مقياس الإهليلجية الطيفي عالي الدقة | نظام قياس سمك الأغشية الرقيقة ومعامل الانكسار بطريقة غير مدمرة
تعليمات الطلب
نظراً لطبيعة المنتج الخاصة، فإن السعر المعروض على الصفحة هو سعر مبدئي وليس السعر النهائي. يرجى التواصل مع خدمة العملاء للحصول على عرض سعر.
لا يمكن شحن الطلبات التي يتم تقديمها مباشرةً دون التواصل المسبق! شكرًا لتعاونكم! لمزيد من المعلومات حول المنتجات، يُرجى التواصل مع خدمة العملاء للحصول على كتيبات المنتجات.
القياسات الرئيسية
سُمك الفيلم (من طبقة واحدة إلى عدة طبقات)
معامل الانكسار (n) ومعامل الامتصاص (k)
فجوة النطاق البصري (Eg)
خشونة السطح
أبرز الميزات التقنية
نطاق طيفي واسع: تغطية من الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء القريبة لتحليل المواد متعدد الاستخدامات
حساسية عالية: قادرة على قياس الأغشية الرقيقة للغاية وصولاً إلى مقياس النانومتر الفرعي
غير تلامسي وغير مُتلف: مثالي للعينات الحساسة في بيئات البحث والتطوير والإنتاج
برنامج نمذجة متقدم: يدعم تحليل الطبقات المتعددة المعقدة مع سير عمل سهل الاستخدام.
التطبيقات
يتم اعتماد هذا النظام على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات، والطلاء البصري، وشاشات العرض المسطحة، وتطوير الخلايا الكهروضوئية (الخلايا الشمسية)، وبحوث علوم المواد، والاستشعار البيولوجي.
لماذا تختار حلنا؟
بصفتنا شركة تصنيع محترفة تتمتع بقدرات بحث وتطوير قوية، نقدم أسعارًا تنافسية مباشرة من المصنع، وتكوينات قابلة للتخصيص، ودعمًا فنيًا متخصصًا. سواء كنتم بحاجة إلى نظام مكتبي لتحليل المختبر أو حل متكامل لمراقبة الإنتاج، يمكننا تصميم الجهاز ليناسب احتياجاتكم الخاصة بالقياس.
اطلب عرض سعر
تواصلوا معنا اليوم لمناقشة طلبكم أو لطلب عرض سعر. يقدم فريقنا استشارات فنية مجانية لمساعدتكم في اختيار الحل الأمثل لقياس الأغشية الرقيقة.
المعايير الفنية الرئيسية
1. قدرات القياس: عناصر مصفوفة مولر من الدرجة السادسة عشرة، طيف الاستقطاب Psi/Delta، معامل الانكسار، السماكة، الانكسار المزدوج، وثابت العزل الكهربائي، إلخ.
2. النطاق الطيفي: 210 نانومتر - 1690 نانومتر
3. تباعد الأطوال الموجية: ≤0.8 نانومتر عند 210-1000 نانومتر، ≤3.5 نانومتر عند 1000-1690 نانومتر
4. زمن القياس بنقطة واحدة: ≤10 ثوانٍ
5. حجم البقعة الدقيقة: ≤200 ميكرومتر
6. تقنية التعديل: نظام تعديل المعوض الدوار المزدوج PCSCA
7. منصة أخذ العينات التلقائية: تركيز تلقائي على المحور Z، أقصى مسافة حركة 18 مم، أدنى خطوة 1 ميكرومتر
8. دقة تكرار سمك الفيلم: ≤0.005 نانومتر (100 نانومتر SiO2/Si، 30 قياسًا متكررًا، محسوبة على أنها 1σ)
9. دقة تكرار معامل الانكسار: ≤0.0002 (100 نانومتر SiO2/Si، 30 قياسًا متكررًا، محسوبة كـ 1σ)
10. دقة سمك الفيلم المطلق: ≤0.5% (100 نانومتر SiO2/Si، تم تقديم تقرير قياسات من طرف ثالث)
11. وظيفة رسم الخرائط: تستخدم منصة مسح ضوئي أوتوماتيكية عالية الدقة من النوع س/ص، وتدعم تحديد المواقع التلقائي وقياس المسح الضوئي للركائز مقاس 2/4/6/8 بوصة، ودقة تكرار ≤6 ميكرومتر، وإنشاء خرائط توزيع سمك الفيلم ثنائية/ثلاثية الأبعاد بنقرة واحدة.
