Ellipsômetatra spektroskopika avo lenta | Rafitra fandrefesana ny hatevin'ny sarimihetsika manify sy ny fanondroana ny taratra tsy manimba
Toromarika momba ny famandrihana
Noho ny maha-manokana ny vokatra, ny vidiny aseho eo amin'ny pejy dia vidin'ny petra-bola mialoha, fa tsy ny tena vidiny. Mifandraisa amin'ny serivisy mpanjifa raha mila tombam-bidy.
Tsy azo alefa ny baiko mivantana raha tsy misy fifandraisana mialoha! Misaotra anao noho ny fiaraha-miasa! Raha mila fanazavana fanampiny momba ny vokatra, dia mifandraisa amin'ny serivisy mpanjifa mba hahazoana bokikely momba ny vokatra.
Fandrefesana fototra
Hatevin'ny Sarimihetsika (sosona tokana ka hatramin'ny sosona maro)
Tondro Refractive (n) & Coefficient Extinction (k)
Elanelana Optika (Ohatra)
Fahasarotan'ny ety ambonin'ny tany
Zava-nisongadina ara-teknika
Elanelana mivelatra: Fandrakofana UV hatramin'ny NIR ho an'ny famakafakana akora isan-karazany
Fahatsapana avo lenta: Afaka mandrefy sarimihetsika manify dia manify hatrany amin'ny ambaratonga ambanin'ny nanometera
Tsy Mifandray & Tsy Manimba: Mety tsara ho an'ny santionany saro-pady amin'ny tontolo fikarohana sy fampandrosoana ary famokarana
Rindrambaiko Modely Mandroso: Manohana famakafakana stack maro sosona sarotra miaraka amin'ny workflows mora ampiasaina
Fampiharana
Ity rafitra ity dia ampiasaina betsaka amin'ny famokarana semiconductor, coating optika, fampisehoana takelaka fisaka, fampandrosoana photovoltaic (sela masoandro), fikarohana momba ny siansa momba ny fitaovana, ary ny biosensing.
Nahoana no misafidy ny vahaolanay?
Amin'ny maha-mpanamboatra matihanina manana fahaiza-manao R&D matanjaka anay, dia manolotra vidiny mivantana avy amin'ny orinasa izahay, fandrindrana azo ovaina, ary fanohanana ara-teknika manokana. Na mila rafitra latabatra ho an'ny fanadihadiana laboratoara ianao na vahaolana an-tserasera ho an'ny fanaraha-maso ny famokarana, dia afaka manamboatra ny fitaovana araka ny filanao manokana izahay.
Mangataha Tombam-bidy
Mifandraisa aminay anio mba hiresaka momba ny fangatahanao na hangataka tombam-bidy. Manome torohevitra ara-teknika maimaim-poana ny ekipanay mba hanampiana anao hisafidy ny vahaolana tsara indrindra amin'ny fandrefesana ny sarimihetsika manify.
Ireo masontsivana ara-teknika fototra
1. Fahaiza-mandrefy: singa matrisy Mueller laharana faha-16, spektrum polarisation Psi/Delta, fanondroana refractive, hatevina, birefringence, ary dielectric constant, sns.
2. Faritra misy taratra: 210nm-1690nm
3. Elanelana amin'ny halavan'ny onjam-peo: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm
4. Fotoana fandrefesana teboka tokana: ≤10s
5. Haben'ny teboka bitika: ≤200μm
6. Teknolojian'ny Modulation: Modulation rafitra compensator mihodina roa PCSCA
7. Dingana santionany mandeha ho azy: fifantohana mandeha ho azy amin'ny axe Z, fivezivezena ambony indrindra 18mm, dingana kely indrindra 1µm
8. Fahamarinan'ny famerimberenana ny hatevin'ny sarimihetsika: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, fandrefesana miverimberina 30, kajy ho 1σ)
9. Fahamarinan'ny famerimberenana ny tondro refractive: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, fandrefesana miverimberina 30, kajy ho 1σ)
10. Fahamarinana tanteraka amin'ny hatevin'ny sarimihetsika: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, tatitra momba ny metrolojia avy amin'ny antoko fahatelo nomena)
11. Asa fanaovana sarintany: Mampiasa dingana fanaovana scan mandeha ho azy karazana x/y avo lenta, manohana ny fametrahana sy fandrefesana ny toerana sy ny scan mandeha ho azy amin'ny substrates 2/4/6/8-inch, fahamarinan'ny famerimberenana ≤6μm, famoronana sarintany fizarana hatevin'ny sarimihetsika 2D/3D amin'ny tsindry iray monja.
