د لوړ دقیق سپیکٹروسکوپیک ایلیپسومیټر | غیر تخریبي پتلی فلم ضخامت او انعکاسي شاخص اندازه کولو سیسټم
د امر کولو لارښوونې
د محصول د ځانګړي ماهیت له امله، په پاڼه کې ښودل شوی قیمت د زیرمې قیمت دی، نه اصلي قیمت. مهرباني وکړئ د نرخ لپاره د پیرودونکي خدماتو سره اړیکه ونیسئ.
هغه فرمایشونه چې په مستقیم ډول د مخکینۍ اړیکې پرته ورکړل شوي وي نشي لیږدول کیدی! ستاسو د همکارۍ لپاره مننه! د نورو محصولاتو معلوماتو لپاره، مهرباني وکړئ د محصول بروشرونو ترلاسه کولو لپاره د پیرودونکو خدماتو سره اړیکه ونیسئ.
کلیدي اندازه ګیرۍ
د فلم ضخامت (له واحد څخه تر څو طبقو پورې)
د انعکاس شاخص (n) او د ورکیدو ضریب (k)
د آپټیکل بانډ ګیپ (د مثال په توګه)
د سطحې ناهمواروالی
تخنیکي ټکي
پراخه طیفي لړۍ: د څو اړخیزو موادو تحلیل لپاره د UV څخه تر NIR پوښښ
لوړ حساسیت: د فرعي نانومیټر پیمانه پورې د الټرا پتلي فلمونو اندازه کولو وړتیا لري
غیر اړیکه او غیر ویجاړونکی: د R&D او تولید چاپیریال کې د حساسو نمونو لپاره مثالی
پرمختللي ماډلینګ سافټویر: د کاروونکي دوستانه کاري جریان سره د پیچلي څو پرتونو سټیک تحلیل ملاتړ کوي
غوښتنلیکونه
دا سیسټم په پراخه کچه د سیمیکمډکټر تولید، آپټیکل کوټینګ، فلیټ پینل نندارې، فوتوولټیک (سولر سیل) پراختیا، د موادو ساینس څیړنه، او بایو سینسینګ کې کارول کیږي.
ولې زموږ حل غوره کړئ
د یو مسلکي تولید کونکي په توګه چې قوي R&D وړتیاوې لري، موږ د فابریکې مستقیم قیمت، دودیز ترتیبونه، او وقف شوي تخنیکي ملاتړ وړاندې کوو. که تاسو د لابراتوار تحلیل لپاره د بینچ ټاپ سیسټم ته اړتیا لرئ یا د تولید څارنې لپاره انلاین حل ته اړتیا لرئ، موږ کولی شو وسیله ستاسو د ځانګړي اندازه کولو اړتیاو سره سم تنظیم کړو.
د یو اقتباس غوښتنه وکړه
د خپل غوښتنلیک په اړه د بحث کولو یا د نرخ غوښتنه کولو لپاره نن ورځ له موږ سره اړیکه ونیسئ. زموږ ټیم وړیا تخنیکي مشوره چمتو کوي ترڅو تاسو سره د غوره پتلي فلم اندازه کولو حل غوره کولو کې مرسته وکړي.
اصلي تخنیکي پیرامیټرې
۱. د اندازه کولو وړتیاوې: د ۱۶م ترتیب مولر میټریکس عناصر، د قطبي کولو سپیکٹرم Psi/Delta، انعکاسي شاخص، ضخامت، بایرفرینګنس، او ډایالټریک ثابت، او نور.
