Ellipsometer Spektroskopi Ketepatan Tinggi | Sistem Pengukuran Ketebalan Filem Nipis & Indeks Biasan Tanpa Musnah
Arahan Pesanan
Disebabkan sifat istimewa produk ini, harga yang ditunjukkan pada halaman adalah harga deposit, bukan harga sebenar. Sila hubungi khidmat pelanggan untuk sebut harga.
Pesanan yang dibuat secara langsung tanpa hubungan terlebih dahulu tidak boleh dihantar! Terima kasih atas kerjasama anda! Untuk maklumat lanjut tentang produk, sila hubungi khidmat pelanggan untuk menerima brosur produk.
Pengukuran Utama
Ketebalan Filem (satu hingga berbilang lapisan)
Indeks Biasan (n) & Pekali Kepupusan (k)
Jurang Jalur Optik (Cth.)
Kekasaran Permukaan
Sorotan Teknikal
Julat Spektrum Lebar: Liputan UV hingga NIR untuk analisis bahan serba boleh
Kepekaan Tinggi: Mampu mengukur filem ultra nipis sehingga skala sub-nanometer
Tidak Bersentuhan & Tidak Musnah: Sesuai untuk sampel sensitif dalam persekitaran R&D dan pengeluaran
Perisian Pemodelan Lanjutan: Menyokong analisis tindanan berbilang lapisan yang kompleks dengan aliran kerja mesra pengguna
Aplikasi
Sistem ini digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor, salutan optik, paparan panel rata, pembangunan fotovoltaik (sel solar), penyelidikan sains bahan dan biopenderiaan.
Mengapa Memilih Penyelesaian Kami
Sebagai pengeluar profesional dengan keupayaan R&D yang kukuh, kami menawarkan harga terus dari kilang, konfigurasi yang boleh disesuaikan dan sokongan teknikal khusus. Sama ada anda memerlukan sistem atas meja untuk analisis makmal atau penyelesaian dalam talian untuk pemantauan pengeluaran, kami boleh menyesuaikan instrumen tersebut mengikut keperluan pengukuran khusus anda.
Minta Sebut Harga
Hubungi kami hari ini untuk membincangkan permohonan anda atau meminta sebut harga. Pasukan kami menyediakan rundingan teknikal percuma untuk membantu anda memilih penyelesaian pengukuran filem nipis yang optimum.
Parameter Teknikal Utama
1. Keupayaan Pengukuran: elemen matriks Mueller peringkat ke-16, spektrum pengkutuban Psi/Delta, indeks biasan, ketebalan, birefringens dan pemalar dielektrik, dsb.
2. Julat Spektrum: 210nm-1690nm
3. Jarak Panjang Gelombang: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm
4. Masa Pengukuran Titik Tunggal: ≤10s
5. Saiz Mikro-tompok: ≤200μm
6. Teknologi Modulasi: Modulasi sistem pemampas berputar dwi PCSCA
7. Peringkat Sampel Automatik: Pemfokusan automatik paksi-Z, perjalanan maksimum 18mm, langkah minimum 1µm
8. Ketepatan pengulangan ketebalan filem: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 ukuran berulang, dikira sebagai 1σ)
9. Ketepatan pengulangan indeks biasan: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 ukuran berulang, dikira sebagai 1σ)
10. Ketepatan ketebalan filem mutlak: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, laporan metrologi pihak ketiga disediakan)
11. Fungsi pemetaan: Menggunakan peringkat pengimbasan automatik jenis x/y berketepatan tinggi, menyokong pengukuran kedudukan dan pengimbasan automatik substrat 2/4/6/8 inci, ketepatan pengulangan ≤6μm, penjanaan satu klik peta taburan ketebalan filem 2D/3D
12. Pengukuran dan pemfokusan laser: Penentuan kedudukan panjang fokus automatik melalui laluan optik pantulan laser, perjalanan pemfokusan ≤3mm
13. Model perbezaan: Mengira data perbezaan psi-diff dan delta-diff secara automatik
14. Perisian analisis: Mempunyai sekurang-kurangnya 5 mod pengukuran yang berbeza, pangkalan data n/k terbina dalam untuk lebih 100 bahan optik dan menyokong penciptaan pangkalan data tersuai; mempunyai keupayaan analisis pengujian dan pemodelan untuk lapisan tunggal, berbilang lapisan (sehingga 30 lapisan) dan filem nipis berselang-seli komposit, termasuk model cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline dan Oscillator serta menyokong pelesenan perisian luar talian.
