Югары төгәллекле спектроскопик эллипсометр | Ватылмый торган юка пленка калынлыгы һәм сыну күрсәткечен үлчәү системасы

Бу спектроскопик эллипсометр - юка пленкаларны һәм күп күләмле материалларны җимерми торган характеристикалау өчен эшләнгән югары төгәллекле оптик метрология системасы. Алдынгы эллипсометрия принципларына нигезләнеп, ул төгәл оптик даимиләрне һәм структура параметрларын бирү өчен поляризация халәте үзгәрешләрен (амплитуда нисбәте Ψ һәм фаза аермасы Δ) үлчи.

Кабатланырлык үлчәү төгәллеге:0,005 нм

Бренд:MSK

Бер тапкыр үлчәү вакыты:≤15с

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукт детальләре

Продукт теглары

Заказ бирү күрсәтмәләре

Продукциянең үзенчәлекле характеры аркасында, биттә күрсәтелгән бәя - чын бәя түгел, ә алдан түләү бәясе. Бәя алу өчен, зинһар, клиентларга хезмәт күрсәтү бүлегенә мөрәҗәгать итегез.

Алдан элемтәгә кермичә турыдан-туры бирелгән заказларны җибәреп булмый! Хезмәттәшлегегез өчен рәхмәт! Продукция турында тулырак мәгълүмат алу өчен, зинһар, продукт брошюраларын алу өчен клиентларга хезмәт күрсәтү бүлегенә мөрәҗәгать итегез.

@mskcnctool #эллипсометр #юккапленка #ярымүткәргечләрҗитештерү #метрология #оптик каплау #лаборатория җиһазлары #кояш батареясы #җитештерүтехнологиясе #төгәллекүлчәү ♬ оригиналь тавыш - MSK CNC Tools

Төп үлчәмнәр

Пленка калынлыгы (бер яки күп катламлы)

Сыну күрсәткече (n) һәм сүнү коэффициенты (k)

Оптик тасма аралыгы (мәсәлән)

Өслекнең катылыгы

Техник үзенчәлекләр

Киң спектрлы диапазон: күпкырлы материал анализы өчен UVдан NIRга кадәр каплау

Югары сизгерлек: ультра-нечкә пленкаларны нанометрдан түбән масштабка кадәр үлчәү мөмкинлеге

Контактсыз һәм җимерми: Фәнни-тикшеренү һәм җитештерү мохитендә сизгер үрнәкләр өчен идеаль

Алдынгы модельләштерү программасы: Кулланучыга уңайлы эш процесслары белән катлаулы күп катламлы стек анализын хуплый

Кушымталар

Бу система ярымүткәргечләр җитештерүдә, оптик каплауда, яссы панельле дисплейларда, фотоэлектрик (кояш элементлары) эшләүдә, материаллар фәне тикшеренүләрендә һәм биосенсорлауда киң кулланыла.

Ни өчен безнең чишелешне сайларга

Көчле фәнни-тикшеренү һәм эшләү мөмкинлекләренә ия булган профессиональ җитештерүче буларак, без заводтан турыдан-туры бәяләр, көйләнергә мөмкин конфигурацияләр һәм махсус техник ярдәм тәкъдим итәбез. Сезгә лаборатория анализы өчен өстәл системасы яки җитештерүне күзәтү өчен онлайн чишелеш кирәк булса да, без җайланманы сезнең конкрет үлчәү ихтыяҗларыгызга туры китереп көйли алабыз.

Бәя сорау

Гаризагызны тикшерер өчен яки бәя сорар өчен бүген үк безнең белән элемтәгә керегез. Безнең команда сезгә оптималь юка пленка үлчәү чишелешен сайларга ярдәм итү өчен бушлай техник консультация бирә.

Төп техник параметрлар

1. Үлчәү мөмкинлекләре: 16 нчы тәртиптәге Мюллер матрицасы элементлары, поляризация спектры Psi/Дельта, сыну күрсәткече, калынлык, ике яклы сыну һәм диэлектрик даимилек һ.б.

