Nákvæm litrófssjár sporbaugsmælir | Óskemmandi þunnfilmuþykktar- og ljósbrotsstuðulsmælingarkerfi

Umsóknir

Þetta kerfi er mikið notað í framleiðslu hálfleiðara, ljóshúðun, flatskjám, þróun sólarsella, rannsóknum í efnisvísindum og lífskynjun.

Af hverju að velja lausn okkar

Sem faglegur framleiðandi með sterka rannsóknar- og þróunargetu bjóðum við upp á verð beint frá verksmiðju, sérsniðnar stillingar og sérstaka tæknilega aðstoð. Hvort sem þú þarft borðbúnað fyrir greiningar á rannsóknarstofu eða lausn í línu fyrir framleiðslueftirlit, getum við sérsniðið tækið að þínum sérstöku mælingaþörfum.

Óska eftir tilboði

Hafðu samband við okkur í dag til að ræða umsókn þína eða fá tilboð. Teymið okkar býður upp á ókeypis tæknilega ráðgjöf til að hjálpa þér að velja bestu lausnina fyrir þunnfilmumælingar.

Helstu tæknilegar breytur

1. Mælimöguleikar: Mueller fylkisþættir af 16. röð, pólunarróf Psi/Delta, ljósbrotsstuðull, þykkt, tvíbrot og rafsvörunarstuðull o.s.frv.

2. Litrófssvið: 210nm-1690nm

3. Bylgjulengdarbil: ≤0,8 nm@210-1000 nm, ≤3,5 nm@1000-1690 nm

4. Mælingartími á einum punkti: ≤10s

5. Stærð örbletta: ≤200μm

6. Mótunartækni: PCSCA tvöföld snúningsjöfnunarkerfismótun

7. Sjálfvirkt sýnatökustig: Sjálfvirk fókusering á Z-ás, hámarksferð 18 mm, lágmarksþrep 1 µm

8. Endurtekningarnákvæmni filmuþykktar: ≤0,005 nm (100 nm SiO2/Si, 30 endurteknar mælingar, reiknaðar sem 1σ)

9. Endurtekningarnákvæmni brotstuðuls: ≤0,0002 (100nm SiO2/Si, 30 endurteknar mælingar, reiknað sem 1σ)

10. Nákvæmni algildrar filmuþykktar: ≤0,5% (100nm SiO2/Si, mælifræðiskýrsla frá þriðja aðila veitt)

11. Kortlagningaraðgerð: Notar sjálfvirkt skönnunarstig af gerðinni x/y með mikilli nákvæmni, styður sjálfvirka staðsetningu og skönnunarmælingu á 2/4/6/8 tommu undirlögum, endurtekningarnákvæmni ≤6μm, myndun 2D/3D filmuþykktardreifingarkorta með einum smelli.

12. Leysisviðmiðun og fókus: Sjálfvirk brennivíddarstaðsetning með leysigeislaspeglunarleið, fókusferð ≤3 mm

13. Mismunarlíkan: Reiknar sjálfkrafa út psi-mismun og delta-mismunarmismunargögn

14. Greiningarhugbúnaður: Inniheldur að minnsta kosti 5 mismunandi mælistillingar, innbyggðan n/k gagnagrunn fyrir yfir 100 ljósfræðileg efni og styður gerð sérsniðinna gagnagrunna; býr yfir prófunar- og líkanagreiningargetu fyrir einlags-, fjöllags- (allt að 30 lög) og samsettar víxlþunnfilmur, þar á meðal Cauchy-, Sellmeier-, Tauc-Lorentz-, Bspline- og Oscillator-líkön, og styður leyfisveitingar fyrir hugbúnað án nettengingar.

Tæknilegar upplýsingar

I. Kynning á búnaði

ME-Mapping litrófsgreiningartækið notar tvíþætta snúningsjöfnunartækni ásamt nákvæmum gagnagreiningarreikniritum. Það getur aflað sér allra 16 þátta alls Mueller fylkisins og pólunarrófsins í einni mælingu, sem gerir kleift að framkvæma hraða og skaðlausa sýnismælingu. Tækið státar af stöðugri ljósleiðarhönnun og notar hálfleiðarakældan skynjara sem aflar ljósstyrksmerkja á nokkrum sekúndum. Það býður upp á hraðari mælingarhraða og meiri nákvæmni, sem styður nákvæma mælingu á breytum eins og þykkt, ljósbrotsstuðli, slokknunarstuðli og ljósleiðarstuðli fyrir ýmis þunnfilmuefni. Ennfremur er hægt að aðlaga það með mismunandi stærðum af „endurteknum staðsetningarstigum fyrir skífur“ fyrir fjölpunkta kortlagningarskönnunarmælingar á ýmsum stórum sýnum.