بیضیسنج طیفسنجی با دقت بالا | سیستم اندازهگیری ضخامت و ضریب شکست لایه نازک به صورت غیر مخرب
دستورالعمل سفارش
با توجه به ماهیت خاص محصول، قیمت نشان داده شده در صفحه، قیمت پیشپرداخت است و قیمت واقعی نیست. لطفاً برای دریافت قیمت با خدمات مشتریان تماس بگیرید.
سفارشهایی که مستقیماً و بدون تماس قبلی ثبت شوند، قابل ارسال نیستند! از همکاری شما متشکریم! برای اطلاعات بیشتر در مورد محصول، لطفاً با خدمات مشتریان تماس بگیرید تا بروشورهای محصول را دریافت کنید.
اندازهگیریهای کلیدی
ضخامت فیلم (تک لایه تا چند لایه)
ضریب شکست (n) و ضریب خاموشی (k)
شکاف باند نوری (به عنوان مثال)
زبری سطح
نکات برجسته فنی
محدوده طیفی وسیع: پوشش UV تا NIR برای آنالیز مواد متنوع
حساسیت بالا: قادر به اندازهگیری لایههای بسیار نازک تا مقیاس زیر نانومتر
غیر تماسی و غیر مخرب: ایدهآل برای نمونههای حساس در محیطهای تحقیق و توسعه و تولید
نرمافزار مدلسازی پیشرفته: از تحلیلهای پیچیده چندلایه با گردشهای کاری کاربرپسند پشتیبانی میکند.
کاربردها
این سیستم به طور گسترده در تولید نیمههادیها، پوشش نوری، نمایشگرهای صفحه تخت، توسعه فتوولتائیک (سلول خورشیدی)، تحقیقات علوم مواد و حسگرهای زیستی مورد استفاده قرار میگیرد.
چرا راهکار ما را انتخاب کنید
ما به عنوان یک تولیدکننده حرفهای با قابلیتهای قوی تحقیق و توسعه، قیمتگذاری مستقیم از کارخانه، پیکربندیهای قابل تنظیم و پشتیبانی فنی اختصاصی را ارائه میدهیم. چه به یک سیستم رومیزی برای تجزیه و تحلیل آزمایشگاهی نیاز داشته باشید و چه به یک راهکار درون خطی برای نظارت بر تولید، میتوانیم این ابزار را متناسب با نیازهای اندازهگیری خاص شما تنظیم کنیم.
درخواست قیمت
برای بحث در مورد درخواست خود یا درخواست قیمت، همین امروز با ما تماس بگیرید. تیم ما مشاوره فنی رایگان ارائه میدهد تا به شما در انتخاب بهترین راهحل اندازهگیری لایه نازک کمک کند.
پارامترهای فنی اصلی
۱. قابلیتهای اندازهگیری: عناصر ماتریس مولر مرتبه ۱۶، طیف قطبش Psi/Delta، ضریب شکست، ضخامت، شکست مضاعف و ثابت دیالکتریک و غیره
2. محدوده طیفی: 210nm-1690nm
3. فاصله طول موج: ≤0.8nm@210-1000nm، ≤3.5nm@1000-1690nm
۴. زمان اندازهگیری تک نقطهای: ≤۱۰ ثانیه
5. اندازه میکرو-نقطه: ≤200μm
۶. فناوری مدولاسیون: مدولاسیون سیستم جبرانکننده دوار PCSCA
۷. جایگاه نمونهبرداری خودکار: فوکوس خودکار محور Z، حداکثر حرکت ۱۸ میلیمتر، حداقل گام ۱ میکرومتر
۸. دقت تکرارپذیری ضخامت لایه نازک: ≤۰.۰۰۵ نانومتر (۱۰۰ نانومتر SiO2/Si، ۳۰ اندازهگیری مکرر، محاسبه شده به صورت ۱σ)
۹. دقت تکرارپذیری ضریب شکست: ≤۰.۰۰۰۲ (۱۰۰ نانومتر SiO2/Si، ۳۰ اندازهگیری مکرر، محاسبه شده به صورت ۱σ)
۱۰. دقت مطلق ضخامت لایه نازک: ≤۰.۵٪ (۱۰۰ نانومتر SiO2/Si، گزارش مترولوژی شخص ثالث ارائه شده است)
۱۱. عملکرد نقشهبرداری: از یک مرحله اسکن خودکار از نوع x/y با دقت بالا استفاده میکند، از موقعیتیابی خودکار و اندازهگیری اسکن زیرلایههای ۲/۴/۶/۸ اینچی پشتیبانی میکند، دقت تکرارپذیری ≤۶μm، تولید نقشههای توزیع ضخامت فیلم ۲D/3D با یک کلیک
۱۲. فاصلهیابی و فوکوس لیزری: تعیین موقعیت خودکار فاصله کانونی از طریق مسیر نوری بازتاب لیزر، حرکت فوکوس ≤۳ میلیمتر
۱۳. مدل تفاضلی: به طور خودکار دادههای تفاضلی psi-diff و delta-diff را محاسبه میکند
۱۴. نرمافزار تحلیل: دارای حداقل ۵ حالت اندازهگیری مختلف، یک پایگاه داده n/k داخلی برای بیش از ۱۰۰ ماده نوری، و پشتیبانی از ایجاد پایگاههای داده سفارشی؛ دارای قابلیتهای آزمایش و تحلیل مدلسازی برای لایههای نازک متناوب تک لایه، چند لایه (تا ۳۰ لایه) و کامپوزیت، از جمله مدلهای کوشی، سلمایر، تاوک-لورنتز، بی اسپلاین و اسیلاتور، و پشتیبانی از مجوز نرمافزار آفلاین.
