اعليٰ درستگي وارو اسپيڪٽرو اسڪوپڪ ايلپسوميٽر | غير تباهي ڪندڙ پتلي فلم جي ٿولهه ۽ ريفريڪٽو انڊيڪس ماپڻ وارو نظام
آرڊر ڏيڻ جون هدايتون
پراڊڪٽ جي خاص نوعيت جي ڪري، صفحي تي ڏيکاريل قيمت هڪ جمع قيمت آهي، اصل قيمت نه. مهرباني ڪري ڪوٽيشن لاءِ ڪسٽمر سروس سان رابطو ڪريو.
اڳواٽ رابطي کان سواءِ سڌو سنئون آرڊر موڪلي نه ٿا سگهجن! توهان جي تعاون جي مهرباني! وڌيڪ پراڊڪٽ جي معلومات لاءِ، مهرباني ڪري پراڊڪٽ بروشرز حاصل ڪرڻ لاءِ ڪسٽمر سروس سان رابطو ڪريو.
اهم ماپون
فلم جي ٿولهه (هڪ کان گھڻ-پرت تائين)
ريفريڪٽو انڊيڪس (n) ۽ ايڪسٽينڪشن ڪوفيشينٽ (k)
آپٽيڪل بينڊ گيپ (مثال طور)
مٿاڇري جي خرابي
ٽيڪنيڪل نمايان
وسيع اسپيڪٽرل رينج: ورسٽائل مواد جي تجزيي لاءِ UV کان NIR ڪوريج
اعليٰ حساسيت: الٽرا پتلي فلمن کي ذيلي نانو ميٽر پيماني تائين ماپڻ جي قابل.
غير رابطي ۽ غير تباهي ڪندڙ: آر اينڊ ڊي ۽ پيداوار جي ماحول ۾ حساس نمونن لاءِ مثالي
ترقي يافته ماڊلنگ سافٽ ويئر: استعمال ڪندڙ-دوست ورڪ فلو سان پيچيده ملٽي-ليئر اسٽيڪ تجزيو کي سپورٽ ڪري ٿو
درخواستون
هي نظام سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، آپٽيڪل ڪوٽنگ، فليٽ پينل ڊسپلي، فوٽووولٽڪ (سولر سيل) جي ترقي، مواد سائنس جي تحقيق، ۽ بايو سينسنگ ۾ وڏي پيماني تي اختيار ڪيو ويندو آهي.
اسان جو حل ڇو چونڊيو
مضبوط آر اينڊ ڊي صلاحيتن سان گڏ هڪ پيشيور ٺاهيندڙ جي حيثيت سان، اسان فيڪٽري-سڌي قيمت، حسب ضرورت ترتيب، ۽ وقف ٽيڪنيڪل سپورٽ پيش ڪندا آهيون. ڇا توهان کي ليبارٽري تجزيي لاءِ بينچ ٽاپ سسٽم جي ضرورت آهي يا پيداوار جي نگراني لاءِ ان لائن حل، اسان اوزار کي توهان جي مخصوص ماپ جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگهون ٿا.
اقتباس جي درخواست ڪريو
پنهنجي درخواست تي بحث ڪرڻ يا اقتباس جي درخواست ڪرڻ لاءِ اڄ ئي اسان سان رابطو ڪريو. اسان جي ٽيم توهان کي بهترين پتلي فلم جي ماپ جو حل چونڊڻ ۾ مدد لاءِ مفت ٽيڪنيڪل صلاح فراهم ڪري ٿي.
مکيه ٽيڪنيڪل پيرا ميٽرز
1. ماپ جون صلاحيتون: 16 هين آرڊر مولر ميٽرڪس عنصر، پولرائيزيشن اسپيڪٽرم Psi/ڊيلٽا، ريفريڪٽو انڊيڪس، ٿولهه، بائير فرينگنس، ۽ ڊائي اليڪٽرڪ ڪانسٽنٽ، وغيره.