۲. د سپیکٹرل حد: ۲۱۰nm-۱۶۹۰nm
۳. د طول موج واټن: ≤0.8nm@210-1000nm، ≤3.5nm@1000-1690nm
4. د واحد ټکي اندازه کولو وخت: ≤10s
5. د مایکرو ځای اندازه: ≤200μm
۶. د ماډولیشن ټیکنالوژي: د PCSCA دوه ګونی روټري معاوضه کونکي سیسټم ماډولیشن
۷. د اتومات نمونې مرحله: د Z محور اتومات تمرکز، اعظمي سفر ۱۸ ملي متره، لږترلږه ګام ۱µm
۸. د فلم ضخامت د تکرار وړتیا دقت: ≤0.005nm (۱۰۰nm SiO2/Si، ۳۰ تکراري اندازه ګیرۍ، د ۱σ په توګه محاسبه شوې)
9. د انعکاسي شاخص د تکرار وړتیا دقت: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si، 30 تکراري اندازه کول، د 1σ په توګه محاسبه شوي)
۱۰. د فلم ضخامت مطلق دقت: ≤0.5٪ (۱۰۰nm SiO2/Si، د دریمې ډلې میټرولوژي راپور چمتو شوی)
۱۱. د نقشې کولو فعالیت: د لوړ دقیق x/y ډول اتوماتیک سکین کولو مرحله کاروي، د 2/4/6/8 انچ سبسټریټونو اتوماتیک موقعیت او سکین کولو اندازه کولو ملاتړ کوي، د تکرار وړتیا دقت ≤6μm، د 2D/3D فلم ضخامت ویش نقشو یو کلیک نسل.
۱۲. د لیزر رینج کول او تمرکز کول: د لیزر انعکاس نظری لارې له لارې د فوکل اوږدوالی اتومات موقعیت، د سفر تمرکز ≤۳ ملي میتر
۱۳. د توپیر ماډل: په اتوماتيک ډول د psi-diff او delta-diff توپیر ډاټا محاسبه کوي
۱۴. د تحلیل سافټویر: لږترلږه ۵ مختلف اندازه کولو طریقې لري، د ۱۰۰ څخه زیاتو نظري موادو لپاره یو جوړ شوی n/k ډیټابیس، او د دودیز ډیټابیسونو جوړولو ملاتړ کوي؛ د واحد پرت، څو پرت (تر ۳۰ پرتونو پورې)، او مرکب بدیل پتلي فلمونو لپاره د ازموینې او ماډلینګ تحلیل وړتیاوې لري، پشمول د کاچي، سیلمیر، ټاؤک-لورینټز، بی ایس پی لاین، او اوسیلیټر ماډلونه، او د آفلاین سافټویر جواز ملاتړ کوي.
تخنیکي مشخصات
I. د تجهیزاتو پیژندنه
د ME-Mapping Spectroellipsometry د دوه ګوني گردش معاوضه کونکي ماډولیشن ټیکنالوژي لري چې د لوړ دقیق معلوماتو تحلیل الګوریتمونو سره یوځای کیږي. دا کولی شي د بشپړ مولر میټریکس او قطبي کولو سپیکٹرم ټول 16 عناصر په یوه اندازه کې ترلاسه کړي، چې د چټک او غیر ویجاړونکي نمونې اندازه کولو توان ورکوي. دا وسیله د باثباته آپټیکل لارې ډیزاین ویاړي او د سیمیکمډکټر-یخ شوي کشف کونکي کاروي، چې په ثانیو کې د رڼا شدت سیګنالونه ترلاسه کوي. دا د اندازه کولو ګړندی سرعت او لوړ دقت وړاندې کوي، د پیرامیټرونو دقیق اندازه کولو ملاتړ کوي لکه ضخامت، انعکاسي شاخص، د ورکیدو کوفیفینټ، او د مختلف پتلي فلم موادو لپاره آپټیکل ډایالټریک ثابت. سربیره پردې، دا د مختلف لوی اندازو نمونو د څو نقطو نقشه کولو سکین کولو اندازه کولو لپاره د مختلف اندازې "ویفر تکرار وړ موقعیت مرحلو" سره تنظیم کیدی شي.
II. د غوښتنلیک ساحه
ایلیپسومیټریسټونه په عمده توګه په سیمیکمډکټرونو، فلیټ پینل ډیسپلیو، سولر فوټوولټیکونو، آپټیکل پتلو فلمونو، آپټیکل مخابراتو، او نانو موادو کې کارول کیږي.