12. تحديد المدى والتركيز بالليزر: تحديد تلقائي للبعد البؤري عبر مسار بصري لانعكاس الليزر، مسافة التركيز ≤ 3 مم
13. نموذج الفرق: يحسب تلقائيًا بيانات فرق بسي ودلتا
14. برنامج التحليل: يتميز بما لا يقل عن 5 أوضاع قياس مختلفة، وقاعدة بيانات n/k مدمجة لأكثر من 100 مادة بصرية، ويدعم إنشاء قواعد بيانات مخصصة؛ يمتلك قدرات تحليل الاختبار والنمذجة للأغشية الرقيقة المتناوبة أحادية الطبقة ومتعددة الطبقات (حتى 30 طبقة) والمركبة، بما في ذلك نماذج كوشي، وسيلميير، وتاوك-لورنتز، وبي سبلاين، والمذبذب، ويدعم ترخيص البرامج دون اتصال بالإنترنت.
المواصفات الفنية
أولاً: مقدمة عن المعدات
يتميز جهاز قياس الاستقطاب الطيفي بتقنية ME-Mapping بتقنية تعديل التعويض ثنائي الدوران، بالإضافة إلى خوارزميات تحليل بيانات عالية الدقة. يستطيع الجهاز الحصول على جميع عناصر مصفوفة مولر الكاملة وطيف الاستقطاب الستة عشر في قياس واحد، مما يتيح قياس العينات بسرعة ودون إتلافها. يتميز الجهاز بتصميم مسار بصري مستقر، ويستخدم كاشفًا مُبردًا بأشباه الموصلات، حيث يحصل على إشارات شدة الضوء في غضون ثوانٍ. يوفر الجهاز سرعة قياس أعلى ودقة أكبر، مما يدعم القياس الدقيق لمعلمات مثل السماكة، ومعامل الانكسار، ومعامل الامتصاص، وثابت العزل الكهربائي البصري لمختلف مواد الأغشية الرقيقة. علاوة على ذلك، يمكن تخصيصه بمراحل تحديد موضع قابلة للتكرار على الرقاقات بأحجام مختلفة لإجراء قياسات مسح متعددة النقاط لعينات كبيرة الحجم.
ثانياً: نطاق التطبيق
تُستخدم أجهزة قياس الاستقطاب الإهليلجي بشكل أساسي في أشباه الموصلات، وشاشات العرض المسطحة، والخلايا الكهروضوئية الشمسية، والأغشية الرقيقة البصرية، والاتصالات البصرية، والمواد النانوية.
ثالثًا: المتطلبات الفنية العامة
1. المواصفات الفنية:
1.1 معلمات القياس: عناصر مصفوفة مولر من الدرجة السادسة عشرة، Psi/Delta، معامل الانكسار، السماكة، الانكسار المزدوج، وثابت العزل الكهربائي، إلخ.
1.2 النطاق الطيفي: 210 نانومتر - 1690 نانومتر؛
1.3 وقت القياس بنقطة واحدة: ≤10 ثانية؛
1.4 حجم البقعة الدقيقة: ≤200 ميكرومتر؛
1.5 تقنية التعديل: تعديل تعويض الدوران المزدوج PC1SCA؛
1.6 مرحلة أخذ العينات التلقائية: تدعم التركيز التلقائي على المحور z، أقصى مسافة حركة 18 مم، الحد الأدنى للخطوة 1 ميكرومتر؛
1.7 دقة تكرار سمك الفيلم: ≤0.005 نانومتر (100 نانومتر SiO2/Si، 30 قياسًا متكررًا، محسوب 1σ)؛
1.8 دقة تكرار معامل الانكسار: ≤0.0002 (100 نانومتر SiO2/Si، 30 قياسًا متكررًا، محسوب 1σ)؛
1.9 دقة قياس سُمك الطبقة المطلقة: ≤0.5% (100 نانومتر SiO2/Si، تقرير قياسات من جهة خارجية مُقدّم)؛ ميكرومتر