2. اسپيڪٽرل رينج: 210nm-1690nm
3. طول موج جي فاصلي: ≤0.8nm@210-1000nm، ≤3.5nm@1000-1690nm
4. سنگل پوائنٽ ماپ جو وقت: ≤10s
5. مائڪرو اسپاٽ سائيز: ≤200μm
6. ماڊوليشن ٽيڪنالاجي: PCSCA ڊبل روٽري ڪمپينسٽر سسٽم ماڊوليشن
7. خودڪار نموني اسٽيج: Z-محور خودڪار ڌيان ڏيڻ، وڌ ۾ وڌ سفر 18mm، گھٽ ۾ گھٽ قدم 1µm
8. فلم جي ٿولهه ورجائڻ جي درستگي: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si، 30 بار بار ماپون، 1σ جي حساب سان)
9. ريفريڪٽو انڊيڪس ريپيٽيبلٽي جي درستگي: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si، 30 بار بار ماپون، 1σ جي حساب سان)
10. مڪمل فلم جي ٿولهه جي درستگي: ≤0.5٪ (100nm SiO2/Si، ٽئين پارٽي ميٽرولوجي رپورٽ فراهم ڪئي وئي آهي)
11. ميپنگ فنڪشن: هڪ اعليٰ درستگي واري x/y قسم جي خودڪار اسڪيننگ اسٽيج کي استعمال ڪري ٿو، 2/4/6/8 انچ سبسٽريٽس جي خودڪار پوزيشننگ ۽ اسڪيننگ ماپ کي سپورٽ ڪري ٿو، ورجائڻ جي درستگي ≤6μm، 2D/3D فلم ٿولهه ورهائڻ واري نقشن جي هڪ ڪلڪ نسل.
12. ليزر رينجنگ ۽ فوڪسنگ: ليزر ريفلڪشن آپٽيڪل پاٿ ذريعي خودڪار فوڪل ڊگھائي پوزيشننگ، فوڪسنگ ٽريول ≤3mm
13. فرق ماڊل: خودڪار طريقي سان psi-diff ۽ ڊيلٽا-diff فرق ڊيٽا جو حساب لڳائي ٿو.
14. تجزيو سافٽ ويئر: گهٽ ۾ گهٽ 5 مختلف ماپ جا طريقا، 100 کان وڌيڪ آپٽيڪل مواد لاءِ هڪ بلٽ ان n/k ڊيٽابيس، ۽ ڪسٽم ڊيٽابيس ٺاهڻ جي حمايت ڪري ٿو؛ سنگل ليئر، ملٽي ليئر (30 ليئر تائين)، ۽ جامع متبادل پتلي فلمن لاءِ ٽيسٽنگ ۽ ماڊلنگ تجزيي جون صلاحيتون رکي ٿو، جن ۾ ڪاچي، سيلميئر، ٽاؤڪ-لورينٽز، بي اسپلائن، ۽ آسيليٽر ماڊل شامل آهن، ۽ آف لائن سافٽ ويئر لائسنسنگ جي حمايت ڪري ٿو.
ٽيڪنيڪل وضاحتون
I. سامان جو تعارف
ايم اي-ميپنگ اسپيڪٽرو ايلپسوميٽري ۾ ڊبل-روٽيشن ڪمپينسٽر ماڊوليشن ٽيڪنالاجي شامل آهي جيڪا اعليٰ-صحت واري ڊيٽا تجزيي الگورتھم سان گڏ آهي. اهو هڪ ئي ماپ ۾ مڪمل مولر ميٽرڪس ۽ پولرائيزيشن اسپيڪٽرم جي سڀني 16 عنصرن کي حاصل ڪري سگهي ٿو، تيز ۽ غير تباهي واري نموني جي ماپ کي فعال بڻائي ٿو. اوزار هڪ مستحڪم آپٽيڪل رستو ڊيزائن جو فخر ڪري ٿو ۽ هڪ سيمي ڪنڊڪٽر-ٿڌو ڊيڪٽر استعمال ڪري ٿو، سيڪنڊن اندر روشني جي شدت جا سگنل حاصل ڪري ٿو. اهو تيز ماپ جي رفتار ۽ اعلي درستگي پيش ڪري ٿو، مختلف پتلي فلم مواد لاءِ ٿلهي، ريفريڪٽو انڊيڪس، ايڪسٽينشن ڪوفيشينٽ، ۽ آپٽيڪل ڊائي اليڪٽرڪ ڪانسٽنٽ جهڙن پيرا ميٽرز جي صحيح ماپ جي حمايت ڪري ٿو. ان کان علاوه، ان کي مختلف وڏي سائيز جي نمونن جي ملٽي پوائنٽ ميپنگ اسڪيننگ ماپن لاءِ مختلف سائزن جي "ويفر ريپيٽيبل پوزيشننگ اسٽيجز" سان ترتيب ڏئي سگهجي ٿو.
II. درخواست جو دائرو
ايلپسوميٽرسٽ خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽرز، فليٽ پينل ڊسپلي، سولر فوٽووولٽيڪس، آپٽيڪل پتلي فلمن، آپٽيڪل ڪميونيڪيشن، ۽ نانو ميٽيريلز ۾ استعمال ٿيندا آهن.
