केलेले १σ);
१.८ अपवर्तनांक पुनरावृत्ती अचूकता: ≤०.०००२ (१००nm SiO2/Si, ३० वेळा पुनरावृत्त मोजमाप, गणना केलेले १σ);
१.९ फिल्मच्या जाडीची अचूक अचूकता: ≤०.५% (१००nm SiO2/Si, तृतीय-पक्ष मेट्रोलॉजी अहवाल प्रदान केला आहे); μm
१.१० मॅपिंग फंक्शन: उच्च-सुस्पष्टता एक्स/वाय-प्रकारच्या स्वयंचलित स्कॅनिंग स्टेजचा वापर करते, जे २/४/६/८-इंच सब्सट्रेट्सचे स्वयंचलित पोझिशनिंग आणि स्कॅनिंग मापनास समर्थन देते, ज्याची पुनरावृत्ती अचूकता ≤६μm आहे, आणि एका क्लिकवर २डी/३डी फिल्म जाडी वितरण नकाशे तयार करते;
१.११ लेझर रेंजफाइंडिंग आणि फोकसिंग: लेझर परावर्तित ऑप्टिकल मार्गाचा वापर करून फोकल लांबी स्वयंचलितपणे निश्चित करते, ज्यामध्ये फोकस-फाइंडिंग प्रवास ≤३मिमी असतो;
१.१२ फिल्मच्या जाडीच्या मापनाची श्रेणी: १nm-१०μm;
१.१३ फरक मॉडेल: psi-diff आणि delta-diff फरक डेटाची स्वयंचलितपणे गणना करते;
१.१४ विश्लेषण सॉफ्टवेअर:
* स्पेक्ट्रोस्कोपिक मापन क्षमता: संपूर्ण म्यूलर मॅट्रिक्सचे १६ घटक, साय/डेल्टा पोलरायझेशन स्पेक्ट्रोस्कोपी, एन/सी/एस, डीपोलरायझेशन, इत्यादी;
* डेटा विश्लेषण क्षमता: एकल-स्तर आणि बहु-स्तर (20 थरांपर्यंत) समदिश आणि विषमदिश पातळ फिल्म सामग्रीची जाडी आणि ऑप्टिकल स्थिरांक (n, k) यांचे विश्लेषण करण्यास सक्षम;
* बहु-घटक पातळ फिल्म्स आणि स्थूल पदार्थांच्या ऑप्टिकल स्थिरांक, अपवर्तक निर्देशांक प्रवणता वितरण, समतुल्य माध्यमे, खडबडीतपणा इत्यादींसाठीच्या मॉडेल्सना समर्थन देते;
* सामान्य ऑप्टिकल कॉन्स्टंट मॉडेल्स आणि सामान्य ऑसिलेटर मॉडेल्स (कॉची मॉडेल, लॉरेंट्झ मॉडेल, गॉसियन मॉडेल, ड्रूड, सेलमेयर, इत्यादी) यांना समर्थन देते, आणि ग्राफिकल मल्टी-ऑसिलेटर हायब्रीड मॉडेल फिटिंगला समर्थन देते;
* २डी/३डी स्थलाकृतिक प्रतिमा आउटपुट करणे, ऐतिहासिक डेटा पाहणे, तसेच डेटा आणि संबंधित अहवाल निर्यात व संपादित करणे यास समर्थन देते;
* डेटा आउटपुट स्वरूप: TXT, CSV, SNAP स्नॅपशॉट, रॉ स्पेक्ट्रम, DAT, इत्यादी;
* फेज डिले मापनास समर्थन देते, फेज डिले, अझिमुथ कोन, ऑप्टिकल रोटेशन कोन, अॅम्प्लिट्यूड रेशो, ऑर्डर इत्यादींची चाचणी करण्यास सक्षम;
* यात 1D/2D नियतकालिक ग्रेटिंग संरचना विश्लेषण आणि मॉडेलिंगची कार्ये आहेत.