12. Fandrindrana sy fifantohana amin'ny laser: Fametrahana ny halavan'ny fifantohana mandeha ho azy amin'ny alàlan'ny lalan'ny taratra optika laser, ny fivezivezen'ny fifantohana ≤3mm
13. Modely fahasamihafana: Mikajy ho azy ny angon-drakitra fahasamihafana psi-diff sy delta-diff
14. Rindrambaiko famakafakana: Manana fomba fandrefesana 5 samihafa farafahakeliny, tahiry n/k namboarina ho an'ny fitaovana optika mihoatra ny 100, ary manohana ny famoronana tahiry manokana; manana fahaiza-manao fanandramana sy famakafakana modely ho an'ny sarimihetsika manify mifandimby sosona tokana, sosona maro (hatramin'ny sosona 30), ary mifangaro, anisan'izany ny modely cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, ary Oscillator, ary manohana ny fahazoan-dàlana rindrambaiko ivelan'ny aterineto.
Fepetra ara-teknika
I. Fampidirana ny fitaovana
Ny ME-Mapping Spectroellipsometry dia manasongadina teknolojia modulation compensator fihodinana roa miaraka amin'ny algorithm famakafakana angon-drakitra avo lenta. Afaka mahazo ireo singa 16 rehetra amin'ny matrix Mueller feno sy ny spectrum polarization amin'ny fandrefesana tokana izy io, ahafahana mandrefy santionany haingana sy tsy manimba. Mirehareha amin'ny endrika lalana optika marin-toerana ity fitaovana ity ary mampiasa detector semiconductor-cooled, izay mahazo ny famantarana ny hamafin'ny hazavana ao anatin'ny segondra vitsy. Manolotra hafainganam-pandeha fandrefesana haingana kokoa sy fahamarinan-toerana ambony kokoa izy io, manohana ny fandrefesana marina ny masontsivana toy ny hatevina, ny index refractive, ny coefficient extinction, ary ny optical dielectric constant ho an'ny fitaovana sarimihetsika manify isan-karazany. Ankoatra izany, azo amboarina amin'ny "wafer repeatable positioning stages" samihafa habe ho an'ny fandrefesana ny scanning multi-point mapping amin'ny santionany lehibe isan-karazany.
II. Sehatry ny fampiharana
Ny ellipsometrists dia ampiasaina indrindra amin'ny semiconductors, fampisehoana fisaka, photovoltaics amin'ny masoandro, sarimihetsika manify optika, fifandraisana optika, ary nanomaterials.
III. Fepetra ara-teknika ankapobeny
1. Famaritana ara-teknika:
1.1 Masontsivana fandrefesana: singa matrisy Mueller laharana faha-16, Psi/Delta, fanondroana refractive, hatevina, birefringence, ary dielectric constant, sns.
1.2 Faritra misy taratra: 210nm-1690nm;
1.3 Fotoana fandrefesana teboka tokana: ≤10s;
1.4 Haben'ny teboka bitika: ≤200μm;
1.5 Teknolojian'ny Modulation: PC1SCA dual rotation compensation modulation;
1.6 Dingana santionany mandeha ho azy: Manohana ny fifantohana mandeha ho azy amin'ny axe-z, ny dia ambony indrindra dia 18mm, ny dingana kely indrindra dia 1μm;
1.7 Fahamarinan'ny famerimberenana ny hatevin'ny sarimihetsika: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, fandrefesana miverimberina 30, kajy 1σ);
1.8 Fahamarinan'ny famerimberenana ny tondro refractive: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, fandrefesana miverimberina 30, kajy 1σ);
1.9 Fahamarinan'ny hatevin'ny sarimihetsika tanteraka: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, tatitra momba ny metrolojia avy amin'ny antoko fahatelo nomena); μm
