고정밀 분광 타원계측기 | 비파괴 박막 두께 및 굴절률 측정 시스템
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주요 측정 항목
필름 두께 (단층에서 다층까지)
굴절률(n) 및 소멸 계수(k)
광학 밴드갭(Eg)
표면 거칠기
기술적 주요 특징
넓은 스펙트럼 범위: 자외선부터 근적외선까지 포괄하여 다양한 재료 분석이 가능
높은 감도: 나노미터 이하 크기의 초박막까지 측정 가능
비접촉 및 비파괴 방식: 연구 개발 및 생산 환경에서 민감한 샘플에 이상적입니다.
고급 모델링 소프트웨어: 사용자 친화적인 워크플로우를 통해 복잡한 다층 구조 분석을 지원합니다.
응용 프로그램
이 시스템은 반도체 제조, 광학 코팅, 평면 디스플레이, 태양광(태양 전지) 개발, 재료 과학 연구 및 바이오센싱 분야에서 널리 채택되고 있습니다.
왜 우리 솔루션을 선택해야 할까요?
당사는 탄탄한 연구 개발 역량을 갖춘 전문 제조업체로서, 공장 직판 가격, 맞춤형 구성, 그리고 전담 기술 지원을 제공합니다. 실험실 분석을 위한 탁상형 시스템부터 생산 모니터링을 위한 인라인 솔루션까지, 고객의 특정 측정 요구에 맞춰 장비를 맞춤 제작해 드립니다.
견적 요청
귀사의 적용 분야에 대해 논의하거나 견적을 요청하시려면 지금 바로 연락주십시오. 저희 팀은 최적의 박막 측정 솔루션을 선택하실 수 있도록 무료 기술 컨설팅을 제공합니다.
주요 기술 매개변수
1. 측정 기능: 16차 뮬러 행렬 요소, 편광 스펙트럼(psi/Delta), 굴절률, 두께, 복굴절, 유전 상수 등
2. 스펙트럼 범위: 210nm-1690nm
3. 파장 간격: 210-1000nm에서 ≤0.8nm, 1000-1690nm에서 ≤3.5nm
4. 단일 지점 측정 시간: 10초 이하
5. 마이크로 스팟 크기: ≤200μm
6. 변조 기술: PCSCA 이중 회전 보상기 시스템 변조
7. 자동 샘플 스테이지: Z축 자동 초점 조절, 최대 이동 거리 18mm, 최소 이동 거리 1µm
8. 박막 두께 재현성 정확도: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30회 반복 측정, 1σ로 계산)
9. 굴절률 반복 측정 정확도: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30회 반복 측정, 1σ로 계산)
10. 절대 박막 두께 정확도: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, 제3자 측정 보고서 제공)
11. 매핑 기능: 고정밀 x/y형 자동 스캐닝 스테이지를 사용하여 2/4/6/8인치 기판의 자동 위치 지정 및 스캐닝 측정을 지원하며, 반복 정밀도는 6μm 이하이고, 원클릭으로 2D/3D 박막 두께 분포도를 생성할 수 있습니다.
12. 레이저 거리 측정 및 초점 조절: 레이저 반사 광학 경로를 통한 자동 초점 거리 조정, 초점 이동 거리 ≤3mm
13. 차이 모델: psi-차이 및 delta-차이 차이 데이터를 자동으로 계산합니다.
14. 분석 소프트웨어: 최소 5가지 측정 모드, 100가지 이상의 광학 재료에 대한 내장 n/k 데이터베이스, 사용자 지정 데이터베이스 생성 기능을 제공합니다. 또한 코시, 셀마이어, 타우크-로렌츠, B-스플라인, 오실레이터 모델을 포함한 단층, 다층(최대 30층), 복합 교대 박막에 대한 테스트 및 모델링 분석 기능을 갖추고 있으며 오프라인 소프트웨어 라이선스를 지원합니다.
기술 사양
I. 장비 소개
ME-매핑 분광타원측정법은 이중 회전 보상 변조 기술과 고정밀 데이터 분석 알고리즘을 결합하여 제조되었습니다. 단일 측정으로 뮬러 행렬의 16개 요소와 편광 스펙트럼을 모두 획득할 수 있어 신속하고 비파괴적인 시료 측정이 가능합니다. 안정적인 광경로 설계와 반도체 냉각 검출기를 사용하여 수 초 내에 광 강도 신호를 획득할 수 있습니다. 빠른 측정 속도와 높은 정확도를 제공하여 다양한 박막 재료의 두께, 굴절률, 소멸 계수, 광학 유전 상수 등의 매개변수를 정밀하게 측정할 수 있습니다. 또한, 다양한 크기의 "웨이퍼 반복 위치 지정 스테이지"를 맞춤 제작하여 대형 시료의 다점 매핑 스캐닝 측정이 가능합니다.
