Ellipsomita ya Spektroskopia ya Usahihi wa Juu | Mfumo wa Upimaji wa Filamu Nyembamba Isiyoharibu na Kielezo cha Refractive

Maombi

Mfumo huu unatumika sana katika utengenezaji wa nusu-semiconductor, mipako ya macho, maonyesho ya paneli tambarare, ukuzaji wa fotovoltaic (seli za jua), utafiti wa sayansi ya vifaa, na upimaji wa kibiolojia.

Kwa Nini Uchague Suluhisho Letu

Kama mtengenezaji mtaalamu mwenye uwezo mkubwa wa utafiti na maendeleo, tunatoa bei ya moja kwa moja kutoka kiwandani, usanidi unaoweza kubadilishwa, na usaidizi maalum wa kiufundi. Ikiwa unahitaji mfumo wa benchi kwa ajili ya uchambuzi wa maabara au suluhisho la ndani kwa ajili ya ufuatiliaji wa uzalishaji, tunaweza kurekebisha kifaa kulingana na mahitaji yako maalum ya kipimo.

Omba Nukuu

Wasiliana nasi leo ili kujadili ombi lako au kuomba nukuu. Timu yetu hutoa ushauri wa kiufundi bila malipo ili kukusaidia kuchagua suluhisho bora la kupima filamu nyembamba.

Vigezo Vikuu vya Kiufundi

1. Uwezo wa Vipimo: Vipengele vya matrix ya Mueller ya mpangilio wa 16, wigo wa polarization Psi/Delta, faharisi ya kuakisi, unene, birefringence, na kigezo cha dielectric, n.k.

2. Kipimo cha Spektrali: 210nm-1690nm

3. Nafasi ya Urefu wa Mawimbi: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Muda wa Kipimo cha Pointi Moja: ≤sekunde 10

5. Ukubwa wa doa dogo: ≤200μm

6. Teknolojia ya Urekebishaji: Urekebishaji wa mfumo wa fidia ya mzunguko wa PCSCA

7. Hatua ya Sampuli ya Kiotomatiki: Kuzingatia kiotomatiki kwa mhimili wa Z, usafiri wa juu zaidi 18mm, hatua ya chini kabisa 1µm

8. Usahihi wa kurudia unene wa filamu: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, vipimo 30 vilivyorudiwa, vilivyohesabiwa kama 1σ)

9. Usahihi wa kurudia kwa faharasa ya kuakisi: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, vipimo 30 vilivyorudiwa, vilivyohesabiwa kama 1σ)

10. Usahihi kamili wa unene wa filamu: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, ripoti ya upimaji ya mtu mwingine imetolewa)

11. Kipengele cha uchoraji ramani: Hutumia hatua ya uchanganuzi otomatiki ya aina ya x/y yenye usahihi wa hali ya juu, inasaidia uwekaji na upimaji otomatiki wa sehemu ndogo za inchi 2/4/6/8, usahihi wa kurudiwa ≤6μm, kizazi cha mbofyo mmoja cha ramani za usambazaji wa unene wa filamu ya 2D/3D.

12. Kuweka na kulenga kwa leza: Kuweka urefu wa fokasi kiotomatiki kupitia njia ya macho ya kuakisi kwa leza, kusafiri kwa kulenga ≤3mm

13. Mfano wa Tofauti: Huhesabu kiotomatiki data ya tofauti ya psi-diff na delta-diff

14. Programu ya uchambuzi: Ina angalau aina 5 tofauti za vipimo, hifadhidata ya n/k iliyojengewa ndani kwa zaidi ya vifaa 100 vya macho, na inasaidia kuunda hifadhidata maalum; ina uwezo wa kupima na kuiga uundaji wa miundo kwa ajili ya safu moja, safu nyingi (hadi tabaka 30), na filamu nyembamba zinazobadilika zenye mchanganyiko, ikiwa ni pamoja na mifumo ya cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, na Oscillator, na inasaidia leseni za programu za nje ya mtandao.

Vipimo vya Kiufundi

I. Utangulizi wa Vifaa

ME-Mapping Spectroellipsometry ina teknolojia ya urekebishaji wa fidia ya mzunguko-mbili pamoja na algoriti za uchambuzi wa data za usahihi wa hali ya juu. Inaweza kupata vipengele vyote 16 vya matrix kamili ya Mueller na wigo wa upolarization katika kipimo kimoja, kuwezesha kipimo cha sampuli cha haraka na kisichoharibu. Kifaa hiki kinajivunia muundo thabiti wa njia ya macho na hutumia kigunduzi kilichopozwa na nusu-semiconductor, kupata ishara za nguvu ya mwanga ndani ya sekunde. Kinatoa kasi ya upimaji wa haraka na usahihi wa juu, kikiunga mkono upimaji sahihi wa vigezo kama vile unene, faharisi ya kuakisi, mgawo wa kutoweka, na kigezo cha dielektri cha macho kwa vifaa mbalimbali vya filamu nyembamba. Zaidi ya hayo, kinaweza kubinafsishwa kwa "hatua za nafasi zinazoweza kurudiwa za wafer" za ukubwa tofauti kwa vipimo vya uchanganuzi wa ramani wa nukta nyingi wa sampuli mbalimbali kubwa.