ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ስፔክትሮስኮፒክ ኤሊፕሶሜትር | አጥፊ ያልሆነ ቀጭን የፊልም ውፍረት እና የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ መለኪያ ስርዓት
የማዘዣ መመሪያዎች
በምርቱ ልዩ ባህሪ ምክንያት፣ በገጹ ላይ የሚታየው ዋጋ የተቀማጭ ዋጋ እንጂ ትክክለኛው ዋጋ አይደለም። የዋጋ ዝርዝር ለማግኘት እባክዎ የደንበኞች አገልግሎትን ያነጋግሩ።
ያለቅድመ ግንኙነት በቀጥታ የሚደረጉ ትዕዛዞች ሊላኩ አይችሉም! ለትብብርዎ እናመሰግናለን! ለተጨማሪ የምርት መረጃ፣ የምርት ብሮሹሮችን ለመቀበል የደንበኞች አገልግሎትን ያነጋግሩ።
ቁልፍ መለኪያዎች
የፊልም ውፍረት (ከአንድ እስከ ባለብዙ ሽፋን)
የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ (n) እና የመጥፋት ኮፊሸንት (k)
የኦፕቲካል ባንድ ክፍተት (ለምሳሌ)
የወለል ሻካራነት
የቴክኒክ ድምቀቶች
ሰፊ የስፔክትራል ክልል፡- ሁለገብ የቁሳቁስ ትንተና ለማግኘት ከ UV እስከ NIR ሽፋን
ከፍተኛ ስሜታዊነት፡ እጅግ በጣም ቀጭን ፊልሞችን እስከ ንዑስ ናኖሜትር ሚዛን ድረስ መለካት የሚችል
እውቂያ ያልሆነ እና አጥፊ ያልሆነ፡ በምርምር እና ልማት እና በምርት አካባቢዎች ውስጥ ለስሱ ናሙናዎች ተስማሚ
የላቀ የሞዴሊንግ ሶፍትዌር፡ ውስብስብ ባለብዙ ንብርብር ቁልል ትንተናን ለተጠቃሚ ምቹ የስራ ፍሰቶች ይደግፋል
አፕሊኬሽኖች
ይህ ስርዓት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ በኦፕቲካል ሽፋን፣ በጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ በፎቶቮልታይክ (የፀሐይ ሴል) ልማት፣ በቁሳቁስ ሳይንስ ምርምር እና በባዮሴንሲንግ በስፋት ተቀባይነት አግኝቷል።
መፍትሄችንን ለምን እንመርጣለን
ጠንካራ የምርምር እና ልማት አቅም ያለው ባለሙያ አምራች እንደመሆናችን መጠን፣ የፋብሪካ-ቀጥታ ዋጋ አሰጣጥ፣ ሊበጁ የሚችሉ ውቅሮች እና ልዩ የቴክኒክ ድጋፍ እናቀርባለን። ለላቦራቶሪ ትንተና የቤንችቶፕ ሲስተም ወይም ለምርት ክትትል የመስመር ላይ መፍትሄ ቢፈልጉ፣ መሳሪያውን ለተለየ የመለኪያ ፍላጎቶችዎ ማስተካከል እንችላለን።
የዋጋ ጥያቄ ይጠይቁ
ስለ ማመልከቻዎ ለመወያየት ወይም የዋጋ ጥያቄ ለማቅረብ ዛሬውኑ ያግኙን። ቡድናችን ምርጡን ቀጭን ፊልም የመለኪያ መፍትሄ ለመምረጥ የሚያግዝዎትን ነፃ የቴክኒክ ምክክር ያቀርባል።
ዋና ዋና የቴክኒክ መለኪያዎች
1. የመለኪያ አቅሞች፡- 16ኛ ደረጃ የሙለር ማትሪክስ አባሎች፣ የፖላራይዜሽን ስፔክትረም Psi/Delta፣ የማጣቀሻ ኢንዴክስ፣ ውፍረት፣ የቢሬፍሬንስ እና የዲኤሌክትሪክ ቋሚ፣ ወዘተ.