II. 적용 범위
타원편광분석기는 주로 반도체, 평면 디스플레이, 태양광 발전, 광학 박막, 광통신 및 나노 소재 분야에 사용됩니다.
III. 전반적인 기술 요구사항
1. 기술 사양:
1.1 측정 매개변수: 16차 뮬러 행렬 요소, Psi/Delta, 굴절률, 두께, 복굴절률, 유전 상수 등
1.2 스펙트럼 범위: 210nm-1690nm;
1.3 단일 지점 측정 시간: ≤10초;
1.4 마이크로스팟 크기: ≤200μm;
1.5 변조 기술: PC1SCA 이중 회전 보상 변조;
1.6 자동 샘플 스테이지: 자동 z축 초점 조절 지원, 최대 이동 거리 18mm, 최소 스텝 1μm;
1.7 필름 두께 반복성 정확도: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30회 반복 측정, 계산된 1σ);
1.8 굴절률 반복성 정확도: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30회 반복 측정, 계산된 1σ)
1.9 절대 박막 두께 정확도: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, 제3자 측정 보고서 제공); μm
1.10 매핑 기능: 고정밀 x/y형 자동 스캐닝 스테이지를 사용하여 2/4/6/8인치 기판의 자동 위치 지정 및 스캐닝 측정을 지원하며, 반복 정밀도는 6μm 이하이고, 원클릭으로 2D/3D 박막 두께 분포도를 생성할 수 있습니다.
1.11 레이저 거리 측정 및 초점 맞추기: 레이저 반사 광학 경로를 사용하여 초점 거리를 자동으로 조정하며, 초점 조정 이동 거리는 ≤3mm입니다.
1.12 필름 두께 측정 범위: 1nm-10μm;
1.13 차이 모델: psi-차이 및 delta-차이 차이 데이터를 자동으로 계산합니다.
1.14 분석 소프트웨어:
* 분광 측정 기능: 뮬러 행렬 전체 16개 요소, Psi/Delta 편광 분광법, N/C/S, 탈분극 등;
* 데이터 분석 기능: 단층 및 다층(최대 20층) 등방성 및 비등방성 박막 재료의 두께와 광학 상수(n, k)를 분석할 수 있습니다.
* 다성분 박막 및 벌크 재료의 광학 상수, 굴절률 기울기 분포, 등가 매질, 거칠기 등에 대한 모델을 지원합니다.
* 일반적인 광학 상수 모델 및 일반적인 발진기 모델(코시 모델, 로렌츠 모델, 가우스 모델, 드루드 모델, 셀마이어 모델 등)을 지원하며, 그래픽 기반의 다중 발진기 하이브리드 모델 피팅을 지원합니다.
* 2D/3D 지형 이미지 출력, 과거 데이터 보기, 데이터 및 관련 보고서 내보내기 및 편집을 지원합니다.
* 데이터 출력 형식: TXT, CSV, SNAP 스냅샷, 원시 스펙트럼, DAT 등;
* 위상 지연 측정을 지원하며, 위상 지연, 방위각, 광 회전각, 진폭 비율, 차수 등을 테스트할 수 있습니다.
* 1차원/2차원 주기 격자 구조 분석 및 모델링 기능을 갖추고 있습니다.
2. 구성 목록:
1) 타원측정기 본체 1세트;
2) 타원측정기 암과 분석기 암 각각 1세트씩;
3) 자동 샘플 스테이지 1세트;
4) 분석 소프트웨어 세트 1개;
5) 표준 슬라이드 세트 1개;
6) 컴퓨터 1대;
7) 디버깅 도구 세트 1개;
8) 마이크로 스팟 어셈블리 1세트;
9) 진공 흡착 펌프 1대;
10) 매핑 스캐닝 단계 1개.
3. 측정 및 제어 컴퓨터
Windows 10 운영 체제가 설치된 상업용 산업용 PC를 사용합니다. CPU: i7 프로세서; 메모리: 15GB; 하드 디스크: 1TB; LCD 모니터: 24인치; 마우스와 키보드가 포함되어 있습니다.
4. 환경 및 전력 요구 사항:
1) 플랫폼 요구 사항: 길이 2.0m x 너비 1.2m, 하중 용량 100kg 이상 (광학 진동 차단 장치 권장).
2) 작동 온도 범위: 20~30°C
3) 상대 습도: 35%~60%RH
4) 전원 공급 전압: 220VAC
5) 상 전류: 실효값 4A 미만(220VAC);
6) 최대 출력: 800W
타원측정법 측정 대상
타원측정법 측정 원리
타원측정 분석 과정
뮬러 행렬 타원 측정법
ME-L 뮬러 행렬 타원 측정법
연구용 등급의 완전 자동 고정밀 뮬러 행렬 타원 측정법
완전 자동 각도 조절 및 초점 기술, 원클릭 빠른 측정
직관적인 대화형 인간-기계 인터페이스, 편리한 소프트웨어 작동 경험
풍부한 소재 데이터베이스 및 알고리즘 모델 라이브러리, 강력한 데이터 분석 기능
기술 사양
| 모델 번호 | 미엘 |
| 응용 프로그램 | 연구/엔터프라이즈급 |
| 기본 기능 | Psi/Delta, R/T, 뮬러 행렬 및 기타 광학 센서 |
| 스펙트럼 분석 | 380-1000nm (193-2500nm까지 확장 지원) |
| 단일 측정 시간 | ≤15초 |
| 반복성 측정 정확도 | 0.005nm |
| 절대 정확도 (통과 공기 측정) | 타원편광측정법 매개변수: θ = 45 ± 0.05°, A = 0 ± 0.1° 뮐러 행렬: 대각 요소 m = 10.005 비대각 요소 m = 0 ± 0.005 |
| 굴절률 반복성 정확도 | 0.0005 |
| 스팟 사이즈 | 큰 반점 크기: 2-4mm 작은 점 크기: 200μm/100μm 초소형 스팟 크기: 50μm (파장에 따라 다름) |
반복성 정확도 지수는 100nm SiO2/Si 표준 샘플에 대한 30회 반복 측정 결과를 기반으로 합니다.
기기의 구체적인 기술 사양은 실제 기능 모듈 및 액세서리와 관련이 있으며, 표의 데이터는 참고용일 뿐입니다.
선택적 구성
| 밴드 선택 | VN: 380-1650nm |
| 파장: 380-1000nm | UN: 210-1650nm |
| 자외선: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | UN+: 210-2500nm |
| 심자외선(DUV): 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
각도 선택
고정: 65°
자동: 45-90°
수동 조절: 45~90° (5° 간격)
기타 옵션
지도 제작 옵션: 100*100mm/200*200mm
온도 조절 범위: 190-550°C/상온-1000°C
회사 소개
공장 프로필
왜 우리를 선택해야 할까요?
자주 묻는 질문
Q1: 우리는 누구인가요?
A1: 2015년에 설립된 MSK(톈진) 커팅 테크놀로지 유한회사는 지속적인 성장을 거듭하여 라인란트 ISO 9001 인증을 획득했습니다.
독일 SACCKE의 고급 5축 연삭 센터, 독일 ZOLLER의 6축 공구 검사 센터, 대만 PALMARY 기계 및 기타 국제적인 첨단 제조 장비를 사용하여, 당사는 최고급의 전문적이고 효율적인 CNC 공구를 생산하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
Q2: 귀사는 무역 회사입니까, 아니면 제조업체입니까?
A2: 저희는 초경 공구 제조 공장입니다.
Q3: 중국에 있는 저희 운송업체로 제품을 보내주실 수 있나요?
A3: 네, 중국에 운송업체가 있으시면 기꺼이 그쪽으로 제품을 보내드리겠습니다.
질문 4: 어떤 지불 조건이 허용되나요?
A4: 일반적으로 저희는 T/T 송금을 받습니다.
Q5: OEM 주문을 받으시나요?
A5: 네, OEM 및 맞춤 제작이 가능하며, 라벨 인쇄 서비스도 제공합니다.
질문 6: 왜 저희를 선택해야 할까요?
A61) 비용 관리 - 적절한 가격에 고품질 제품을 구매합니다.
2) 신속한 응답 - 48시간 이내에 전문 담당자가 견적을 제공하고 문의 사항에 답변해 드립니다.
3) 높은 품질 - 당사는 제공하는 제품이 100% 고품질임을 항상 진심으로 증명합니다.
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