উচ্চ নির্ভুলতা সম্পন্ন স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার | অবিনাশী পাতলা ফিল্মের পুরুত্ব ও প্রতিসরাঙ্ক পরিমাপ ব্যবস্থা

অ্যাপ্লিকেশন

এই সিস্টেমটি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন, অপটিক্যাল কোটিং, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, ফটোভোল্টাইক (সৌর কোষ) উন্নয়ন, পদার্থ বিজ্ঞান গবেষণা এবং বায়োসেন্সিং-এ ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

কেন আমাদের সমাধান বেছে নেবেন

শক্তিশালী গবেষণা ও উন্নয়ন (R&D) সক্ষমতা সম্পন্ন একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক হিসেবে, আমরা সরাসরি কারখানা থেকে মূল্য, কাস্টমাইজযোগ্য কনফিগারেশন এবং নিবেদিত কারিগরি সহায়তা প্রদান করি। আপনার পরীক্ষাগার বিশ্লেষণের জন্য একটি বেঞ্চটপ সিস্টেম বা উৎপাদন পর্যবেক্ষণের জন্য একটি ইন-লাইন সলিউশন, যা-ই প্রয়োজন হোক না কেন, আমরা আপনার নির্দিষ্ট পরিমাপের চাহিদা অনুযায়ী যন্ত্রটি তৈরি করে দিতে পারি।

উদ্ধৃতির জন্য অনুরোধ করুন

আপনার অ্যাপ্লিকেশন নিয়ে আলোচনা করতে বা মূল্য উদ্ধৃতির জন্য অনুরোধ করতে আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন। সর্বোত্তম থিন ফিল্ম পরিমাপ সমাধান বেছে নিতে সাহায্য করার জন্য আমাদের টিম বিনামূল্যে প্রযুক্তিগত পরামর্শ প্রদান করে।

প্রধান প্রযুক্তিগত পরামিতি

১. পরিমাপের সক্ষমতা: ১৬তম ক্রমের মুলার ম্যাট্রিক্স এলিমেন্টস, পোলারাইজেশন স্পেকট্রাম সাই/ডেল্টা, প্রতিসরাঙ্ক, পুরুত্ব, বাইরিফ্রিঞ্জেন্স এবং ডাইইলেকট্রিক কনস্ট্যান্ট, ইত্যাদি।

২. বর্ণালী পরিসর: ২১০nm-১৬৯০nm

৩. তরঙ্গদৈর্ঘ্যের ব্যবধান: ≤০.৮nm@২১০-১০০০nm, ≤৩.৫nm@১০০০-১৬৯০nm

৪. একক-বিন্দু পরিমাপের সময়: ≤১০ সেকেন্ড

৫. মাইক্রো-স্পটের আকার: ≤২০০μm

৬. মডুলেশন প্রযুক্তি: পিসিএসসিএ ডুয়াল রোটারি কম্পেনসেটর সিস্টেম মডুলেশন

৭. স্বয়ংক্রিয় স্যাম্পল স্টেজ: Z-অক্ষ বরাবর স্বয়ংক্রিয় ফোকাসিং, সর্বোচ্চ সরণ ১৮ মিমি, সর্বনিম্ন ধাপ ১ মাইক্রোমিটার

৮. ফিল্মের পুরুত্বের পুনরাবৃত্তির নির্ভুলতা: ≤০.০০৫ ন্যানোমিটার (১০০ ন্যানোমিটার SiO2/Si, ৩০ বার পুনরাবৃত্ত পরিমাপ, ১σ হিসাবে গণনাকৃত)

৯. প্রতিসরাঙ্ক পুনরাবৃত্তি নির্ভুলতা: ≤০.০০০২ (১০০nm SiO2/Si, ৩০ বার পুনরাবৃত্ত পরিমাপ, ১σ হিসাবে গণনাকৃত)

১০. ফিল্মের পুরুত্বের নিখুঁত নির্ভুলতা: ≤০.৫% (১০০nm SiO2/Si, তৃতীয় পক্ষের মেট্রোলজি রিপোর্ট প্রদত্ত)