مشخصات فنی
مقدمه تجهیزات
طیفسنجی بیضوی-مگنت ME-Mapping دارای فناوری مدولاسیون جبرانکننده چرخش دوگانه همراه با الگوریتمهای تجزیه و تحلیل دادههای با دقت بالا است. این دستگاه میتواند تمام 16 عنصر ماتریس کامل مولر و طیف قطبش را در یک اندازهگیری واحد به دست آورد و اندازهگیری سریع و غیر مخرب نمونه را امکانپذیر میکند. این دستگاه دارای طراحی مسیر نوری پایدار است و از یک آشکارساز خنککننده نیمههادی استفاده میکند و سیگنالهای شدت نور را در عرض چند ثانیه دریافت میکند. این دستگاه سرعت اندازهگیری سریعتر و دقت بالاتری را ارائه میدهد و از اندازهگیری دقیق پارامترهایی مانند ضخامت، ضریب شکست، ضریب خاموشی و ثابت دیالکتریک نوری برای مواد مختلف لایه نازک پشتیبانی میکند. علاوه بر این، میتوان آن را با "مراحل موقعیتیابی تکرارپذیر ویفر" با اندازههای مختلف برای اندازهگیریهای اسکن نقشهبرداری چند نقطهای از نمونههای مختلف با اندازه بزرگ سفارشی کرد.
دوم. دامنه کاربرد
الیپسومتریستها عمدتاً در نیمههادیها، نمایشگرهای صفحه تخت، فتوولتائیکهای خورشیدی، لایههای نازک نوری، ارتباطات نوری و نانومواد استفاده میشوند.
III. الزامات فنی کلی
۱. مشخصات فنی:
۱.۱ پارامترهای اندازهگیری: عناصر ماتریس مولر مرتبه ۱۶، Psi/Delta، ضریب شکست، ضخامت، انکسار مضاعف و ثابت دیالکتریک و غیره
۱.۲ محدوده طیفی: ۲۱۰ نانومتر-۱۶۹۰ نانومتر؛
۱.۳ زمان اندازهگیری تک نقطهای: ≤۱۰ ثانیه؛
۱.۴ اندازه میکرواسپات: ≤۲۰۰ میکرومتر؛
۱.۵ فناوری مدولاسیون: مدولاسیون جبران چرخش دوگانه PC1SCA؛
۱.۶ جایگاه نمونهبرداری خودکار: از فوکوس خودکار محور z، حداکثر حرکت ۱۸ میلیمتر، حداقل گام ۱ میکرومتر پشتیبانی میکند.
۱.۷ دقت تکرارپذیری ضخامت لایه نازک: ≤۰.۰۰۵ نانومتر (۱۰۰ نانومتر SiO2/Si، ۳۰ اندازهگیری مکرر، محاسبهشده ۱σ)؛
۱.۸ دقت تکرارپذیری ضریب شکست: ≤۰.۰۰۰۲ (۱۰۰ نانومتر SiO2/Si، ۳۰ اندازهگیری مکرر، محاسبهشده ۱σ)؛
۱.۹ دقت مطلق ضخامت لایه: ≤۰.۵٪ (۱۰۰ نانومتر SiO2/Si، گزارش مترولوژی شخص ثالث ارائه شده است)؛ میکرومتر
۱.۱۰ تابع نقشهبرداری: از یک مرحله اسکن خودکار از نوع x/y با دقت بالا استفاده میکند که از موقعیتیابی خودکار و اندازهگیری اسکن زیرلایههای ۲/۴/۶/۸ اینچی، با دقت تکرارپذیری ≤۶μm و تولید نقشههای توزیع ضخامت فیلم دوبعدی/سهبعدی با یک کلیک پشتیبانی میکند.