III. ټولیز تخنیکي اړتیاوې
۱. تخنیکي مشخصات:
۱.۱ د اندازه کولو پیرامیټرې: د ۱۶م ترتیب مولر میټریکس عناصر، Psi/ډیلټا، انعکاسي شاخص، ضخامت، بایرفرینګنس، او ډایالټریک ثابت، او نور.
۱.۲ سپیکٹرل رینج: ۲۱۰nm-۱۶۹۰nm؛
۱.۳ د واحد ټکي اندازه کولو وخت: ≤۱۰ ثانیې؛
۱.۴ مایکروسافټ اندازه: ≤۲۰۰μm؛
۱.۵ د ماډولیشن ټیکنالوژي: PC1SCA دوه ګونی گردش جبران ماډلیشن؛
۱.۶ د اتومات نمونې مرحله: د اتوماتیک زی محور تمرکز ملاتړ کوي، اعظمي سفر ۱۸ ملي متره، لږترلږه ګام ۱μm؛
۱.۷ د فلم ضخامت د تکرار وړتیا دقت: ≤0.005nm (۱۰۰nm SiO2/Si، ۳۰ تکراري اندازه ګیرۍ، محاسبه شوی ۱σ)؛
۱.۸ د انعکاس شاخص د تکرار وړتیا دقت: ≤0.0002 (۱۰۰nm SiO2/Si، ۳۰ تکراري اندازه ګیرۍ، محاسبه شوی ۱σ)؛
۱.۹ د فلم ضخامت مطلق دقت: ≤0.5٪ (۱۰۰nm SiO2/Si، د دریمې ډلې میټرولوژي راپور چمتو شوی)؛ μm
۱.۱۰ د نقشې کولو دنده: د لوړ دقیق x/y ډوله اتوماتیک سکین کولو مرحله کاروي، د 2/4/6/8 انچ سبسټریټونو اتوماتیک موقعیت او سکین کولو اندازه کولو ملاتړ کوي، د تکرار دقت ≤6μm سره، او د 2D/3D فلم ضخامت ویش نقشو یو کلیک تولید سره؛
۱.۱۱ د لیزر رینج موندنه او تمرکز: د لیزر انعکاس نظری لارې په کارولو سره د فوکل اوږدوالی په اتوماتيک ډول موقعیت ورکوي، د تمرکز موندلو سفر ≤۳ ملي میتر سره؛
۱.۱۲ د فلم ضخامت اندازه کولو حد: ۱nm-۱۰μm؛
۱.۱۳ د توپیر ماډل: په اتوماتيک ډول د psi-diff او delta-diff توپیر معلومات محاسبه کوي؛
۱.۱۴ د تحلیل سافټویر:
* د سپیکٹروسکوپیک اندازه کولو وړتیاوې: د بشپړ مولر میټریکس ۱۶ عناصر، Psi/Delta قطبي کولو سپیکٹروسکوپي، N/C/S، بې قطبي کول، او نور؛
* د معلوماتو تحلیل وړتیاوې: د واحد پرت او څو پرتونو (تر 20 پرتونو پورې) ایزوټروپیک او انیسوټروپیک پتلي فلم موادو ضخامت او نظري ثابت (n، k) تحلیل کولو وړتیا؛
* د څو اجزاو پتلو فلمونو او بلک موادو د نظري ثابتو، انعکاسي شاخص تدریجي ویش، مساوي رسنۍ، ناهموارۍ، او داسې نورو لپاره د ماډلونو ملاتړ کوي؛
* د عام آپټیکل ثابت ماډلونو او عام اوسیلیټر ماډلونو ملاتړ کوي (کاچي ماډل، لورینټز ماډل، ګاسیان ماډل، ډروډ، سیلمایر، او نور)، او د ګرافیکي ملټي-اسیلیټر هایبرډ ماډل فټینګ ملاتړ کوي؛
* د 2D/3D توپوګرافیک انځورونو د تولید، د تاریخي معلوماتو لیدلو، او د معلوماتو او اړوندو راپورونو صادرولو او ایډیټ کولو ملاتړ کوي؛
* د معلوماتو د محصول بڼې: TXT، CSV، SNAP سنیپ شاټ، خام سپیکٹرم، DAT، او نور؛
* د مرحلې ځنډ اندازه کولو ملاتړ کوي، د مرحلې ځنډ، ایزیموت زاویه، نظري گردش زاویه، د طول و عرض تناسب، ترتیب، او نور ازموینې وړتیا لري؛
* د 1D/2D دوراني ګریټینګ جوړښت تحلیل او ماډلینګ دندې لري.