2. የስፔክትራል ክልል፡ 210nm-1690nm
3. የሞገድ ርዝመት ክፍተት፡ ≤0.8nm@210-1000nm፣ ≤3.5nm@1000-1690nm
4. የአንድ ነጥብ መለኪያ ጊዜ፡ ≤10 ሴ
5. ማይክሮ-ስፖት መጠን፡ ≤200μm
6. የሞዱሌሽን ቴክኖሎጂ፡ PCSCA ባለሁለት ሮታሪ ማካካሻ ስርዓት ሞዱሌሽን
7. አውቶማቲክ የናሙና ደረጃ፡ የዜድ-ዘንግ አውቶማቲክ ትኩረት፣ ከፍተኛ የጉዞ 18 ሚሜ፣ ዝቅተኛው ደረጃ 1µm
8. የፊልም ውፍረት ተደጋጋሚነት ትክክለኛነት፡ ≤0.005nm (100nm SiO2/Si፣ 30 ተደጋጋሚ መለኪያዎች፣ እንደ 1σ የተሰላው)
9. የማጣቀሻ ኢንዴክስ ተደጋጋሚነት ትክክለኛነት፡ ≤0.0002 (100nm SiO2/Si፣ 30 ተደጋጋሚ መለኪያዎች፣ እንደ 1σ የተሰላው)
10. ፍጹም የሆነ የፊልም ውፍረት ትክክለኛነት፡ ≤0.5% (100nm SiO2/Si፣ የሶስተኛ ወገን የሜትሮሎጂ ሪፖርት ቀርቧል)
11. የካርታ ስራ፡- ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው x/y አይነት አውቶማቲክ የቃኝ ደረጃን ይጠቀማል፣ የ2/4/6/8-ኢንች ንጣፎችን በራስ-ሰር አቀማመጥ እና የቃኝ መለኪያን ይደግፋል፣ የተደጋጋሚነት ትክክለኛነት ≤6μm፣ የአንድ ጠቅታ የ2-ል/3-ል ፊልም ውፍረት ስርጭት ካርታዎችን ማመንጨት
12. የሌዘር ክልል እና ማተኮር፡ በሌዘር ነጸብራቅ ኦፕቲካል መንገድ በኩል አውቶማቲክ የትኩረት ርዝመት አቀማመጥ፣ ትኩረት የሚደረግበት ጉዞ ≤3ሚሜ
13. የልዩነት ሞዴል፡- የpsi-diff እና የdelta-diff ልዩነት ውሂብን በራስ-ሰር ያሰላል።
14. የትንታኔ ሶፍትዌር፡ ቢያንስ 5 የተለያዩ የመለኪያ ሁነታዎችን፣ ከ100 በላይ የኦፕቲካል ቁሳቁሶችን የያዘ አብሮ የተሰራ n/k ዳታቤዝ እና ብጁ የውሂብ ጎታዎችን መፍጠርን ይደግፋል፤ ለነጠላ-ንብርብር፣ ባለብዙ-ንብርብር (እስከ 30 ንብርብሮች) እና ለኮምፖዚት ቀጭን ፊልሞች የሙከራ እና የሞዴሊንግ ትንተና ችሎታዎች አሉት፣ ይህም ካቹቺ፣ ሴልሜየር፣ ታውክ-ሎሬንትዝ፣ ቢስፕላይን እና ኦስሲሌተር ሞዴሎችን ጨምሮ፣ እና ከመስመር ውጭ የሶፍትዌር ፈቃድን ይደግፋል።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች
I. የመሳሪያዎች መግቢያ
የME-Mapping Spectroellipsometry ባለሁለት-ማሽከርከር ማካካሻ ሞዱሌሽን ቴክኖሎጂ ከከፍተኛ ትክክለኛነት የውሂብ ትንተና ስልተ ቀመሮች ጋር ተጣምሮ ያቀርባል። በአንድ መለኪያ ውስጥ የሙለር ማትሪክስ እና የፖላራይዜሽን ስፔክትረም 16 ክፍሎችን በሙሉ ማግኘት ይችላል፣ ይህም ፈጣን እና አጥፊ ያልሆነ የናሙና መለኪያ ያስችላል። መሳሪያው የተረጋጋ የኦፕቲካል መንገድ ዲዛይን ያለው ሲሆን ሴሚኮንዳክተር-የቀዘቀዘ መመርመሪያን ይጠቀማል፣ በሰከንዶች ውስጥ የብርሃን ጥንካሬ ምልክቶችን ያገኛል። ፈጣን የመለኪያ ፍጥነት እና ከፍተኛ ትክክለኛነትን ይሰጣል፣ እንደ ውፍረት፣ የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ፣ የመጥፋት ኮፊሸንት እና ለተለያዩ ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶች የኦፕቲካል ዳይኤሌክትሪክ ቋሚ መለኪያዎችን ትክክለኛ መለኪያ ይደግፋል። በተጨማሪም፣ ለተለያዩ ትላልቅ መጠን ያላቸው ናሙናዎች ባለብዙ ነጥብ የካርታ ቅኝት መለኪያዎች በተለያዩ መጠን "ዋፈር ተደጋጋሚ የአቀማመጥ ደረጃዎች" ሊበጅ ይችላል።
II. የማመልከቻ ወሰን
ኤሊፕሶሜትሪስቶች በዋናነት በሴሚኮንዳክተሮች፣ በጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ በፀሐይ ፎቶቮልታይኮች፣ በኦፕቲካል ቀጭን ፊልሞች፣ በኦፕቲካል ኮሙኒኬሽን እና ናኖማቴሪያሎች ውስጥ ያገለግላሉ።
III. አጠቃላይ የቴክኒክ መስፈርቶች
1. የቴክኒክ ዝርዝሮች፡
1.1 የመለኪያ መለኪያዎች፡- 16ኛ ደረጃ የሙለር ማትሪክስ አባሎች፣ Psi/Delta፣ የማጣቀሻ ኢንዴክስ፣ ውፍረት፣ ቢሬፍሬንስ እና ዲኤሌክትሪክ ቋሚ፣ ወዘተ.
1.2 የስፔክትራል ክልል፡ 210nm-1690nm;
1.3 የአንድ ነጥብ መለኪያ ጊዜ፡ ≤10 ሴ.ሜ;
1.4 ማይክሮስፖት መጠን፡ ≤200μm፤
1.5 የሞዱሌሽን ቴክኖሎጂ፡ PC1SCA ባለሁለት ዙር የማካካሻ ሞዱሌሽን፤
1.6 አውቶማቲክ የናሙና ደረጃ፡ አውቶማቲክ የ z-ዘንግ ትኩረትን ይደግፋል፣ ከፍተኛውን የጉዞ 18 ሚሜ፣ ዝቅተኛውን ደረጃ 1 μm፤
1.7 የፊልም ውፍረት ተደጋጋሚነት ትክክለኛነት፡ ≤0.005nm (100nm SiO2/Si፣ 30 ተደጋጋሚ መለኪያዎች፣ 1σ የተሰሉ)፤
1.8 የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ ተደጋጋሚነት ትክክለኛነት፡ ≤0.0002 (100nm SiO2/Si፣ 30 ተደጋጋሚ መለኪያዎች፣ 1σ የተሰሉ)፤
1.9 ፍፁም የፊልም ውፍረት ትክክለኛነት፡ ≤0.5% (100nm SiO2/Si፣ የሶስተኛ ወገን የሜትሮሎጂ ሪፖርት ቀርቧል)፤ μm
1.10 የካርታ ስራ፡- ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው x/y-አይነት አውቶማቲክ የቃኝ ደረጃን ይጠቀማል፣ የ2/4/6/8-ኢንች ንጣፎችን አውቶማቲክ አቀማመጥ እና የቃኝ መለኪያን ይደግፋል፣ ተደጋጋሚነት ትክክለኛነት ≤6μm እና የአንድ ጠቅታ የ2-ል/3ል ፊልም ውፍረት ስርጭት ካርታዎችን ማመንጨት፤
1.11 የሌዘር ክልል ፍለጋ እና ማተኮር፡- የሌዘር ነጸብራቅ ኦፕቲካል መንገድን በመጠቀም የትኩረት ርዝመቱን በራስ-ሰር ያስቀምጣል፣ የትኩረት ፍለጋ ጉዞ ≤3ሚሜ፤
1.12 የፊልም ውፍረት የመለኪያ ክልል፡ 1nm-10μm;
1.13 የልዩነት ሞዴል፡- የpsi-diff እና የdelta-diff ልዩነት ውሂብ በራስ-ሰር ያሰላል፤
1.14 የትንታኔ ሶፍትዌር፡
* የስፔክትሮስኮፒክ መለኪያ አቅሞች፡- ሙሉው የሙለር ማትሪክስ 16 ክፍሎች፣ Psi/Delta ፖላራይዜሽን ስፔክትሮስኮፒ፣ N/C/S፣ ዲፖላራይዜሽን፣ ወዘተ.