III. مجموعي ٽيڪنيڪل گهرجون
1. ٽيڪنيڪل وضاحتون:
1.1 ماپ جا پيرا ميٽر: 16 هين آرڊر مولر ميٽرڪس عنصر، Psi/ڊيلٽا، ريفريڪٽو انڊيڪس، ٿولهه، بائير فرينگنس، ۽ ڊائي اليڪٽرڪ ڪانسٽنٽ، وغيره.
1.2 اسپيڪٽرل رينج: 210nm-1690nm؛
1.3 سنگل پوائنٽ ماپ جو وقت: ≤10s؛
1.4 مائڪرو اسپاٽ سائيز: ≤200μm؛
1.5 ماڊوليشن ٽيڪنالاجي: PC1SCA ٻٽي گردش معاوضي جي ماڊوليشن؛
1.6 خودڪار نموني اسٽيج: خودڪار ز-محور ڌيان ڏيڻ جي حمايت ڪري ٿو، وڌ ۾ وڌ سفر 18mm، گھٽ ۾ گھٽ قدم 1μm؛
1.7 فلم جي ٿولهه ورجائڻ جي درستگي: ≤0.005nm (100nm SiO2/Si، 30 بار بار ماپون، حساب ڪيل 1σ)؛
1.8 ريفريڪٽو انڊيڪس ريپيٽيبلٽي جي درستگي: ≤0.0002 (100nm SiO2/Si، 30 بار بار ماپون، حساب ڪيل 1σ)؛
1.9 مڪمل فلم ٿولهه جي درستگي: ≤0.5% (100nm SiO2/Si، ٽئين پارٽي ميٽرولوجي رپورٽ فراهم ڪئي وئي آهي)؛ μm
1.10 ميپنگ فنڪشن: هڪ اعليٰ-صحت واري x/y-قسم جي خودڪار اسڪيننگ اسٽيج کي استعمال ڪري ٿو، 2/4/6/8-انچ سبسٽريٽس جي خودڪار پوزيشننگ ۽ اسڪيننگ ماپ کي سپورٽ ڪري ٿو، ≤6μm جي ورهاست جي درستگي سان، ۽ 2D/3D فلم ٿولهه ورهائڻ واري نقشن جي هڪ ڪلڪ نسل سان؛
1.11 ليزر رينج فائنڊنگ ۽ فوڪسنگ: ليزر ريفلڪشن آپٽيڪل پاٿ استعمال ڪندي فوڪل ڊگھائي کي خودڪار طريقي سان پوزيشن ڪري ٿو، فوڪس فائنڊنگ سفر ≤3mm سان؛
1.12 فلم جي ٿولهه جي ماپ جي حد: 1nm-10μm؛
1.13 فرق ماڊل: خودڪار طريقي سان psi-diff ۽ ڊيلٽا-diff فرق ڊيٽا جو حساب لڳائي ٿو؛
1.14 تجزيو سافٽ ويئر:
* اسپيڪٽرو اسڪوپڪ ماپ جون صلاحيتون: مڪمل مولر ميٽرڪس جا 16 عنصر، Psi/ڊيلٽا پولرائيزيشن اسپيڪٽرو اسڪوپي، N/C/S، ڊيپولرائيزيشن، وغيره؛
* ڊيٽا تجزيي جون صلاحيتون: سنگل ليئر ۽ ملٽي ليئر (20 ليئر تائين) آئسوٽروپڪ ۽ اينيسوٽروپڪ پتلي فلم مواد جي ٿلهي ۽ آپٽيڪل مستقل (n، k) جو تجزيو ڪرڻ جي قابل؛
* گھڻ-ڪمپوننٽ پتلي فلمن ۽ بلڪ مواد جي آپٽيڪل ڪانسٽنٽ، ريفريڪٽو انڊيڪس گريڊينٽ ورڇ، برابر ميڊيا، رفنس، وغيره لاءِ ماڊلز کي سپورٽ ڪري ٿو؛
* عام آپٽيڪل ڪانسٽنٽ ماڊلز ۽ عام آسيليٽر ماڊلز (ڪاچي ماڊل، لورينٽز ماڊل، گاسين ماڊل، ڊروڊ، سيلميئر، وغيره) کي سپورٽ ڪري ٿو، ۽ گرافڪ ملٽي-آسيليٽر هائبرڊ ماڊل فٽنگ کي سپورٽ ڪري ٿو؛
* 2D/3D ٽوپوگرافڪ تصويرون ڪڍڻ، تاريخي ڊيٽا ڏسڻ، ۽ ڊيٽا ۽ لاڳاپيل رپورٽن کي برآمد ۽ ايڊٽ ڪرڻ جي حمايت ڪري ٿو؛
* ڊيٽا آئوٽ پُٽ فارميٽ: TXT، CSV، SNAP سنيپ شاٽ، خام اسپيڪٽرم، DAT، وغيره؛
* مرحلي جي دير جي ماپ کي سپورٽ ڪري ٿو، مرحلي جي دير، ايزيمٿ زاويه، آپٽيڪل گردش زاويه، طول و عرض تناسب، ترتيب، وغيره جي جانچ ڪرڻ جي قابل؛
* 1D/2D پيريوڊڪ گريٽنگ اسٽرڪچر تجزيو ۽ ماڊلنگ افعال رکي ٿو.