2. Спектраль диапазон: 210нм-1690нм

3. Дулкын озынлыгы аралыгы: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Бер нокталы үлчәү вакыты: ≤10с

5. Микро-нокта зурлыгы: ≤200 мкм

6. Модуляция технологиясе: PCSCA икеләтә әйләндергеч компенсатор системасы модуляциясе

7. Автоматик үрнәк этабы: Z күчәре автоматик фокуслау, максималь хәрәкәт 18 мм, минималь адым 1µm

8. Пленка калынлыгының кабатлану төгәллеге: ≤0.005 нм (100 нм SiO2/Si, 30 тапкыр үлчәү, 1σ буларак исәпләнгән)

9. Сыну күрсәткеченең кабатлану төгәллеге: ≤0.0002 (100 нм SiO2/Si, 30 тапкыр үлчәү, 1σ буларак исәпләнгән)

10. Пленка калынлыгының абсолют төгәллеге: ≤0.5% (100 нм SiO2/Si, өченче як метрология отчеты бирелгән)

11. Карталаштыру функциясе: Югары төгәллекле x/y тибындагы автоматик сканерлау этабын куллана, 2/4/6/8 дюймлы субстратларны автоматик рәвештә урнаштыруны һәм сканерлауны үлчәүне хуплый, кабатлану төгәллеге ≤6μm, бер басу белән 2D/3D пленка калынлыгы бүленеш карталарын генерацияли

12. Лазер белән диапазонлаштыру һәм фокуслау: лазер чагылышы оптик юлы аша автоматик фокус озынлыгын урнаштыру, фокуслау юлы ≤3 мм

13. Аерма моделе: psi-diff һәм delta-diff аерма мәгълүматларын автоматик рәвештә исәпли

14. Анализ программасы: Кимендә 5 төрле үлчәү режимына ия, 100 дән артык оптик материал өчен урнаштырылган n/k мәгълүмат базасына ия һәм махсус мәгълүмат базаларын булдыруны хуплый; бер катламлы, күп катламлы (30 катламга кадәр) һәм составлы чиратлашып эшләүче юка пленкалар, шул исәптән Коши, Селлмейер, Таук-Лоренц, Bspline һәм Осциллятор модельләре өчен сынау һәм модельләштерү анализы мөмкинлекләренә ия, һәм оффлайн программа тәэминатын лицензияләүне хуплый.

Техник характеристикалар

I. Җиһазлар белән таныштыру

ME-Mapping Spectroellipsometry икеләтә әйләнү компенсатор модуляция технологиясен югары төгәллекле мәгълүмат анализы алгоритмнары белән берләштерә. Ул тулы Мюллер матрицасының һәм поляризация спектрының барлык 16 элементын бер үлчәүдә ала ала, бу тиз һәм җимерелми торган үрнәк үлчәү мөмкинлеген бирә. Җиһаз тотрыклы оптик юл конструкциясенә ия һәм ярымүткәргеч белән суытылган детектор куллана, яктылык интенсивлыгы сигналларын берничә секунд эчендә ала. Ул тизрәк үлчәү тизлеге һәм югарырак төгәллек тәкъдим итә, төрле юка пленка материаллары өчен калынлык, сыну күрсәткече, сүнү коэффициенты һәм оптик диэлектрик даими кебек параметрларны төгәл үлчәүне хуплый. Моннан тыш, аны төрле зур күләмле үрнәкләрнең күп нокталы карталаштыру сканерлау үлчәүләре өчен төрле зурлыктагы "пластина кабатланырлык позицияләү этаплары" белән көйләргә мөмкин.

II. Куллану даирәсе

Эллипсометристлар, нигездә, ярымүткәргечләрдә, яссы панельле дисплейларда, кояш фотоэлектрикларында, оптик юка пленкаларда, оптик элемтәдә һәм наноматериалларда кулланыла.