* የውሂብ ትንተና አቅሞች፡- የአንድ-ንብርብር እና ባለብዙ-ንብርብር (እስከ 20 ንብርብሮች) ኢሶትሮፒክ እና አኒሶትሮፒክ ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶችን ውፍረት እና የኦፕቲካል ቋሚዎችን (n፣ k) የመተንተን ችሎታ ያለው፤
* ባለብዙ ክፍል ቀጭን ፊልሞችን እና የጅምላ ቁሳቁሶችን የኦፕቲካል ቋሚዎችን፣ የማጣቀሻ ኢንዴክስ ቅልመት ስርጭትን፣ ተመጣጣኝ ሚዲያን፣ ሸካራነትን፣ ወዘተ ሞዴሎችን ይደግፋል፤
* የተለመዱ የኦፕቲካል ቋሚ ሞዴሎችን እና የተለመዱ የኦስሲሌተር ሞዴሎችን (ካውቺ ሞዴል፣ ሎሬንትዝ ሞዴል፣ ጋውሲያን ሞዴል፣ ድሩድ፣ ሴልሜየር፣ ወዘተ) ይደግፋል፣ እና ግራፊክ ባለብዙ-ኦስሲሌተር ድብልቅ ሞዴል መገጣጠምን ይደግፋል፤
* የ2D/3D መልክዓ ምድራዊ ምስሎችን ማውጣት፣ ታሪካዊ መረጃዎችን መመልከት እና መረጃዎችን እና ተዛማጅ ሪፖርቶችን ወደ ውጭ መላክ እና ማረምን ይደግፋል፤
* የውሂብ ውፅዓት ቅርጸቶች፡ TXT፣ CSV፣ SNAP ቅጽበታዊ ገጽ እይታ፣ ጥሬ ስፔክትረም፣ DAT፣ ወዘተ.
* የደረጃ መዘግየት መለኪያን ይደግፋል፣ የደረጃ መዘግየትን፣ የአዚሙዝ አንግልን፣ የኦፕቲካል ሽክርክሪት አንግልን፣ የአምፒቲዩት ጥምርታን፣ ቅደም ተከተልን፣ ወዘተ የመሞከር ችሎታ ያለው፤
* የ1D/2D ወቅታዊ የግራቲንግ መዋቅር ትንተና እና የሞዴሊንግ ተግባራት አሉት።
2. የውቅር ዝርዝር፡
1) አንድ የኤሊፕሶሜትር ዋና አሃድ ስብስብ፤
2) የኤሊፕሶሜትሪ ክንድ እና የትንታኔ ክንድ እያንዳንዳቸው አንድ ስብስብ፤
3) አንድ አውቶማቲክ የናሙና ደረጃ ስብስብ፤
4) አንድ የትንታኔ ሶፍትዌር ስብስብ፤
5) አንድ መደበኛ ስላይዶች ስብስብ፤
6) አንድ ኮምፒውተር፤
7) አንድ የማረሚያ መሳሪያዎች ስብስብ፤
8) አንድ የማይክሮ-ስፖት ስብስብ ስብስብ፤
9) አንድ የቫኩም መምጠጥ ፓምፕ፤
10) አንድ የካርታ ቅኝት ደረጃ።
3. የመለኪያ እና የቁጥጥር ኮምፒውተር
የዊንዶውስ 10 ኦፕሬቲንግ ሲስተም ያለው የንግድ ኢንዱስትሪያል ፒሲ ይጠቀማል፤ ሲፒዩ፡ i7 ፕሮሰሰር፤ ማህደረ ትውስታ፡ 15GB፤ ሃርድ ዲስክ፡ 1TB፤ ኤልሲዲ ማሳያ፡ 24-ኢንች፤ መዳፊት እና ኪቦርድን ያካትታል።
4. የአካባቢ እና የኃይል መስፈርቶች፡
1) የመድረክ መስፈርቶች፡ 2.0 ሜትር (ርዝመት) x 1.2 ሜትር (ስፋት)፣ ከ100 ኪ.ግ በላይ የሆነ የመጫን አቅም (የኦፕቲካል ንዝረት ማግለል ይመከራል)።
2) የአሠራር የሙቀት መጠን ክልል፡ 20~30°ሴ