۲. د ترتیب لیست:
۱) د ایلپسومیټر اصلي واحد یوه سیټ؛
۲) د ایلپسومیټري بازو او تحلیل کونکي بازو هر یو یو سیټ؛
۳) د اتومات نمونې مرحلې یوه سیټ؛
۴) د تحلیل سافټویر یوه سیټ؛
۵) د معیاري سلایډونو یوه سیټ؛
۶) یو کمپیوټر؛
۷) د ډیبګ کولو وسیلو یوه سیټ؛
۸) د مایکرو سپاټ اسمبلۍ یوه سیټ؛
۹) یو ویکیوم جذبونکی پمپ؛
۱۰) د نقشې د سکین کولو یوه مرحله.
۳. د اندازه کولو او کنټرول کمپیوټر
د وینډوز ۱۰ عملیاتي سیسټم سره سوداګریز صنعتي کمپیوټر کاروي؛ CPU: i7 پروسیسر؛ حافظه: ۱۵ جي بي؛ هارډ ډیسک: ۱ ټي بي؛ LCD مانیټر: ۲۴ انچه؛ موږک او کیبورډ پکې شامل دي.
۴. د چاپیریال او بریښنا اړتیاوې:
۱) د پلیټ فارم اړتیاوې: ۲.۰ متره (اوږدوالی) x ۱.۲ متره (پلورل)، د بار وړلو ظرفیت له ۱۰۰ کیلوګرام څخه ډیر (د نظري وایبریشن جلا کول سپارښتنه کیږي).
۲) د عملیاتي تودوخې حد: ۲۰ ~ ۳۰ درجو سانتی ګراد
۳) نسبي رطوبت: ۳۵٪ ~ ۶۰٪ RH
۴) د بریښنا رسولو ولتاژ: ۲۲۰VAC
۵) د پړاو جریان: د RMS ارزښت له 4A (220VAC) څخه کم وي؛
۶) اعظمي ځواک: ۸۰۰ واټ
د ایلیپسومیټري اندازه کولو شی
د ایلیپسومیټري د اندازه کولو اصل
د ایلیپسومیټري تحلیل پروسه
د مولر میټریکس ایلیپسومیټري
د ME-L مولر میټریکس ایلیپسومیټري
د څیړنې درجې بشپړ اتوماتیک لوړ دقیق مولر میټریکس ایلیپسومیټري
په بشپړ ډول اتوماتیک زاویه تنظیم او تمرکز ټیکنالوژي، په یو کلیک سره چټک اندازه کول
د انسان او ماشین لارښود متقابل انٹرفیس، د سافټویر عملیات اسانه تجربه
د موادو بډایه ډیټابیس او د الګوریتم ماډل کتابتون، د معلوماتو تحلیل ځواکمن وړتیاوې
تخنیکي مشخصات
| د ماډل شمیره | ME-L د محصول نوم: |
| غوښتنلیکونه | د څیړنې/تصدۍ درجه |
| بنسټیز دندې | Psi/Delta، R/T، Mueller Matrix، او نور نظري سینسرونه |
| د سپیکٹرم تحلیل | ۳۸۰-۱۰۰۰ نانومیټره (۱۹۳-۲۵۰۰ نانومیټره پورې پراخېدو ملاتړ کوي) |
| د واحد اندازه کولو وخت | ≤۱۵ ثانیې |
| د تکرار وړتیا اندازه کولو دقت | ۰.۰۰۵ نانو میتر |
| مطلق دقت (د هوا له لارې اندازه کول) | د ایلیپسومیټري پیرامیټرونه: 4 = 45 ± 0.05°، A = 0 ± 0.1° د مولر میټریکس: وتری عنصر m = 10.005 د اختلاط څخه بهر عنصر m = 0 ± 0.005 |
| د انعکاسي شاخص د تکرار وړتیا دقت | ۰.۰۰۰۵ |
| د ځای اندازه | د لوی ځای اندازه: 2-4 ملي میتر د کوچني ځای اندازه: 200 μm/100 μm د ځای خورا کوچنی اندازه: 50 μm (د طول موج پورې اړه لري) |
د تکرار وړتیا دقت شاخص د 100nm SiO2/Si معیاري نمونې د 30 تکرار وړ اندازه کولو پراساس دی؛
د وسیلې ځانګړي تخنیکي پیرامیټرې د اصلي فعال ماډلونو او لوازمو سره تړاو لري، او په جدول کې معلومات یوازې د حوالې لپاره دي.