Spesifikasi Teknikal
I. Pengenalan Peralatan
Spektroellipsometri Pemetaan ME menampilkan teknologi modulasi pemampat putaran dua yang digabungkan dengan algoritma analisis data berketepatan tinggi. Ia boleh memperoleh semua 16 elemen matriks Mueller penuh dan spektrum polarisasi dalam satu pengukuran tunggal, membolehkan pengukuran sampel yang pantas dan tidak merosakkan. Instrumen ini mempunyai reka bentuk laluan optik yang stabil dan menggunakan pengesan yang disejukkan semikonduktor, memperoleh isyarat keamatan cahaya dalam beberapa saat. Ia menawarkan kelajuan pengukuran yang lebih pantas dan ketepatan yang lebih tinggi, menyokong pengukuran parameter yang tepat seperti ketebalan, indeks biasan, pekali kepupusan dan pemalar dielektrik optik untuk pelbagai bahan filem nipis. Tambahan pula, ia boleh disesuaikan dengan "peringkat kedudukan berulang wafer" bersaiz berbeza untuk pengukuran pengimbasan pemetaan berbilang titik pelbagai sampel bersaiz besar.
II. Skop Aplikasi
Ahli elipsometri terutamanya digunakan dalam semikonduktor, paparan panel rata, fotovoltaik solar, filem nipis optik, komunikasi optik dan bahan nano.
III. Keperluan Teknikal Keseluruhan
1. Spesifikasi Teknikal:
1.1 Parameter Pengukuran: elemen matriks Mueller tertib ke-16, Psi/Delta, indeks biasan, ketebalan, dwirefringens dan pemalar dielektrik, dsb.
1.2 Julat Spektrum: 210nm-1690nm;
1.3 Masa Pengukuran Titik Tunggal: ≤10s;
1.4 Saiz Mikrospot: ≤200μm;
1.5 Teknologi Modulasi: Modulasi pampasan putaran dwi PC1SCA;
1.6 Peringkat Sampel Automatik: Menyokong pemfokusan paksi-z automatik, perjalanan maksimum 18mm, langkah minimum 1μm;
1.7 Ketepatan Pengulangan Ketebalan Filem: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 ukuran berulang, dikira 1σ);
1.8 Ketepatan Pengulangan Indeks Biasan: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 pengukuran berulang, dikira 1σ);
1.9 Ketepatan Ketebalan Filem Mutlak: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, laporan metrologi pihak ketiga disediakan); μm
1.10 Fungsi Pemetaan: Menggunakan peringkat pengimbasan automatik jenis x/y berketepatan tinggi, menyokong pengukuran kedudukan dan pengimbasan automatik substrat 2/4/6/8 inci, dengan ketepatan kebolehulangan ≤6μm, dan penjanaan peta taburan ketebalan filem 2D/3D satu klik;
1.11 Pencari Jarak dan Pemfokusan Laser: Menentukan kedudukan panjang fokus secara automatik menggunakan laluan optik pantulan laser, dengan perjalanan pencarian fokus ≤3mm;
1.12 Julat Pengukuran Ketebalan Filem: 1nm-10μm;
1.13 Model Perbezaan: Mengira data perbezaan psi-diff dan delta-diff secara automatik;
1.14 Perisian Analisis:
* Keupayaan Pengukuran Spektroskopik: 16 elemen matriks Mueller penuh, spektroskopi pengkutuban Psi/Delta, N/C/S, depolarisasi, dsb.;
* Keupayaan Analisis Data: Mampu menganalisis ketebalan dan pemalar optik (n, k) bahan filem nipis isotropik dan anisotropik lapisan tunggal dan berbilang lapisan (sehingga 20 lapisan);
* Menyokong model untuk pemalar optik, taburan kecerunan indeks biasan, media setara, kekasaran, dsb., bagi filem nipis berbilang komponen dan bahan pukal;
* Menyokong model pemalar optik biasa dan model pengayun biasa (model Cauchy, model Lorentz, model Gaussian, Drude, Sellmeier, dll.), dan menyokong pemasangan model hibrid berbilang pengayun grafik;
* Menyokong pengeluaran imej topografi 2D/3D, melihat data sejarah dan mengeksport serta mengedit data serta laporan yang sepadan;
* Format Output Data: TXT, CSV, snapshot SNAP, spektrum mentah, DAT, dsb.;
* Menyokong pengukuran kelewatan fasa, mampu menguji kelewatan fasa, sudut azimut, sudut putaran optik, nisbah amplitud, tertib, dsb.;
* Mempunyai fungsi analisis struktur parutan berkala 1D/2D dan pemodelan.
2. Senarai Konfigurasi:
1) Satu set unit utama elipsometer;
2) Satu set setiap lengan ellipsometri dan lengan penganalisis;
3) Satu set peringkat sampel automatik;
4) Satu set perisian analisis;
5) Satu set slaid standard;
6) Satu komputer;
7) Satu set alat penyahpepijatan;
8) Satu set pemasangan mikro-titik;
9) Satu pam penjerapan vakum;
10) Satu peringkat pengimbasan pemetaan.
3. Komputer Pengukuran dan Kawalan
Menggunakan PC perindustrian komersial dengan sistem pengendalian Windows 10; CPU: pemproses i7; Memori: 15GB; Cakera Keras: 1TB; Monitor LCD: 24 inci; termasuk tetikus dan papan kekunci.