1.10 وظيفة رسم الخرائط: تستخدم مرحلة مسح ضوئي تلقائي عالية الدقة من النوع x/y، تدعم تحديد المواقع التلقائي وقياس المسح الضوئي للركائز 2/4/6/8 بوصة، بدقة تكرار ≤6 ميكرومتر، وإنشاء خرائط توزيع سمك الفيلم ثنائية/ثلاثية الأبعاد بنقرة واحدة؛
1.11 تحديد المدى والتركيز بالليزر: يقوم تلقائيًا بتحديد البعد البؤري باستخدام المسار البصري لانعكاس الليزر، مع مسافة بحث عن التركيز ≤3 مم؛
1.12 نطاق قياس سمك الفيلم: 1 نانومتر - 10 ميكرومتر؛
1.13 نموذج الفرق: يقوم تلقائيًا بحساب بيانات الفرق psi-diff و delta-diff؛
1.14 برنامج التحليل:
* قدرات القياس الطيفي: 16 عنصرًا من مصفوفة مولر الكاملة، مطيافية الاستقطاب Psi/Delta، N/C/S، إزالة الاستقطاب، إلخ؛
* قدرات تحليل البيانات: قادر على تحليل سمك وثوابت بصرية (n، k) للمواد الرقيقة المتجانسة وغير المتجانسة أحادية الطبقة ومتعددة الطبقات (حتى 20 طبقة)؛
* يدعم نماذج الثوابت البصرية، وتوزيع تدرج معامل الانكسار، والوسائط المكافئة، والخشونة، وما إلى ذلك، للأغشية الرقيقة متعددة المكونات والمواد الصلبة؛
* يدعم نماذج الثوابت البصرية الشائعة ونماذج المذبذب الشائعة (نموذج كوشي، نموذج لورنتز، نموذج غاوسي، درود، سيلميير، إلخ)، ويدعم تركيب النموذج الهجين متعدد المذبذبات الرسومي؛
* يدعم إخراج الصور الطبوغرافية ثنائية وثلاثية الأبعاد، وعرض البيانات التاريخية، وتصدير البيانات وتحريرها والتقارير المقابلة؛
* تنسيقات إخراج البيانات: TXT، CSV، لقطة SNAP، الطيف الخام، DAT، إلخ؛
* يدعم قياس تأخير الطور، وقادر على اختبار تأخير الطور، وزاوية السمت، وزاوية الدوران البصري، ونسبة السعة، والرتبة، وما إلى ذلك؛
* يمتلك وظائف تحليل ونمذجة الهياكل الشبكية الدورية أحادية وثنائية الأبعاد.
2. قائمة التكوين:
1) مجموعة واحدة من الوحدة الرئيسية لجهاز قياس الإهليلجية؛
2) مجموعة واحدة لكل من ذراع قياس الإهليلجية وذراع المحلل؛
3) مجموعة واحدة من مرحلة أخذ العينات التلقائية؛
4) مجموعة واحدة من برامج التحليل؛
5) مجموعة واحدة من الشرائح القياسية؛
6) جهاز كمبيوتر واحد؛
7) مجموعة واحدة من أدوات تصحيح الأخطاء؛
8) مجموعة واحدة من تجميع البقع الدقيقة؛
9) مضخة امتصاص فراغية واحدة؛
10) مرحلة مسح واحدة للخرائط.
3. حاسوب القياس والتحكم
يستخدم جهاز كمبيوتر صناعي تجاري بنظام تشغيل ويندوز 10؛ المعالج: معالج i7؛ الذاكرة: 15 جيجابايت؛ القرص الصلب: 1 تيرابايت؛ شاشة LCD: 24 بوصة؛ يشمل فأرة ولوحة مفاتيح.
4. المتطلبات البيئية ومتطلبات الطاقة:
1) متطلبات المنصة: 2.0 متر (طول) × 1.2 متر (عرض)، سعة التحميل أكبر من 100 كجم (يوصى بعزل الاهتزاز البصري).