۱.۱۱ فاصلهیابی و فوکوس لیزری: با استفاده از مسیر نوری بازتاب لیزر، فاصله کانونی را به طور خودکار تعیین میکند، با حرکت فوکوسیابی ≤۳ میلیمتر؛
۱.۱۲ محدوده اندازهگیری ضخامت فیلم: ۱ نانومتر تا ۱۰ میکرومتر؛
۱.۱۳ مدل تفاضلی: به طور خودکار دادههای تفاضلی psi-diff و delta-diff را محاسبه میکند.
۱.۱۴ نرمافزار تحلیل:
* قابلیتهای اندازهگیری طیفسنجی: ۱۶ عنصر از ماتریس کامل مولر، طیفسنجی قطبش Psi/Delta، N/C/S، دپلاریزاسیون و غیره؛
* قابلیتهای تحلیل دادهها: قابلیت تحلیل ضخامت و ثابتهای نوری (n، k) مواد لایه نازک همسانگرد و ناهمسانگرد تک لایه و چند لایه (تا 20 لایه)؛
* از مدلهایی برای ثابتهای نوری، توزیع گرادیان ضریب شکست، محیط معادل، زبری و غیره، برای لایههای نازک چند جزئی و مواد تودهای پشتیبانی میکند.
* از مدلهای ثابت نوری رایج و مدلهای نوسانگر رایج (مدل کوشی، مدل لورنتز، مدل گاوسی، درود، سلمایر و غیره) پشتیبانی میکند و از برازش مدل هیبریدی چند نوسانگر گرافیکی نیز پشتیبانی میکند.
* پشتیبانی از خروجی تصاویر توپوگرافی دوبعدی/سهبعدی، مشاهده دادههای تاریخی و خروجی گرفتن و ویرایش دادهها و گزارشهای مربوطه؛
* قالبهای خروجی داده: TXT، CSV، تصویر لحظهای SNAP، طیف خام، DAT و غیره؛
* پشتیبانی از اندازهگیری تأخیر فاز، قادر به آزمایش تأخیر فاز، زاویه آزیموت، زاویه چرخش نوری، نسبت دامنه، مرتبه و غیره؛
* دارای توابع تحلیل و مدلسازی ساختار توری تناوبی یک بعدی/دو بعدی.
۲. فهرست پیکربندی:
۱) یک مجموعه از واحد اصلی بیضیسنج؛
۲) یک مجموعه از هر بازوی الیپسومتری و بازوی آنالیزور؛
3) یک مجموعه از جایگاه نمونهگیری خودکار؛
۴) یک مجموعه نرمافزار تحلیل؛
۵) یک مجموعه اسلاید استاندارد؛
۶) یک کامپیوتر؛
۷) یک مجموعه ابزار اشکالزدایی؛
8) یک مجموعه مونتاژ میکرو-اسپات؛
۹) یک پمپ جذب خلاء؛
۱۰) یک مرحله اسکن نقشهبرداری.
۳. کامپیوتر اندازهگیری و کنترل
از یک کامپیوتر صنعتی تجاری با سیستم عامل ویندوز ۱۰ استفاده میکند؛ پردازنده: پردازنده i7؛ حافظه: ۱۵ گیگابایت؛ هارد دیسک: ۱ ترابایت؛ مانیتور LCD: ۲۴ اینچ؛ شامل ماوس و کیبورد.
۴. الزامات محیطی و توان:
۱) الزامات پلتفرم: ۲.۰ متر (طول) × ۱.۲ متر (عرض)، ظرفیت بار بیش از ۱۰۰ کیلوگرم (عایق ارتعاش نوری توصیه میشود).
