Ellipsometer Spectroscopic Spectroscopic dị elu | Sistemụ nha nha ihe nkiri dị gịrịgịrị na nke na-anaghị emebi emebi

Ngwa

A na-ejikarị usoro a eme ihe n'ọtụtụ ebe n'imepụta semiconductor, mkpuchi anya, ngosipụta panel dị larịị, mmepe fotovoltaic (mkpụrụ ndụ anyanwụ), nyocha sayensị ihe, na biosensing.

Gịnị Mere Ị Ji Họrọ Ngwọta Anyị

Dịka ọkachamara n'ihe gbasara nrụpụta na nhazi, anyị na-enye ọnụahịa ozugbo site na ụlọ ọrụ mmepụta ihe, nhazi ahaziri ahazi, yana nkwado teknụzụ pụrụ iche. Ma ịchọrọ sistemụ benchtop maka nyocha ụlọ nyocha ma ọ bụ ngwọta dị n'ịntanetị maka nlekota mmepụta, anyị nwere ike ịhazi ngwaọrụ ahụ ka ọ dabara na mkpa nha gị.

Rịọ maka ọnụahịa

Kpọtụrụ anyị taa ka ị kparịta maka ngwa gị ma ọ bụ rịọ maka ọnụahịa. Ndị otu anyị na-enye ndụmọdụ teknụzụ n'efu iji nyere gị aka ịhọrọ ngwọta kacha mma maka nha ihe nkiri dị gịrịgịrị.

Isi Nkà na ụzụ Paramita

1. Ike nha: ihe ndị dị na usoro nke iri na isii nke Mueller matrix, Psi/Delta nke polarization spectrum, refractive index, thickness, birefringence, na dielectric constant, wdg.

2. Oke spectral: 210nm-1690nm

3. Oghere ebili mmiri: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Oge nha otu isi: ≤10s

5. Nha obere ntụpọ: ≤200μm

6. Teknụzụ Mgbanwe: Nhazi sistemụ PCSCA dual rotary compensator modulation

7. Ogbo ihe nlele akpaka: Nlekota akpaka Z-axis, njem kachasị elu 18mm, nzọụkwụ kacha nta 1µm

8. Izi ezi nke oke ihe nkiri ahụ: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, nha 30 ugboro ugboro, agbakọrọ dị ka 1σ)

9. Izi ezi nke ihe nlele refractive: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, nha ugboro 30, agbakọrọ dị ka 1σ)

10. Ezigbo ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, akụkọ metrology nke ndị ọzọ nyere)

11. Ọrụ eserese: Na-eji usoro nyocha akpaka x/y nke dị oke mma, na-akwado nhazi akpaka na nha nyocha nke substrates 2/4/6/8-inch, izi ezi nke imeghachi ≤6μm, mmepụta otu pịa nke maapụ nkesa ọkpụrụkpụ ihe nkiri 2D/3D.

12. Nhazi na itinye uche na laser: Nhazi ogologo lekwasị anya na-akpaghị aka site na ụzọ anya ntụgharị laser, na-elekwasị anya na njem ≤3mm

13. Ụdị ihe dị iche: Na-agbakọ data difference psi-diff na delta-diff na akpaghị aka

14. Ngwanrọ nyocha: Nwere opekata mpe ụdị nha ise dị iche iche, nchekwa data n/k arụnyere n'ime ya maka ihe karịrị ihe anya 100, ma na-akwado ịmepụta nchekwa data ahaziri iche; nwere ikike nnwale na nhazi ihe nlereanya maka otu oyi akwa, ọtụtụ oyi akwa (ruo oyi akwa 30), yana ihe nkiri dị gịrịgịrị dị iche iche, gụnyere ụdị cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, na Oscillator, ma na-akwado ikike ngwanrọ na-anọghị n'ịntanetị.

Nkọwapụta Nkà na ụzụ

I. Okwu Mmalite nke Ngwaọrụ

ME-Mapping Spectroellipsometry nwere teknụzụ nhazi mgbanwe abụọ nke ntụgharị yana algọridim nyocha data dị elu. Ọ nwere ike inweta ihe iri na isii niile nke matrix Mueller zuru oke na spectrum polarization n'otu nha, na-eme ka nha ihe nlele ngwa ngwa na nke na-anaghị emebi emebi. Ngwaọrụ ahụ nwere nhazi ụzọ anya kwụsiri ike ma jiri ihe nchọpụta oyi nke semiconductor, na-enweta akara ike ọkụ n'ime sekọnd. Ọ na-enye ọsọ nha ngwa ngwa na izi ezi dị elu, na-akwado nha ziri ezi nke paramita dịka ọkpụrụkpụ, ndeksi refractive, coefficient extinction, na dielectric constant optical maka ihe nkiri dị gịrịgịrị dị iche iche. Ọzọkwa, enwere ike ịhazi ya na "wafer repeatable positioning stages" dị iche iche maka nha nyocha maapụ ọtụtụ isi nke ihe nlele buru ibu dị iche iche.