Ellipsometer Spectroscopic Maualuga le Sa'o | Faiga e Fuafua ai le Mafiafia o Ata Tifaga Manifi e Le Fa'aleagaina ma le Fa'asinomaga Fa'afo'i

Talosaga

O lenei faiga ua faʻaaogaina lautele i le gaosiga o semiconductor, ufiufi opitika, faʻaaliga laupapa mafolafola, atinaʻeina o photovoltaic (solar cell), suʻesuʻega o meafaitino, ma le biosensing.

Aiseā e Filifili ai La Matou Fofo

I le avea ai ma se kamupani gaosi oloa fa'apolofesa e iai tomai malolosi i le R&D, matou te ofoina atu tau fa'atatau sa'o mai le falegaosimea, fa'atulagaga e mafai ona fetu'una'i, ma le lagolago fa'apitoa fa'apitoa. Pe e te mana'omia se faiga fa'atulagaina mo su'esu'ega i le fale su'esu'e po'o se fofo i totonu mo le mata'ituina o le gaosiga, e mafai ona matou fa'atulagaina le meafaigaluega i ou mana'oga fa'apitoa mo le fuaina.

Talosaga mo se Tau

Fa'afeso'ota'i matou i le asō e talanoaina lau talosaga pe talosaga mo se tau. E tu'uina atu e le matou 'au ni fautuaga fa'apitoa e aunoa ma se totogi e fesoasoani ia te oe e filifili ai le fofo sili ona lelei mo le fuaina o le ata manifinifi.

Fa'atulagaga Fa'atekinolosi Autū

1. Tomai e Fuafua ai: 16th order Mueller matrix elements, polarization spectrum Psi/Delta, refractive index, thickness, birefringence, ma dielectric constant, ma isi.

2. Fa'asalalauga Fa'apitoa: 210nm-1690nm

3. Vaeluaina o le Umi o le Galu: ≤0.8nm@210-1000nm, ≤3.5nm@1000-1690nm

4. Taimi e Fuafua ai le Point e Tasi: ≤10s

5. Tele o le Micro-spot: ≤200μm

6. Tekonolosi Fa'asa'o: Fa'asa'o o le faiga fa'apaleni fa'alua a le PCSCA

7. Vaega Fa'ata'ita'i Otometi: Taula'i otometi Z-axis, femalagaa'iga maualuga 18mm, la'asaga maualalo 1µm

8. Sa'o le toe faia o le mafiafia o le ata tifaga: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si, 30 fua fa'atatau, fuafuaina e pei o le 1σ)

9. Sa'o le toe fai o le fa'asinomaga o le fa'ata'ita'iga: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si, 30 fua fa'atatau, fuafuaina e pei o le 1σ)

10. Sa'o atoatoa le mafiafia o le ata tifaga: ≤0.5% (100nm SiO2/Si, lipoti o fua fa'atatau a isi vaega ua saunia)

11. Galuega fa'afanua: Fa'aaogaina se la'asaga su'esu'ega otometi ituaiga x/y e maualuga le sa'o, lagolagoina le fuaina o le tulaga otometi ma le su'esu'eina o le 2/4/6/8-inisi substrates, sa'o toe fai ≤6μm, fatuina o le tasi-kiliki o fa'afanua tufatufaina o le mafiafia o ata tifaga 2D/3D

12. Fa'atulagaina ma le taula'i atu o le laser: Fa'atulagaina otometi o le umi o le taula'i e ala i le auala opitika o le atagia o le laser, ma le femalagaa'i o le taula'i ≤3mm

13. Fa'ata'ita'iga o eseesega: Fa'atatauina otometi fa'amaumauga o eseesega psi-diff ma delta-diff

14. Polokalama fa'akomepiuta mo su'esu'ega: E iai le itiiti ifo ma le 5 auala eseese e fuaina ai, o se fa'amaumauga n/k ua fausia i totonu mo le silia ma le 100 mea fa'apitoa, ma lagolagoina le fatuina o fa'amaumauga fa'apitoa; e iai le gafatia e su'e ai ma fa'ata'ita'i ai au'ili'iliga mo vaega e tasi, vaega e tele (e o'o atu i le 30 vaega), ma ata manifinifi tu'ufa'atasi e fesuia'i, e aofia ai fa'ata'ita'iga o cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, ma Oscillator, ma lagolagoina le laiseneina o polokalama faakomepiuta e le o luga o le initaneti.

Fa'amatalaga Fa'apitoa

I. Fa'atomuaga o Meafaigaluega

O le ME-Mapping Spectroellipsometry o loʻo i ai le tekinolosi faʻatonutonuina o le faʻataʻamilosaga lua e tuʻufaʻatasia ma algorithms auʻiliʻiliga faʻamaumauga maualuga-saʻo. E mafai ona maua uma elemene e 16 o le matrix atoa o le Mueller ma le polarization spectrum i le fuaina e tasi, e mafai ai ona fuaina vave ma e le faʻaleagaina faʻataʻitaʻiga. E mitamita le meafaigaluega i se mamanu opitika mautu ma faʻaaogaina se masini suʻesuʻe semiconductor-cooled, e maua ai faʻailoilo o le malosi o le malamalama i totonu o sekone. E ofoina atu le saoasaoa o le fuaina vave ma le saʻo maualuga, e lagolagoina ai le fuaina saʻo o parakalafa e pei o le mafiafia, faʻasino faʻasino, faʻaitiitiga o le extinction, ma le optical dielectric constant mo meafaitino manifinifi eseese. E le gata i lea, e mafai ona faʻapitoa i "wafer repeatable positioning stages" eseese mo le fuaina o le tele-point mapping scanning o faʻataʻitaʻiga tetele eseese.