Эллипсометри спектроскопии дақиқи баланд | Системаи андозагирии ғафсии плёнкаи тунуки ғайривайронкунанда ва нишондиҳандаи шикаст

Барномаҳо

Ин система дар истеҳсоли нимноқилҳо, пӯшиши оптикӣ, дисплейҳои панелҳои ҳамвор, таҳияи фотоэлектрикӣ (батареяҳои офтобӣ), таҳқиқоти илми мавод ва биосенсорӣ ба таври васеъ истифода мешавад.

Чаро роҳи ҳалли моро интихоб кунед

Ҳамчун истеҳсолкунандаи касбӣ бо имкониятҳои қавии R&D, мо нархгузории мустақими корхона, конфигуратсияҳои танзимшаванда ва дастгирии техникии махсусро пешниҳод менамоем. Новобаста аз он ки ба шумо системаи мизи корӣ барои таҳлили лабораторӣ ё ҳалли дохилӣ барои мониторинги истеҳсолот лозим аст, мо метавонем асбобро мувофиқи ниёзҳои мушаххаси андозагирии шумо мутобиқ созем.

Дархости нархнома

Барои муҳокимаи дархости худ ё дархост кардани нархнома имрӯз бо мо тамос гиред. Дастаи мо машварати ройгони техникӣ пешниҳод мекунад, то ба шумо дар интихоби беҳтарин роҳи ҳалли андозагирии плёнкаи тунук кумак кунад.

Параметрҳои асосии техникӣ

1. Имкониятҳои ченкунӣ: унсурҳои матритсаи Мюллер дар тартиби 16-ум, спектри поляризатсияи Psi/Delta, нишондиҳандаи шикаст, ғафсӣ, душикастагӣ ва доимии диэлектрикӣ ва ғайра.

2. Диапазони спектралӣ: 210nm-1690nm

3. Фосилаи дарозии мавҷ: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Вақти ченкунии якнуқтаӣ: ≤10s

5. Андозаи микронуқта: ≤200μm

6. Технологияи модулятсия: модулятсияи системаи компенсатории дугонаи гардиши PCSCA

7. Марҳилаи намунавии худкор: фокуси худкори меҳвари Z, ҳаракати максималӣ 18 мм, қадами ҳадди ақал 1µm

8. Дақиқии такроршавандагии ғафсии плёнка: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 андозагирии такрорӣ, ҳамчун 1σ ҳисоб карда шудааст)

9. Дақиқии такроршавандагии нишондиҳандаи шикаст: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 андозагирии такрорӣ, ҳамчун 1σ ҳисоб карда шудааст)

10. Дақиқии ғафсии мутлақи плёнка: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, гузориши метрологии тарафи сеюм пешниҳод шудааст)

11. Функсияи харитасозӣ: Марҳилаи сканкунии автоматии навъи x/y-и дақиқро истифода мебарад, ҷойгиркунии автоматӣ ва андозагирии сканкунии субстратҳои 2/4/6/8 дюймро дастгирӣ мекунад, дақиқии такрорӣ ≤6μm, тавлиди як клик харитаҳои тақсимоти ғафсии филми 2D/3D бо истифода аз

12. Масофагирӣ ва фокускунии лазерӣ: Ҷойгиркунии худкори масофаи фокусӣ тавассути роҳи оптикии инъикоси лазерӣ, ҳаракати фокусӣ ≤3 мм

13. Модели фарқият: Маълумоти фарқияти psi-diff ва delta-diff-ро ба таври худкор ҳисоб мекунад

14. Нармафзори таҳлил: дорои ҳадди ақал 5 ҳолати гуногуни андозагирӣ, пойгоҳи додаҳои n/k барои зиёда аз 100 маводи оптикӣ мебошад ва эҷоди пойгоҳи додаҳои фармоиширо дастгирӣ мекунад; дорои имконоти таҳлили санҷиш ва моделсозӣ барои плёнкаҳои тунуки якқабата, бисёрқабата (то 30 қабат) ва таркибии алтернативӣ, аз ҷумла моделҳои коши, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline ва Oscillator мебошад ва иҷозатномадиҳии нармафзори офлайнро дастгирӣ мекунад.

Хусусиятҳои техникӣ

I. Муқаддимаи таҷҳизот

Спектроэллипсометрияи ME-Mapping дорои технологияи модулятсияи компенсатори дукаратаи гардиш дар якҷоягӣ бо алгоритмҳои таҳлили маълумоти дақиқи баланд мебошад. Он метавонад ҳамаи 16 унсури матритсаи пурраи Мюллер ва спектри поляризатсияро дар як андозагирӣ ба даст орад, ки имкон медиҳад ченкунии босуръат ва ғайривайронкунандаи намуна имконпазир гардад. Асбоб дорои тарҳи устувори роҳи оптикӣ буда, детектори хунуккунандаи нимноқилро истифода мебарад ва сигналҳои шиддати рӯшноиро дар давоми сонияҳо ба даст меорад. Он суръати ченкунии тезтар ва дақиқии баландтарро пешниҳод мекунад, ки ченкунии дақиқи параметрҳо ба монанди ғафсӣ, нишондиҳандаи шикаст, коэффитсиенти хомӯшшавӣ ва доимии диэлектрикии оптикиро барои маводҳои гуногуни плёнкаи тунук дастгирӣ мекунад. Ғайр аз ин, онро бо "марҳилаҳои ҷойгиркунии такроршавандаи вафл"-и андозаҳои гуногун барои андозагириҳои сканкунии харитасозии бисёрнуқтаӣ аз намунаҳои гуногуни андозаи калон танзим кардан мумкин аст.