1.10 Asa fanaovana sarintany: Mampiasa dingana fanaovana scan mandeha ho azy karazana x/y avo lenta, manohana ny fametrahana sy fandrefesana ny scan mandeha ho azy amin'ny substrates 2/4/6/8-inch, miaraka amin'ny fahamarinan'ny famerimberenana ≤6μm, ary famoronana sarintany fizarana hatevin'ny sarimihetsika 2D/3D amin'ny tsindry iray monja;
1.11 Fahitana elanelana sy fifantohana amin'ny laser: Mametraka ho azy ny halavan'ny fifantohana amin'ny alàlan'ny lalan'ny taratra optika amin'ny laser, miaraka amin'ny dia fitadiavana fifantohana ≤3mm;
1.12 Fandrefesana ny hatevin'ny sarimihetsika: 1nm-10μm;
1.13 Modely Fahasamihafana: Mikajy ho azy ny angon-drakitra momba ny fahasamihafan'ny psi-diff sy delta-diff;
1.14 Rindrambaiko famakafakana:
* Fahaiza-mandrefy spektroskopika: singa 16 amin'ny matrisin'i Mueller feno, spektroskopia polarisation Psi/Delta, N/C/S, depolarization, sns.;
* Fahaiza-manao famakafakana angon-drakitra: Afaka mamakafaka ny hateviny sy ny tsy miovaova optika (n, k) amin'ny fitaovana sarimihetsika manify isotropic sy anisotropic misy sosona tokana sy maro (hatramin'ny sosona 20);
* Manohana modely ho an'ny tsy miovaova optika, ny fizarazarana gradient amin'ny fanondroana refractive, ny media mitovy, ny harafesina, sns., amin'ny sarimihetsika manify misy singa maro sy ny fitaovana betsaka;
* Manohana ireo modely tsy miovaova optika mahazatra sy ireo modely oscillator mahazatra (modely Cauchy, modely Lorentz, modely Gaussian, Drude, Sellmeier, sns.), ary manohana ny fampifanarahana modely hybrid multi-oscillator grafika;
* Manohana ny famoahana sary topografika 2D/3D, fijerena angon-drakitra ara-tantara, ary fanondranana sy fanitsiana angon-drakitra sy tatitra mifandraika amin'izany;
* Endrika famoahana angona: TXT, CSV, SNAP snapshot, raw spectrum, DAT, sns.;
* Manohana ny fandrefesana ny fahatarana dingana, afaka mizaha toetra ny fahatarana dingana, ny zoro azimuth, ny zoro fihodinana optika, ny tahan'ny amplitude, ny filaminana, sns.;
* Manana asa famakafakana sy fanaovana modely ara-potoana 1D/2D amin'ny rafitra harato.
2. Lisitry ny fikirakirana:
1) Andiany iray amin'ny singa fototra ellipsometer;
2) Seta iray avy amin'ny sandrin'ny ellipsometry sy ny sandrin'ny mpandinika;
3) Andiany iray amin'ny dingana santionany mandeha ho azy;
4) Andiany iray amin'ny rindrambaiko famakafakana;
5) Andiany iray amin'ireo sary mihetsika mahazatra;
6) Solosaina iray;
7) Fitaovana iray hanalana olana;
8) Andiany iray amin'ny fivorian'ny micro-spot;
9) Paompy adsorption banga iray;
10) Dingana iray amin'ny fandinihana ny sarintany.
3. Solosaina fandrefesana sy fanaraha-maso
Mampiasa solosaina ara-barotra indostrialy miaraka amin'ny rafitra fiasana Windows 10; CPU: processeur i7; Fahatsiarovana: 15GB; Kapila mafy: 1TB; Monitor LCD: 24-inch; misy totozy sy fitendry.
4. Fepetra takiana amin'ny tontolo iainana sy ny herinaratra:
1) Fepetra takiana amin'ny sehatra: 2.0m (halavany) x 1.2m (sakany), fahafaha-mamokatra mihoatra ny 100kg (soso-kevitra ny fampiasana "optical vibration isolation").