III. Гомуми техник таләпләр

1. Техник характеристикалар:
1.1 Үлчәү параметрлары: 16 нчы тәртиптәге Мюллер матрицасы элементлары, Psi/Дельта, сыну күрсәткече, калынлык, ике яклы сыну һәм диэлектрик даимилек һ.б.
1.2 Спектраль диапазон: 210нм-1690нм;
1.3 Бер нокталы үлчәү вакыты: ≤10с;
1.4 Микронокта зурлыгы: ≤200 мкм;
1.5 Модуляция технологиясе: PC1SCA икеләтә әйләнү компенсациясе модуляциясе;
1.6 Автоматик үрнәк этабы: автоматик z күчәренә фокуслауны хуплый, максималь хәрәкәт 18 мм, минималь адым 1 мкм;
1.7 Пленка калынлыгының кабатланучанлыгы төгәллеге: ≤0.005 нм (100 нм SiO2/Si, 30 тапкыр үлчәү, исәпләнгән 1σ);
1.8 Сыну күрсәткеченең кабатлану төгәллеге: ≤0.0002 (100 нм SiO2/Si, 30 тапкыр үлчәү, исәпләнгән 1σ);
1.9 Пленка калынлыгының абсолют төгәллеге: ≤0.5% (100 нм SiO2/Si, өченче як метрология отчеты бирелгән); мкм
1.10 Карталаштыру функциясе: Югары төгәллекле x/y тибындагы автоматик сканерлау этабын куллана, 2/4/6/8 дюймлы субстратларны автоматик рәвештә урнаштыруны һәм сканерлауны үлчәүне хуплый, кабатлану төгәллеге ≤6μm, һәм бер басу белән 2D/3D пленка калынлыгы бүленеш карталарын генерацияләүне тәэмин итә;
1.11 Лазер диапазонын билгеләү һәм фокуслау: Лазер чагылышының оптик юлын кулланып, фокус аралыгын автоматик рәвештә урнаштыра, фокуслау юлы ≤3 мм;
1.12 Пленка калынлыгын үлчәү диапазоны: 1нм-10μм;
1.13 Аерма моделе: psi-diff һәм delta-diff аерма мәгълүматларын автоматик рәвештә исәпли;
1.14 Анализ программасы:
* Спектроскопик үлчәү мөмкинлекләре: тулы Мюллер матрицасының 16 элементы, Psi/Дельта поляризация спектроскопиясе, N/C/S, деполяризация һ.б.;
* Мәгълүматларны анализлау мөмкинлекләре: Бер катламлы һәм күп катламлы (20 катламга кадәр) изотроп һәм анизотроп юка пленка материалларының калынлыгын һәм оптик даимиләрен (n, k) анализлау мөмкинлеге;
* Күп компонентлы юка пленкаларның һәм күләмле материалларның оптик даимиләре, сыну күрсәткече градиентлары бүленеше, эквивалент мохит, тупаслык һ.б. өчен модельләрне хуплый;
* Оптик даими модельләрне һәм киң таралган осциллятор модельләрен (Коши моделе, Лоренц моделе, Гаусс моделе, Дрюд, Селлмейер һ.б.) хуплый, һәм график күп осцилляторлы гибрид модель урнаштыруны хуплый;
* 2D/3D топографик рәсемнәрне чыгаруны, тарихи мәгълүматларны карауны, мәгълүматларны һәм тиешле отчетларны экспортлауны һәм редакцияләүне хуплый;
* Мәгълүмат чыгару форматлары: TXT, CSV, SNAP snapshot, raw spectrum, DAT һ.б.;
* Фаза тоткарлыгын үлчәүне хуплый, фаза тоткарлыгын, азимут почмагын, оптик әйләнү почмагын, амплитуда нисбәтен, тәртибен һ.б. тикшерә ала;
* 1D/2D периодик рәшәткә структурасын анализлау һәм модельләштерү функцияләренә ия.

2. Конфигурацияләр исемлеге:

1) Эллипсометрның төп җайланмасының бер комплекты;

2) Эллипсометрия кулы һәм анализатор кулы өчен бер комплект;

3) Бер комплект автоматик үрнәк этабы;

4) Бер төрле анализ программалары җыелмасы;

5) Бер комплект стандарт слайдлар;

6) Бер компьютер;

7) Бер комплект отладка кораллары;

8) Бер микро-нокталы җыю комплекты;

9) Бер вакуум адсорбция насосы;

10) Бер карталаштыру сканерлау этабы.