4. Keperluan Alam Sekitar dan Kuasa:
1) Keperluan Platform: 2.0m (panjang) x 1.2m (lebar), kapasiti beban lebih besar daripada 100kg (pengasingan getaran optik disyorkan).
2) Julat Suhu Operasi: 20~30°C
3) Kelembapan Relatif: 35%~60%RH
4) Voltan Bekalan Kuasa: 220VAC
5) Arus Fasa: Nilai RMS kurang daripada 4A (220VAC);
6) Kuasa Maksimum: 800W
Objek Pengukuran Ellipsometri
Prinsip Pengukuran Ellipsometri
Proses Analisis Ellipsometri
Elipsometri Matriks Muller
Ellipsometri Matriks ME-L Mueller
Ellipsometri matriks Mueller berketepatan tinggi automatik sepenuhnya gred penyelidikan
Pelarasan sudut dan teknologi pemfokusan automatik sepenuhnya, pengukuran pantas satu klik
Antara muka manusia-mesin interaktif berpandu, pengalaman operasi perisian yang mudah
Pangkalan data bahan yang kaya dan pustaka model algoritma, keupayaan analisis data yang berkuasa
Spesifikasi Teknikal
| Nombor Model | ME-L |
| Aplikasi | Gred Penyelidikan/Perusahaan |
| Fungsi Asas | Psi/Delta, R/T, Mueller Matrix dan sensor optik lain |
| Analisis Spektrum | 380-1000nm (menyokong pengembangan kepada 193-2500nm) |
| Masa Pengukuran Tunggal | ≤15s |
| Ketepatan Pengukuran Kebolehulangan | 0.005nm |
| Ketepatan Mutlak (Udara Pengukuran Melalui) | Parameter elipsometri: 4 = 45 ± 0.05°, A = 0 ± 0.1° Matriks Muller: Unsur pepenjuru m = 10.005 Unsur luar pepenjuru m = 0 ± 0.005 |
| Ketepatan Pengulangan Indeks Biasan | 0.0005 |
| Saiz Tempat | Saiz bintik besar: 2-4 mm Saiz bintik kecil: 200 μm/100 μm Saiz bintik ultra-kecil: 50 μm (bergantung pada panjang gelombang) |
Indeks ketepatan kebolehulangan adalah berdasarkan 30 ukuran boleh ulangan bagi sampel piawai SiO2/Si 100nm;
Parameter teknikal khusus instrumen ini berkaitan dengan modul dan aksesori berfungsi sebenar, dan data dalam jadual adalah untuk rujukan sahaja.
Konfigurasi Pilihan
| Pemilihan Jalur | VN: 380-1650nm |
| V: 380-1000nm | PBB: 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | PBB+: 210-2500nm |
| DUV: 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
Pemilihan Sudut
Tetap: 65°
Automatik: 45-90°
Manual: 45-90° (kenaikan 5°)
Pilihan Lain
Pilihan Pemetaan: 100*100mm/200*200mm
Peringkat Kawalan Suhu: 190-550°C/RT-1000°C
Tentang Kami
Profil Kilang
Mengapa Pilih Kami
Soalan Lazim
S1: Siapakah kami?
A1: Ditubuhkan pada tahun 2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd telah berkembang secara berterusan dan lulus Rheinland ISO 9001
pengesahan. Dengan pusat pengisaran lima paksi mewah SACCKE Jerman, pusat pemeriksaan alat enam paksi ZOLLER Jerman, mesin PALMARY Taiwan dan peralatan pembuatan canggih antarabangsa yang lain, kami komited untuk menghasilkan alat CNC mewah, profesional dan cekap.
S2: Adakah anda syarikat perdagangan atau pengilang?
A2: Kami adalah kilang alat karbida.
S3: Bolehkah anda menghantar produk kepada Forwarder kami di China?
A3: Ya, jika anda mempunyai Forwarder di China, kami dengan senang hati akan menghantar produk kepadanya.
S4: Apakah syarat pembayaran yang boleh diterima?
A4: Biasanya kami menerima T/T.
S5: Adakah anda menerima pesanan OEM?
A5: Ya, OEM dan penyesuaian tersedia, dan kami juga menyediakan perkhidmatan percetakan label.
S6: Mengapa anda perlu memilih kami?
A6:1) Kawalan kos - membeli produk berkualiti tinggi pada harga yang sesuai.
2) Respons pantas - dalam masa 48 jam, kakitangan profesional akan memberikan sebut harga dan menangani kebimbangan anda.
3) Berkualiti tinggi - Syarikat sentiasa membuktikan dengan niat yang ikhlas bahawa produk yang disediakannya adalah 100% berkualiti tinggi.
4) Perkhidmatan selepas jualan dan panduan teknikal - Syarikat menyediakan perkhidmatan selepas jualan dan panduan teknikal mengikut keperluan dan kehendak pelanggan.