اختیاري تشکیلات
| د بند انتخاب | VN: ۳۸۰-۱۶۵۰nm |
| وی: ۳۸۰-۱۰۰۰ نانومیټره | یو این: ۲۱۰-۱۶۵۰ نانو میتر |
| UV: ۲۴۵-۱۰۰۰nm | DN: ۱۹۳-۱۶۵۰nm |
| UV+: ۲۱۰-۱۰۰۰nm | UN+: ۲۱۰-۲۵۰۰nm |
| DUV: ۱۹۳-۱۰۰۰nm | DN+: ۱۹۳-۲۵۰۰nm |
د زاویې انتخاب
ثابت: ۶۵°
اتوماتیک: ۴۵-۹۰°
لارښود: ۴۵-۹۰ درجې (۵ درجې زیاتوالی)
نور انتخابونه
د نقشې کولو اختیارونه: 100*100mm/200*200mm
د تودوخې کنټرول مرحله: 190-550°C/RT-1000°C
زموږ په اړه
د فابریکې پروفایل
ولې موږ غوره کړئ
پرله پسې پوښتنې
لومړۍ پوښتنه: موږ څوک یو؟
A1: په 2015 کې تاسیس شوی، MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd په دوامداره توګه وده کړې او د رینلینډ ISO 9001 پاس کړی دی.
تصدیق. د جرمني SACCKE لوړ پای پنځه محور پیس کولو مرکزونو، د جرمني ZOLLER شپږ محور وسیلې تفتیش مرکز، د تایوان پالماري ماشین او نورو نړیوالو پرمختللي تولیدي تجهیزاتو سره، موږ د لوړ پای، مسلکي او موثر CNC وسیلې تولید ته ژمن یو.
پوښتنه 2: ایا تاسو سوداګریز شرکت یا تولید کونکی یاست؟
A2: موږ د کاربایډ وسیلو فابریکه یو.
Q3: ایا تاسو کولی شئ محصولات زموږ فارورډر ته په چین کې واستوئ؟
A3: هو، که تاسو په چین کې فارورډر لرئ، موږ به په خوښۍ سره هغه ته محصولات واستوو.
څلورمه پوښتنه: د تادیې کوم شرایط د منلو وړ دي؟
A4: عموما موږ T/T منو.
پنځمه پوښتنه: ایا تاسو د OEM امرونه منئ؟
A5: هو، OEM او دودیز کول شتون لري، او موږ د لیبل چاپ کولو خدمت هم چمتو کوو.
شپږمه پوښتنه: ولې باید موږ غوره کړئ؟
A6:۱) د لګښت کنټرول - په مناسب قیمت د لوړ کیفیت لرونکي محصولاتو پیرود.
۲) چټک ځواب - په ۴۸ ساعتونو کې، مسلکي پرسونل به تاسو ته نرخ درکړي او ستاسو اندیښنې به حل کړي.
۳) لوړ کیفیت - شرکت تل په صادقانه نیت سره ثابتوي چې هغه محصولات چې دوی یې چمتو کوي ۱۰۰٪ لوړ کیفیت لري.
۴) د پلور وروسته خدمت او تخنیکي لارښوونې - شرکت د پیرودونکو اړتیاو او اړتیاو سره سم د پلور وروسته خدمت او تخنیکي لارښوونې چمتو کوي.