3. Үлчәү һәм контроль компьютеры

Windows 10 операцион системасы белән коммерциячел сәнәгать компьютерын куллана; Үзәк процессор: i7 процессор; Хәтер: 15 ГБ; Каты диск: 1 ТБ; LCD монитор: 24 дюйм; тычкан һәм клавиатура керә.

4. Әйләнә-тирә мохит һәм энергия таләпләре:

1) Платформа таләпләре: 2,0 м (озынлык) x 1,2 м (киңлек), йөк күтәрүчәнлеге 100 кг нан артык (оптик тибрәнү изоляциясе тәкъдим ителә).
2) Эш температурасы диапазоны: 20~30°C
3) Чагыштырмача дымлылык: 35% ~ 60% дымлылык
4) Электр белән тәэмин итү көчәнеше: 220VAC
5) Фаза тогы: RMS кыйммәте 4А (220VAC) тан кимрәк;
6) Максималь көч: 800 Вт

Эллипсометрия үлчәү объекты

Эллипсометрияне үлчәү принцибы

Эллипсометрия анализы процессы

Мюллер матрицасы эллипсометриясе

Нечкә пленка өчен спектроскопик эллипсометр

ME-L Мюллер матрицасы эллипсометриясе

Фәнни тикшеренү дәрәҗәсендәге тулысынча автоматик югары төгәллекле Мюллер матрицасы эллипсометриясе

Тулысынча автоматик почмак көйләү һәм фокуслау технологиясе, бер басу белән тиз үлчәү

Җитәкләнгән интерактив кеше-машина интерфейсы, программа тәэминаты белән эшләүнең уңайлы тәҗрибәсе

Бай материал базасы һәм алгоритм модельләре китапханәсе, көчле мәгълүмат анализы мөмкинлекләре

Техник характеристикалар

Модель номеры	ME-L
Кушымталар	Фәнни тикшеренүләр/эшмәкәрлек дәрәҗәсе
Төп функцияләр	Psi/Delta, R/T, Мюллер матрицасы һәм башка оптик сенсорлар
Спектр анализы	380-1000нм (193-2500нм га кадәр киңәюне хуплый)
Бер тапкыр үлчәү вакыты	≤15с
Кабатланырлык үлчәү төгәллеге	0,005 нм
Абсолют төгәллек (Һава үлчәүләре аша)	Эллипсометрия параметрлары: 4 = 45 ± 0,05°, A = 0 ± 0,1° Мюллер матрицасы: Диагональ элемент m = 10.005 Диагональдән тыш элемент m = 0 ± 0,005
Сыну күрсәткеченең кабатланучанлык төгәллеге	0,0005
Тап зурлыгы	Зур тап зурлыгы: 2-4 мм Кечкенә тап зурлыгы: 200 мкм/100 мкм Бик кечкенә тап зурлыгы: 50 мкм (дулкын озынлыгына карап)

Кабатланучанлык төгәллеге индексы 100 нм SiO2/Si стандарт үрнәгенең 30 кабатланучан үлчәүләренә нигезләнгән;

Приборның махсус техник параметрлары чын функциональ модульләр һәм аксессуарлар белән бәйле, һәм таблицадагы мәгълүматлар белешмә өчен генә бирелгән.

Өстәмә конфигурацияләр

Төркем сайлау	VN: 380-1650нм
V: 380-1000нм	БМО: 210-1650нм
УВ: 245-1000нм	DN: 193-1650нм
УВ+: 210-1000нм	БМО+: 210-2500нм
DUV: 193-1000нм	DN+: 193-2500нм

Почмак сайлау

Фиксацияләнгән: 65°
Автоматик: 45-90°
Кул белән: 45-90° (5° адымнар белән)

Башка вариантлар

Карталаштыру вариантлары: 100*100мм/200*200мм

Температураны контрольдә тоту этабы: 190-550°C/RT-1000°C

Безнең турында

2015 елда оешкан MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd даими үсте һәм уңышлы үттеРейнланд ISO 9001 аутентификациясеГерманиянең SACCKE югары сыйфатлы биш күчәрле тарту үзәкләре, Германиянең ZOLLER алты күчәрле корал тикшерү үзәге, Тайвань PALMARY машинасы һәм башка халыкара алдынгы җитештерү җиһазлары белән без җитештерүгә омтылабыз.югары дәрәҗәдәге, профессиональ һәм нәтиҗәлеCNC коралы.