2) نطاق درجة حرارة التشغيل: 20~30 درجة مئوية
3) الرطوبة النسبية: 35%~60%
4) جهد مصدر الطاقة: 220 فولت تيار متردد
5) تيار الطور: قيمة RMS أقل من 4 أمبير (220 فولت تيار متردد)؛
6) أقصى طاقة: 800 واط
جسم قياس الإهليلجية
مبدأ قياس الإهليلجية
عملية تحليل قياس الاستقطاب الإهليلجي
قياس الاستقطاب الإهليلجي باستخدام مصفوفة مولر
قياس الإهليلجية باستخدام مصفوفة مولر ME-L
قياس الإهليلجية باستخدام مصفوفة مولر عالي الدقة وآلي بالكامل، من الدرجة البحثية
تقنية ضبط الزاوية والتركيز التلقائية بالكامل، قياس سريع بنقرة واحدة
واجهة تفاعلية موجهة بين الإنسان والآلة، وتجربة تشغيل برمجية مريحة
قاعدة بيانات غنية بالمواد ومكتبة نماذج خوارزمية، وقدرات تحليل بيانات قوية
المواصفات الفنية
| رقم الموديل | ME-L |
| التطبيقات | درجة البحث/المؤسسات |
| الوظائف الأساسية | مستشعرات بصرية من نوع Psi/Delta و R/T و Mueller Matrix وغيرها |
| تحليل الطيف | 380-1000 نانومتر (يدعم التوسع إلى 193-2500 نانومتر) |
| وقت القياس الفردي | ≤15 ثانية |
| دقة قياس التكرارية | 0.005 نانومتر |
| دقة مطلقة (قياس الهواء من خلال الجسم) | معايير قياس الإهليلجية: 4 = 45 ± 0.05 درجة، A = 0 ± 0.1 درجة مصفوفة مولر: العنصر القطري m = 10.005 العنصر غير القطري m = 0 ± 0.005 |
| دقة تكرار معامل الانكسار | 0.0005 |
| حجم البقعة | حجم البقعة الكبيرة: 2-4 مم حجم البقعة الصغيرة: 200 ميكرومتر/100 ميكرومتر حجم البقعة صغير للغاية: 50 ميكرومتر (حسب الطول الموجي) |
يعتمد مؤشر دقة التكرار على 30 قياسًا قابلاً للتكرار لعينة قياسية من SiO2/Si بحجم 100 نانومتر؛
تتعلق المعايير الفنية المحددة للجهاز بالوحدات الوظيفية والملحقات الفعلية، والبيانات الواردة في الجدول هي للإشارة فقط.
التكوينات الاختيارية
| اختيار الفرقة | VN: 380-1650 نانومتر |
| V: 380-1000 نانومتر | الأمم المتحدة: 210-1650 نانومتر |
| الأشعة فوق البنفسجية: 245-1000 نانومتر | DN: 193-1650 نانومتر |
| الأشعة فوق البنفسجية+: 210-1000 نانومتر | UN+: 210-2500 نانومتر |
| الأشعة فوق البنفسجية العميقة: 193-1000 نانومتر | DN+: 193-2500 نانومتر |
اختيار الزاوية
ثابت: 65 درجة
تلقائي: 45-90 درجة
يدوي: 45-90 درجة (بزيادات قدرها 5 درجات)
خيارات أخرى
خيارات التخطيط: 100 × 100 مم / 200 × 200 مم
مرحلة التحكم في درجة الحرارة: 190-550 درجة مئوية / درجة حرارة الغرفة - 1000 درجة مئوية
معلومات عنا
نبذة عن المصنع
لماذا تختارنا؟
التعليمات
س1: من نحن؟
أ1: تأسست شركة MSK (تيانجين) لتكنولوجيا القطع المحدودة في عام 2015، وقد نمت باستمرار وحصلت على شهادة Rheinland ISO 9001
بفضل مراكز الطحن الألمانية المتطورة ذات الخمسة محاور من شركة SACCKE، ومركز فحص الأدوات الألماني ذو الستة محاور من شركة ZOLLER، وآلة PALMARY التايوانية، وغيرها من معدات التصنيع المتقدمة عالميًا، فإننا ملتزمون بإنتاج أدوات CNC عالية الجودة واحترافية وفعالة.
س٢: هل أنتم شركة تجارية أم شركة مصنعة؟
ج2: نحن مصنع أدوات الكربيد.
س٣: هل يمكنك إرسال المنتجات إلى وكيل الشحن الخاص بنا في الصين؟
ج3: نعم، إذا كان لديك وكيل شحن في الصين، فسيسعدنا إرسال المنتجات إليه/إليها.
س4: ما هي شروط الدفع المقبولة؟
ج٤: عادةً ما نقبل التحويل المصرفي (T/T).
س5: هل تقبلون طلبات تصنيع المعدات الأصلية (OEM)؟
ج5: نعم، تتوفر خدمات تصنيع المعدات الأصلية والتخصيص، كما نقدم خدمة طباعة الملصقات.
س6: لماذا يجب عليك اختيارنا؟
A61) التحكم في التكاليف - شراء منتجات عالية الجودة بسعر مناسب.
2) استجابة سريعة - في غضون 48 ساعة، سيقوم موظفون محترفون بتزويدك بعرض أسعار ومعالجة مخاوفك.
3) جودة عالية - تثبت الشركة دائماً بنية صادقة أن المنتجات التي تقدمها عالية الجودة بنسبة 100%.
4) خدمة ما بعد البيع والإرشاد الفني - تقدم الشركة خدمة ما بعد البيع والإرشاد الفني وفقًا لمتطلبات واحتياجات العملاء.