3) አንጻራዊ እርጥበት፡ 35%~60%RH
4) የኃይል አቅርቦት ቮልቴጅ፡ 220VAC
5) የደረጃ ጅረት፡ ከ4A (220VAC) ያነሰ የRMS እሴት፤
6) ከፍተኛ ኃይል፡ 800 ዋት
የኤሊፕሶሜትሪ መለኪያ ነገር
የኤሊፕሶሜትሪ መለኪያ መርህ
የኤሊፕሶሜትሪ ትንተና ሂደት
የሙለር ማትሪክስ ኤሊፕሶሜትሪ
ME-L ሙለር ማትሪክስ ኤሊፕሶሜትሪ
የምርምር ደረጃ ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የሙለር ማትሪክስ ኤሊፕሶሜትሪ
ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ የማዕዘን ማስተካከያ እና የማተኮር ቴክኖሎጂ፣ የአንድ ጠቅታ ፈጣን መለኪያ
የሚመራ በይነተገናኝ የሰው-ማሽን በይነገጽ፣ ምቹ የሶፍትዌር አሠራር ተሞክሮ
የበለጸገ የቁሳቁስ የውሂብ ጎታ እና የአልጎሪዝም ሞዴል ቤተ-መጽሐፍት፣ ኃይለኛ የውሂብ ትንተና ችሎታዎች
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች
| የሞዴል ቁጥር | ኤምኢ-ኤል |
| አፕሊኬሽኖች | የምርምር/የድርጅት ደረጃ |
| መሰረታዊ ተግባራት | Psi/Delta፣ R/T፣ Mueller Matrix እና ሌሎች የኦፕቲካል ዳሳሾች |
| የስፔክትረም ትንተና | 380-1000nm (እስከ 193-2500nm ድረስ መስፋፋትን ይደግፋል) |
| የአንድ ጊዜ መለኪያ ጊዜ | ≤15 ሴ |
| የተደጋጋሚነት መለኪያ ትክክለኛነት | 0.005nm |
| ፍፁም ትክክለኛነት (በመለኪያ በኩል የሚለካ አየር) | የኤሊፕሶሜትሪ መለኪያዎች፡ 4 = 45 ± 0.05°፣ A = 0 ± 0.1° የሙለር ማትሪክስ፡ ዲያጎናል ኤለመንት m = 10.005 ከዲያግናል ውጪ የሆነ አባል m = 0 ± 0.005 |
| የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ ተደጋጋሚነት ትክክለኛነት | 0.0005 |
| የቦታ መጠን | ትልቅ የቦታ መጠን፡ 2-4 ሚሜ አነስተኛ የቦታ መጠን፡ 200 μm/100 μm እጅግ በጣም ትንሽ የቦታ መጠን፡ 50 μm (እንደ የሞገድ ርዝመት ይለያያል) |
የተደጋጋሚነት ትክክለኛነት ኢንዴክስ የተመሰረተው በ100nm SiO2/Si መደበኛ ናሙና 30 ተደጋጋሚ መለኪያዎች ላይ ነው፤
የመሳሪያው ልዩ ቴክኒካዊ መለኪያዎች ከትክክለኛው ተግባራዊ ሞጁሎች እና መለዋወጫዎች ጋር የተያያዙ ናቸው፣ እና በሰንጠረዡ ውስጥ ያለው መረጃ ለማጣቀሻ ብቻ ነው።
አማራጭ ውቅሮች
| የባንድ ምርጫ | ቪኤን፡ 380-1650nm |