১১. ম্যাপিং ফাংশন: একটি উচ্চ-নির্ভুল x/y টাইপ স্বয়ংক্রিয় স্ক্যানিং স্টেজ ব্যবহার করে, যা ২/৪/৬/৮-ইঞ্চি সাবস্ট্রেটের স্বয়ংক্রিয় পজিশনিং এবং স্ক্যানিং পরিমাপ সমর্থন করে, পুনরাবৃত্তির নির্ভুলতা ≤৬μm এবং এক ক্লিকে ২ডি/৩ডি ফিল্মের পুরুত্ব বন্টন ম্যাপ তৈরি করে।

১২. লেজার রেঞ্জিং ও ফোকাসিং: লেজার প্রতিফলন অপটিক্যাল পথের মাধ্যমে স্বয়ংক্রিয় ফোকাল লেংথ পজিশনিং, ফোকাসিং ট্র্যাভেল ≤৩ মিমি

১৩. পার্থক্য মডেল: স্বয়ংক্রিয়ভাবে পিএসআই-ডিফ এবং ডেল্টা-ডিফ পার্থক্য ডেটা গণনা করে

১৪. বিশ্লেষণ সফটওয়্যার: এতে কমপক্ষে ৫টি ভিন্ন পরিমাপ মোড, ১০০টিরও বেশি অপটিক্যাল উপাদানের জন্য একটি বিল্ট-ইন এন/কে ডেটাবেস রয়েছে এবং এটি কাস্টম ডেটাবেস তৈরি করতে সহায়তা করে; এতে একক-স্তর, বহু-স্তর (৩০ স্তর পর্যন্ত), এবং যৌগিক পর্যায়ক্রমিক পাতলা ফিল্মের জন্য পরীক্ষা ও মডেলিং বিশ্লেষণের সক্ষমতা রয়েছে, যার মধ্যে কশি, সেলমেয়ার, টক-লরেন্টজ, বি-স্প্লাইন, এবং অসিলেটর মডেল অন্তর্ভুক্ত, এবং এটি অফলাইন সফটওয়্যার লাইসেন্সিং সমর্থন করে।

প্রযুক্তিগত বিবরণ

১. সরঞ্জাম পরিচিতি

এমই-ম্যাপিং স্পেকট্রোইলিপসোমেট্রিতে উচ্চ-নির্ভুল ডেটা বিশ্লেষণ অ্যালগরিদমের সাথে মিলিত ডুয়াল-রোটেশন কম্পেনসেটর মডুলেশন প্রযুক্তি রয়েছে। এটি একটি একক পরিমাপে সম্পূর্ণ মুলার ম্যাট্রিক্সের সমস্ত ১৬টি উপাদান এবং পোলারাইজেশন স্পেকট্রাম অর্জন করতে পারে, যা দ্রুত এবং অ-ধ্বংসাত্মক নমুনা পরিমাপ সক্ষম করে। যন্ত্রটিতে একটি স্থিতিশীল অপটিক্যাল পাথ ডিজাইন রয়েছে এবং এটি একটি সেমিকন্ডাক্টর-শীতল ডিটেক্টর ব্যবহার করে, যা কয়েক সেকেন্ডের মধ্যে আলোর তীব্রতার সংকেত অর্জন করে। এটি দ্রুততর পরিমাপের গতি এবং উচ্চতর নির্ভুলতা প্রদান করে, যা বিভিন্ন পাতলা ফিল্ম উপাদানের জন্য পুরুত্ব, প্রতিসরাঙ্ক, বিলোপ গুণাঙ্ক এবং অপটিক্যাল ডাইইলেকট্রিক ধ্রুবকের মতো প্যারামিটারগুলির সঠিক পরিমাপ সমর্থন করে। অধিকন্তু, বিভিন্ন বড় আকারের নমুনার মাল্টি-পয়েন্ট ম্যাপিং স্ক্যানিং পরিমাপের জন্য এটিকে বিভিন্ন আকারের "ওয়েফার রিপিটেবল পজিশনিং স্টেজ" দিয়ে কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।