२. कॉन्फिगरेशन सूची:
१) एलिप्सोमीटर मुख्य युनिटचा एक संच;
२) एलिप्सोमेट्री आर्म आणि ॲनालायझर आर्म यांचा प्रत्येकी एक संच;
३) स्वयंचलित नमुना मंचाचा एक संच;
४) विश्लेषण सॉफ्टवेअरचा एक संच;
५) मानक स्लाईड्सचा एक संच;
६) एक संगणक;
७) डीबगिंग साधनांचा एक संच;
८) मायक्रो-स्पॉट असेंब्लीचा एक संच;
९) एक व्हॅक्यूम ॲडसॉर्प्शन पंप;
१०) एक मॅपिंग स्कॅनिंग टप्पा.
३. मापन आणि नियंत्रण संगणक
विंडोज 10 ऑपरेटिंग सिस्टम असलेला व्यावसायिक औद्योगिक पीसी वापरतो; सीपीयू: आय7 प्रोसेसर; मेमरी: 15 जीबी; हार्ड डिस्क: 1 टीबी; एलसीडी मॉनिटर: 24-इंच; माउस आणि कीबोर्ड समाविष्ट आहेत.
४. पर्यावरणीय आणि ऊर्जेच्या गरजा:
१) प्लॅटफॉर्मसाठी आवश्यकता: २.० मी (लांबी) x १.२ मी (रुंदी), १०० किलोपेक्षा जास्त भार क्षमता (ऑप्टिकल व्हायब्रेशन आयसोलेशनची शिफारस केली जाते).
२) कार्यरत तापमान श्रेणी: २०~३०°C
३) सापेक्ष आर्द्रता: ३५%~६०%RH
४) वीज पुरवठा व्होल्टेज: २२० व्होल्ट एसी
५) फेज करंट: RMS मूल्य ४A पेक्षा कमी (२२०VAC);
६) कमाल शक्ती: ८०० वॅट
एलिप्सोमेट्री मापन वस्तू
एलिप्सोमेट्री मापन तत्त्व
एलिप्सोमेट्री विश्लेषण प्रक्रिया
मुलर मॅट्रिक्स एलिप्सोमेट्री
एमई-एल म्यूलर मॅट्रिक्स एलिप्सोमेट्री
संशोधन-दर्जाचे पूर्णपणे स्वयंचलित उच्च-सुस्पष्टता म्यूलर मॅट्रिक्स इलिप्सोमेट्री
पूर्णपणे स्वयंचलित कोन समायोजन आणि फोकसिंग तंत्रज्ञान, एका क्लिकवर जलद मापन
मार्गदर्शित संवादात्मक मानवी-यंत्र इंटरफेस, सोयीस्कर सॉफ्टवेअर संचालनाचा अनुभव
समृद्ध मटेरियल डेटाबेस आणि अल्गोरिदम मॉडेल लायब्ररी, शक्तिशाली डेटा विश्लेषण क्षमता
तांत्रिक तपशील
| मॉडेल क्रमांक | एमई-एल |
| अर्ज | संशोधन/उद्यम दर्जा |
| मूलभूत कार्ये | साय/डेल्टा, आर/टी, म्यूलर मॅट्रिक्स आणि इतर ऑप्टिकल सेन्सर्स |
| स्पेक्ट्रम विश्लेषण | ३८०-१००० एनएम (१९३-२५०० एनएम पर्यंत विस्तारास समर्थन देते) |
| एकल मापन वेळ | ≤१५ सेकंद |
| पुनरावृत्तीक्षमता मापन अचूकता | ०.००५ एनएम |
| परिपूर्ण अचूकता (हवेचे संपूर्ण मापन) | एलिप्सोमेट्री पॅरामीटर्स: δ = ४५ ± ०.०५°, A = ० ± ०.१° म्युलर मॅट्रिक्स: कर्णावरील घटक m = 10.005 ऑफ-डायगोनल घटक m = 0 ± 0.005 |
| अपवर्तक निर्देशांक पुनरावृत्ती अचूकता | ०.०००५ |
| स्पॉट आकार | मोठ्या ठिपक्याचा आकार: २-४ मिमी लहान ठिपक्याचा आकार: २०० μm/१०० μm अतिसूक्ष्म ठिपक्याचा आकार: ५० μm (तरंगलांबीनुसार) |
पुनरावृत्ती अचूकता निर्देशांक हा 100nm SiO2/Si मानक नमुन्याच्या 30 पुनरावृत्तीयोग्य मोजमापांवर आधारित आहे;
उपकरणाचे विशिष्ट तांत्रिक मापदंड हे प्रत्यक्ष कार्यात्मक मॉड्यूल्स आणि ॲक्सेसरीजशी संबंधित आहेत आणि तक्त्यामधील डेटा केवळ संदर्भासाठी आहे.