| ቪ፡ 380-1000nm | የተባበሩት መንግስታት፡ 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | ዲኤን፡ 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | UN+: 210-2500nm |
| ዲዩቪ፡ 193-1000nm | ዲኤን+፡ 193-2500nm |
የማዕዘን ምርጫ
የተስተካከለ፡ 65°
አውቶማቲክ፡ 45-90°
በእጅ፡ 45-90° (5° ጭማሪዎች)
ሌሎች አማራጮች
የካርታ አማራጮች፡ 100*100ሚሜ/200*200ሚሜ
የሙቀት መቆጣጠሪያ ደረጃ፡ 190-550°ሴ/RT-1000°ሴ
ስለ እኛ
የፋብሪካ መገለጫ
እኛን ለምን ይምረጡ
ተደጋጋሚ ጥያቄዎች
ጥ 1፡ እኛ ማን ነን?
A1፡ በ2015 የተመሰረተው MSK (ቲያንጂን) Cutting Technology CO.Ltd ያለማቋረጥ እያደገ ሲሆን የራይንላንድ ISO 9001ን አልፏል።
ማረጋገጫ። በጀርመን SACCKE ባለ አምስት-ዘንግ መፍጫ ማዕከላት፣ በጀርመን ZOLLER ባለ ስድስት-ዘንግ መሣሪያ ፍተሻ ማዕከል፣ በታይዋን PALMARY ማሽን እና በሌሎች ዓለም አቀፍ የላቁ የማምረቻ መሳሪያዎች አማካኝነት ከፍተኛ ደረጃ ያለው፣ ሙያዊ እና ቀልጣፋ የ CNC መሳሪያ ለማምረት ቁርጠኛ ነን።
ጥ 2፡ የንግድ ድርጅት ወይም አምራች ነዎት?
መ2፡ እኛ የካርቦይድ መሳሪያዎች ፋብሪካ ነን።
ጥ 3: ምርቶችን በቻይና ወደሚገኘው አስተላላፊችን መላክ ይችላሉ?
መ 3፡ አዎ፣ በቻይና ውስጥ አስተላላፊ ካለዎት፣ ምርቶችን ለእሱ/እሷ በመላክ ደስተኞች ነን።
Q4: ተቀባይነት ያላቸው የክፍያ ውሎች የትኞቹ ናቸው?
A4: በተለምዶ ቲ/ቲ እንቀበላለን።
ጥ 5: የኦሪጂናል ዕቃ አምራቾች ትዕዛዞችን ይቀበላሉ?
መ 5፡ አዎ፣ የኦሪጂናል ዕቃ አምራች እና ብጁነት ይገኛሉ፣ እና የመለያ ህትመት አገልግሎትም እንሰጣለን።
ጥያቄ 6፡ እኛን ለምን መምረጥ አለብዎት?
A6:1) የወጪ ቁጥጥር - ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ምርቶች በተገቢው ዋጋ መግዛት።
2) ፈጣን ምላሽ - በ48 ሰዓታት ውስጥ ባለሙያ ሰራተኞች የዋጋ ዝርዝር ይሰጡዎታል እና ስጋቶችዎን ይመልሳሉ።
3) ከፍተኛ ጥራት - ኩባንያው የሚያቀርባቸው ምርቶች 100% ከፍተኛ ጥራት ያላቸው መሆናቸውን በቅን ልቦና ያረጋግጣል።
4) የሽያጭ አገልግሎት እና የቴክኒክ መመሪያ - ኩባንያው ከሽያጭ በኋላ አገልግሎት እና የቴክኒክ መመሪያ በደንበኛ መስፈርቶች እና ፍላጎቶች መሰረት ይሰጣል።