2) Elanelana mari-pana miasa: 20~30°C
3) Hamandoana mifandraika: 35%~60%RH
4) Voltazy famatsiana herinaratra: 220VAC
5) Courant phase: latsaky ny 4A (220VAC) ny sandan'ny RMS;
6) Hery ambony indrindra: 800W
Zavatra fandrefesana elipsômetria
Fitsipiky ny fandrefesana ny elipsômetria
Dingana famakafakana elipsômetria
Ellipsometrika Matrisin'i Muller
Ellipsometrika Matrisin'i ME-L Mueller
Ellipsometrie matrisa Mueller mandeha ho azy tanteraka sy avo lenta araka ny fikarohana
Teknolojia fanitsiana zoro sy fifantohana mandeha ho azy tanteraka, fandrefesana haingana amin'ny tsindry iray monja
Interface interactive ho an'ny olombelona sy ny milina tarihin'ny mpitarika, traikefa amin'ny fampiasana rindrambaiko mety
Tahiry angon-drakitra manan-karena sy tranomboky modely algorithm, fahaiza-manao famakafakana angon-drakitra mahery vaika
Fepetra ara-teknika
| Laharana modely | ME-L |
| Fampiharana | Kilasy Fikarohana/Orinasa |
| Asa fototra | Psi/Delta, R/T, Mueller Matrix, ary sensor optika hafa |
| Famakafakana Spektrum | 380-1000nm (manohana ny fanitarana hatramin'ny 193-2500nm) |
| Fotoana fandrefesana tokana | ≤15s |
| Fahamarinan'ny fandrefesana ny famerimberenana | 0.005nm |
| Fahamarinana tanteraka (Fandrefesana rivotra amin'ny alalan'ny fandrefesana) | Paramètres ellipsométriques: 4 = 45 ± 0.05°, A = 0 ± 0.1° Matrisin'i Muller: Singa mitongilana m = 10.005 Singa tsy mitongilana m = 0 ± 0.005 |
| Fahamarinan'ny famerimberenana ny tondro refractive | 0.0005 |
| Haben'ny teboka | Haben'ny teboka lehibe: 2-4 mm Haben'ny teboka kely: 200 μm/100 μm Haben'ny teboka kely dia kely: 50 μm (miankina amin'ny halavan'ny onjam-peo) |
Ny mari-pamantarana ny fahamarinan'ny famerimberenana dia mifototra amin'ny fandrefesana azo averina in-30 amin'ny santionany mahazatra SiO2/Si 100nm;
Mifandraika amin'ny môdely sy ny kojakoja tena izy ny masontsivana ara-teknika manokan'ny fitaovana, ary ny angon-drakitra ao amin'ny tabilao dia ho an'ny fanondroana fotsiny ihany.
Fikirana azo isafidianana
| Fifantenana tarika | VN: 380-1650nm |
| V: 380-1000nm | Firenena Mikambana: 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | UN+: 210-2500nm |
| DUV: 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
Fifantenana zoro
Voafaritra: 65°
Mandeha ho azy: 45-90°
Fiolahana tanana: 45-90° (fitomboana 5°)
Safidy hafa
Safidy amin'ny Sarintany: 100*100mm/200*200mm
Dingana fanaraha-maso ny mari-pana: 190-550°C/RT-1000°C
Momba anay
Mombamomba ny orinasa
Nahoana no misafidy anay
FAQ
F1: Iza moa isika?
A1: Niorina tamin'ny taona 2015, ny MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd dia nitombo hatrany ary nahazo ny mari-pahaizana Rheinland ISO 9001.
Fanamarinana. Miaraka amin'ny foibe fikosoham-bary SACCKE avo lenta alemana, ny foibe fanaraha-maso fitaovana ZOLLER enina alemana, ny milina PALMARY Taiwan ary fitaovana famokarana mandroso iraisam-pirenena hafa, dia manolo-tena hamokatra fitaovana CNC avo lenta, matihanina ary mahomby izahay.
Q2: Orinasa mpivarotra sa mpanamboatra ve ianao?
A2: Izahay no orinasa mpanao fitaovana karbida.
F3: Afaka mandefa vokatra any amin'ny Forwarder anay any Shina ve ianao?
A3: Eny, raha manana Forwarder any Shina ianao, dia faly izahay handefa vokatra any aminy.
F4: Inona avy ireo fepetra fandoavam-bola azo ekena?
A4: Matetika izahay dia manaiky T/T.
F5: Manaiky baiko OEM ve ianao?
A5: Eny, misy ny OEM sy ny fanamboarana manokana, ary manome serivisy fanontana marika ihany koa izahay.
F6: Nahoana ianao no tokony hisafidy anay?
A6:1) Fanaraha-maso ny vidiny - fividianana vokatra avo lenta amin'ny vidiny mirary.
2) Valiny haingana - ao anatin'ny 48 ora, ny mpiasa matihanina dia hanome anao tombam-bidy ary hamaly ny ahiahinao.
3) Kalitao avo lenta - Manaporofo amin-kitsimpo foana ny orinasa fa avo lenta 100% ny vokatra atolony.
4) Serivisy aorian'ny varotra sy tari-dalana ara-teknika - Manome serivisy aorian'ny varotra sy tari-dalana ara-teknika araka ny filàn'ny mpanjifa ny orinasa.
Alefaso aminay ny hafatrao:
-
Lohataona 3C avo lenta sy feno lavaka boribory...
-
Fandavahana CNC Morse Drill Chuck R8 Shank Arbors M...
-
MTA-GT BT-GT NT-GT Fitoeran-fitaovana fikitihana
-
Fandrefesana Sary Optika 2.5D Mandeha ho azy avo lenta...
-
MORSE TAPER COLLET CHUCK ER
-
Fitaovana fanodinana milina fanodinana R8-ER32 Collet Chuc...