2. ترتيب جي فهرست:
1) ايلپسوميٽر جي مکيه يونٽ جو هڪ سيٽ؛
2) ايلپسوميٽري بازو ۽ تجزيي بازو جو هڪ هڪ سيٽ؛
3) خودڪار نموني اسٽيج جو هڪ سيٽ؛
4) تجزياتي سافٽ ويئر جو هڪ سيٽ؛
5) معياري سلائڊن جو هڪ سيٽ؛
6) هڪ ڪمپيوٽر؛
7) ڊيبگنگ اوزارن جو هڪ سيٽ؛
8) مائڪرو اسپاٽ اسيمبلي جو هڪ سيٽ؛
9) هڪ ويڪيوم جذب پمپ؛
10) هڪ ميپنگ اسڪيننگ اسٽيج.
3. ماپ ۽ ڪنٽرول ڪمپيوٽر
ونڊوز 10 آپريٽنگ سسٽم سان گڏ هڪ ڪمرشل صنعتي پي سي استعمال ڪري ٿو؛ سي پي يو: i7 پروسيسر؛ ميموري: 15GB؛ هارڊ ڊسڪ: 1 ٽي بي؛ ايل سي ڊي مانيٽر: 24 انچ؛ مائوس ۽ ڪي بورڊ شامل آهن.
4. ماحولياتي ۽ بجلي جون گهرجون:
1) پليٽ فارم جون گهرجون: 2.0 ميٽر (ڊيگهه) x 1.2 ميٽر (ويڪر)، لوڊ گنجائش 100 ڪلوگرام کان وڌيڪ (آپٽيڪل وائبريشن آئسوليشن جي سفارش ڪئي وئي آهي).
2) آپريٽنگ گرمي پد جي حد: 20 ~ 30 ° سي
3) نسبتي نمي: 35٪ ~ 60٪ آر ايڇ
4) بجلي جي فراهمي جي وولٽيج: 220VAC
5) مرحلو موجوده: RMS قدر 4A (220VAC) کان گهٽ؛
6) وڌ ۾ وڌ طاقت: 800W
ايلپسوميٽري ماپ جو اعتراض
ايلپسوميٽري ماپ جو اصول
ايلپسوميٽري تجزيو عمل
مولر ميٽرڪس ايلپسوميٽري
ايم اي-ايل مولر ميٽرڪس ايلپسوميٽري
ريسرچ گريڊ مڪمل طور تي خودڪار اعليٰ درستگي وارو مولر ميٽرڪس ايلپسوميٽري
مڪمل طور تي خودڪار زاويه ترتيب ۽ ڌيان ڏيڻ واري ٽيڪنالاجي، هڪ ڪلڪ سان تيز ماپ
هدايت يافته انٽرايڪٽو انساني-مشين انٽرفيس، آسان سافٽ ويئر آپريشن جو تجربو
رچ مواد ڊيٽابيس ۽ الگورتھم ماڊل لائبريري، طاقتور ڊيٽا تجزيو صلاحيتون
ٽيڪنيڪل وضاحتون
| ماڊل نمبر | ايم اي-ايل |
| درخواستون | ريسرچ/انٽرپرائز گريڊ |
| بنيادي ڪم | پي ايس آءِ/ڊيلٽا، آر/ٽي، مولر ميٽرڪس، ۽ ٻيا آپٽيڪل سينسر |
| اسپيڪٽرم تجزيو | 380-1000nm (193-2500nm تائين واڌ جي حمايت ڪري ٿو) |
| سنگل ماپ جو وقت | ≤15 سيڪنڊ |
| ورجائي جي ماپ جي درستگي | 0.005 اين ايم |
| مڪمل درستگي (هوا جي ذريعي ماپ) | ايلپسوميٽري پيرا ميٽر: 4 = 45 ± 0.05°، A = 0 ± 0.1° مولر ميٽرڪس: ڊاگونل عنصر m = 10.005 ڊاگونل عنصر m = 0 ± 0.005 |
| ريفريڪٽو انڊيڪس ريپيٽيبلٽي جي درستگي | 0.0005 |
| اسپاٽ سائيز | وڏي جاءِ جي سائيز: 2-4 ملي ميٽر ننڍي جاءِ جي سائيز: 200 μm/100 μm الٽرا ننڍو اسپاٽ سائيز: 50 μm (موج جي ڊيگهه تي منحصر) |
ورجائي سگهڻ جي درستگي جو انڊيڪس 100nm SiO2/Si معياري نموني جي 30 ورجائي سگهڻ واري ماپن تي ٻڌل آهي؛
اوزار جا مخصوص ٽيڪنيڪل پيرا ميٽر اصل فنڪشنل ماڊلز ۽ لوازمات سان لاڳاپيل آهن، ۽ ٽيبل ۾ ڊيٽا صرف حوالي لاءِ آهن.