Безнең махсуслашуыбыз - барлык төр каты карбид кисү коралларын проектлау һәм җитештерү:Оч фрезерлары, бораулар, скапкалар, краннар һәм махсус кораллар.Безнең бизнес фәлсәфәбез - клиентларыбызга механик эшкәртү операцияләрен яхшырта, җитештерүчәнлекне арттыра һәм чыгымнарны киметә торган комплекслы чишелешләр тәкъдим итү.Хезмәт + Сыйфат + Эш нәтиҗәләреБезнең консультация командасы шулай ук тәкъдим итәҗитештерү ноу-хаусы, клиентларыбызга 4.0 индустриясенең киләчәгенә куркынычсыз юл күрсәтергә ярдәм итүче төрле физик һәм санлы чишелешләр белән. Компаниябезнең теләсә нинди өлкәсе турында тулырак мәгълүмат алу өчен, зинһар,безнең сайтны карап чыгыгыз orбезнең белән элемтә бүлеген кулланыгызбезнең команда белән турыдан-туры элемтәгә керергә.

Завод профиле

Ни өчен безне сайларга

еш бирелә торган сораулар

1 нче сорау: Без кемнәр?

A1: 2015 елда оешкан MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd компаниясе даими рәвештә үсә һәм Rheinland ISO 9001 стандартын үтә.
аутентификация. Германиянең SACCKE югары сыйфатлы биш күчәрле тарту үзәкләре, Германиянең ZOLLER алты күчәрле корал тикшерү үзәге, Тайвань PALMARY машинасы һәм башка халыкара алдынгы җитештерү җиһазлары белән без югары сыйфатлы, профессиональ һәм нәтиҗәле CNC кораллары җитештерүгә омтылабыз.

2 нче сорау: Сез сәүдә компаниясеме яки җитештерүчеме?

A2: Без карбид кораллары заводы.

3 нче сорау: Сез Кытайдагы экспедиторыбызга продуктлар җибәрә аласызмы?

A3: Әйе, әгәр сезнең Кытайда экспедиторыгыз булса, без аңа/аңа продуктлар җибәрергә шат булачакбыз.

4 нче сорау: Түләүнең нинди шартлары кабул ителә?

A4: Гадәттә без T/T кабул итәбез.

5 нче сорау: Сез OEM заказларын кабул итәсезме?

A5: Әйе, OEM һәм көйләү мөмкин, һәм без шулай ук этикетка бастыру хезмәтен күрсәтәбез.

6 нчы сорау: Ни өчен сез безне сайларга тиеш?

A6:1) Чыгымнарны контрольдә тоту - югары сыйфатлы продуктларны тиешле бәядән сатып алу.

2) Тиз җавап - 48 сәгать эчендә профессиональ персонал сезгә бәя тәкъдим итәчәк һәм сезнең сорауларыгызга җавап бирәчәк.

3) Югары сыйфат - Компания һәрвакыт чын күңелдән тәкъдим иткән продуктларының 100% югары сыйфатлы булуын исбатлый.

4) Сатудан соңгы хезмәт күрсәтү һәм техник җитәкчелек - Компания клиентларның таләпләренә һәм ихтыяҗларына туры китереп, сатудан соңгы хезмәт күрсәтү һәм техник җитәкчелек күрсәтә.

Алдагысы: Югары төгәллекле контур үлчәү коралы SP1000 | 2D профиль һәм өслекнең тигезсезлеген тикшерүче

Киләсе: Күчмә зур масштаблы лазер трекеры | Югары төгәллекле 3D сәнәгать үлчәү системасы