पर्यायी संरचना
| बँड निवड | व्हीएन: ३८०-१६५०एनएम |
| V: ३८०-१०००nm | UN: 210-1650nm |
| अतिनील: २४५-१००० एनएम | डीएन: १९३-१६५०एनएम |
| UV+: २१०-१०००nm | UN+: २१०-२५००nm |
| डीयूव्ही: १९३-१०००एनएम | डीएन+: १९३-२५००एनएम |
कोन निवड
स्थिर: ६५°
स्वयंचलित: ४५-९०°
मॅन्युअल: ४५-९०° (५° च्या अंतराने)
इतर पर्याय
मॅपिंग पर्याय: 100*100मिमी/200*200मिमी
तापमान नियंत्रण टप्पा: १९०-५५०°से/आरटी-१०००°से
आमच्याबद्दल
फॅक्टरी प्रोफाइल
आम्हाला का निवडावे?
वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न
प्रश्न १: आपण कोण आहोत?
A1: २०१५ मध्ये स्थापना झालेली, एमएसके (तियानजिन) कटिंग टेक्नॉलॉजी कंपनी लिमिटेडने सातत्याने प्रगती केली आहे आणि ऱ्हाइनलँड आयएसओ ९००१ प्रमाणपत्र प्राप्त केले आहे.
प्रमाणीकरण. जर्मन सॅके (SACCKE) हाय-एंड फाईव्ह-ॲक्सिस ग्राइंडिंग सेंटर्स, जर्मन झोलर (ZOLLER) सिक्स-ॲक्सिस टूल इन्स्पेक्शन सेंटर, तैवान पामरी (PALMARY) मशीन आणि इतर आंतरराष्ट्रीय प्रगत उत्पादन उपकरणांच्या साहाय्याने, आम्ही उच्च दर्जाची, व्यावसायिक आणि कार्यक्षम सीएनसी (CNC) साधने तयार करण्यासाठी वचनबद्ध आहोत.
प्रश्न २: तुम्ही व्यापारी कंपनी आहात की उत्पादक?
A2: आम्ही कार्बाइड टूल्सचा कारखाना आहोत.
प्रश्न ३: तुम्ही चीनमधील आमच्या फॉरवर्डरला उत्पादने पाठवू शकता का?
A3: हो, जर तुमचा चीनमध्ये फॉरवर्डर असेल, तर आम्हाला त्याला/तिला उत्पादने पाठवायला आनंद होईल.
प्रश्न ४: पेमेंटच्या कोणत्या अटी स्वीकारार्ह आहेत?
A4: साधारणपणे आम्ही टी/टी स्वीकारतो.
प्रश्न ५: तुम्ही OEM ऑर्डर्स स्वीकारता का?
A5: होय, OEM आणि कस्टमायझेशन उपलब्ध आहेत, आणि आम्ही लेबल प्रिंटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.
प्रश्न ६: तुम्ही आम्हाला का निवडावे?
A6:१) खर्च नियंत्रण - योग्य किंमतीत दर्जेदार उत्पादने खरेदी करणे.
२) त्वरित प्रतिसाद - ४८ तासांच्या आत, व्यावसायिक कर्मचारी तुम्हाला दरपत्रक देतील आणि तुमच्या शंकांचे निरसन करतील.
३) उच्च गुणवत्ता - कंपनी नेहमी प्रामाणिक हेतूने हे सिद्ध करते की ती पुरवत असलेली उत्पादने १००% उच्च-गुणवत्तेची आहेत.
४) विक्रीपश्चात सेवा आणि तांत्रिक मार्गदर्शन - कंपनी ग्राहकांच्या आवश्यकता आणि गरजांनुसार विक्रीपश्चात सेवा आणि तांत्रिक मार्गदर्शन प्रदान करते.