اختياري ترتيبون
| بينڊ جي چونڊ | وي اين: 380-1650 اين ايم |
| وي: 380-1000nm | گڏيل قومن: 210-1650nm |
| يووي: 245-1000nm | ڊي اين: 193-1650 اين ايم |
| يووي +: 210-1000nm | يو اين +: 210-2500 اين ايم |
| ڊي يو وي: 193-1000 اين ايم | ڊي اين +: 193-2500 اين ايم |
زاويه جي چونڊ
مقرر ٿيل: 65°
خودڪار: 45-90°
دستي: 45-90° (5° واڌ)
ٻيا آپشن
نقشي جا اختيار: 100*100mm/200*200mm
گرمي پد ڪنٽرول اسٽيج: 190-550 ° C/RT-1000 ° C
اسان جي باري ۾
فيڪٽري پروفائل
اسان کي ڇو چونڊيو
سوال
سوال 1: اسين ڪير آهيون؟
A1: 2015 ۾ قائم ڪيل، MSK (Tianjin) ڪٽنگ ٽيڪنالاجي CO.Ltd مسلسل ترقي ڪئي آهي ۽ رائنلينڊ ISO 9001 پاس ڪيو آهي.
تصديق. جرمن SACCKE هاءِ اينڊ فائيو ايڪسز گرائنڊنگ سينٽرز، جرمن زولر ڇهه ايڪسز ٽول انسپيڪشن سينٽر، تائيوان پالميري مشين ۽ ٻين بين الاقوامي ترقي يافته پيداواري سامان سان، اسان اعليٰ اينڊ، پيشه ور ۽ ڪارآمد سي اين سي ٽول پيدا ڪرڻ لاءِ پرعزم آهيون.
سوال 2: ڇا توهان واپاري ڪمپني يا ٺاهيندڙ آهيو؟
A2: اسان ڪاربائيڊ اوزارن جو ڪارخانو آهيون.
سوال 3: ڇا توهان چين ۾ اسان جي فارورڊر ڏانهن شيون موڪلي سگهو ٿا؟
A3: ها، جيڪڏهن توهان وٽ چين ۾ فارورڊر آهي، ته اسان خوشيءَ سان کيس شيون موڪلينداسين.
سوال 4: ادائگي جون ڪهڙيون شرطون قابل قبول آهن؟
A4: عام طور تي اسين ٽي / ٽي قبول ڪندا آهيون.
سوال 5: ڇا توهان OEM آرڊر قبول ڪندا آهيو؟
A5: ها، OEM ۽ ڪسٽمائيزيشن موجود آهن، ۽ اسان ليبل پرنٽنگ سروس پڻ فراهم ڪندا آهيون.
سوال 6: توهان اسان کي ڇو چونڊڻ گهرجي؟
A6:1) قيمت تي ضابطو - مناسب قيمت تي اعليٰ معيار جون شيون خريد ڪرڻ.
2) تڪڙو جواب - 48 ڪلاڪن اندر، پيشه ور عملدار توهان کي هڪ اقتباس فراهم ڪندا ۽ توهان جي خدشن کي حل ڪندا.
3) اعليٰ معيار - ڪمپني هميشه خلوص نيت سان ثابت ڪري ٿي ته اها جيڪي شيون فراهم ڪري ٿي اهي 100٪ اعليٰ معيار جون آهن.
4) سيلز کان پوءِ سروس ۽ ٽيڪنيڪل رهنمائي - ڪمپني گراهڪن جي گهرجن ۽ ضرورتن مطابق سيلز کان پوءِ سروس ۽ ٽيڪنيڪل رهنمائي فراهم ڪري ٿي.