۲) محدوده دمای عملیاتی: ۲۰ تا ۳۰ درجه سانتیگراد
۳) رطوبت نسبی: ۳۵٪ ~ ۶۰٪ رطوبت نسبی
۴) ولتاژ منبع تغذیه: ۲۲۰ ولت متناوب
۵) جریان فاز: مقدار RMS کمتر از ۴ آمپر (۲۲۰ ولت AC)؛
۶) حداکثر توان: ۸۰۰ وات
شیء اندازهگیری الیپسومتری
اصل اندازهگیری الیپسومتری
فرآیند تحلیل الیپسومتری
بیضوی سنجی ماتریس مولر
بیضوی سنجی ماتریس مولر ME-L
بیضوی سنجی ماتریس مولر با دقت بالا و کاملاً اتوماتیک در سطح تحقیقاتی
تنظیم زاویه و فناوری فوکوس کاملاً خودکار، اندازهگیری سریع با یک کلیک
رابط کاربری تعاملی انسان و ماشین هدایت شده، تجربه کاربری راحت نرمافزار
پایگاه داده غنی از مواد و کتابخانه مدل الگوریتم، قابلیتهای قدرتمند تجزیه و تحلیل دادهها
مشخصات فنی
| شماره مدل | من-ل |
| کاربردها | رتبه پژوهشی/سازمانی |
| توابع اساسی | Psi/Delta، R/T، Mueller Matrix و سایر حسگرهای نوری |
| تحلیل طیف | ۳۸۰-۱۰۰۰ نانومتر (قابل افزایش تا ۱۹۳-۲۵۰۰ نانومتر) |
| زمان اندازهگیری واحد | ≤15s |
| دقت اندازهگیری تکرارپذیری | 0.005 نانومتر |
| دقت مطلق (اندازهگیری کامل هوا) | پارامترهای بیضیسنجی: ۴ = ۴۵ ± ۰.۰۵ درجه، A = ۰ ± ۰.۱ درجه ماتریس مولر: عنصر قطری m = 10.005 المان غیرقطری m = 0 ± 0.005 |
| دقت تکرارپذیری ضریب شکست | ۰.۰۰۰۵ |
| اندازه نقطه | اندازه لکه بزرگ: ۲-۴ میلیمتر اندازه نقطه کوچک: ۲۰۰ میکرومتر/۱۰۰ میکرومتر اندازه نقطه بسیار کوچک: ۵۰ میکرومتر (بسته به طول موج) |
شاخص دقت تکرارپذیری بر اساس 30 اندازهگیری تکرارپذیر از یک نمونه استاندارد SiO2/Si با ابعاد 100 نانومتر محاسبه شده است؛
پارامترهای فنی خاص دستگاه مربوط به ماژولهای عملکردی و لوازم جانبی واقعی است و دادههای موجود در جدول فقط برای مرجع هستند.
تنظیمات اختیاری
| انتخاب باند | طول موج: 380-1650 نانومتر |
| ولت: 380-1000 نانومتر | سازمان ملل: 210-1650 نانومتر |
| اشعه ماوراء بنفش: 245-1000 نانومتر | قطر داخلی: ۱۹۳-۱۶۵۰ نانومتر |
| فرابنفش+: 210-1000 نانومتر | سازمان ملل متحد +: 210-2500 نانومتر |
| DUV: 193-1000 نانومتر | دیان+: ۱۹۳-۲۵۰۰ نانومتر |
انتخاب زاویه
ثابت: ۶۵ درجه
خودکار: ۴۵-۹۰ درجه
دستی: ۴۵-۹۰ درجه (افزایش ۵ درجهای)
گزینههای دیگر
گزینههای نقشهبرداری: ۱۰۰ * ۱۰۰ میلیمتر / ۲۰۰ * ۲۰۰ میلیمتر
مرحله کنترل دما: ۱۹۰-۵۵۰ درجه سانتیگراد / RT-۱۰۰۰ درجه سانتیگراد
درباره ما
مشخصات کارخانه
چرا ما را انتخاب کنید
سوالات متداول
سوال ۱: ما که هستیم؟
A1: شرکت فناوری برش MSK (تیانجین) که در سال ۲۰۱۵ تأسیس شد، به طور مداوم رشد کرده و موفق به اخذ گواهینامه ISO 9001 از شرکت Rheinland شده است.
با مراکز سنگ زنی پنج محوره پیشرفته SACCKE آلمان، مرکز بازرسی ابزار شش محوره ZOLLER آلمان، دستگاه PALMARY تایوان و سایر تجهیزات تولیدی پیشرفته بین المللی، ما متعهد به تولید ابزار CNC پیشرفته، حرفه ای و کارآمد هستیم.
Q2: آیا شما شرکت تجاری هستید یا تولیدکننده؟
A2: ما کارخانه ابزارهای کاربیدی هستیم.
Q3: آیا میتوانید محصولات خود را به شرکت حمل و نقل ما در چین ارسال کنید؟
A3: بله، اگر در چین نماینده حمل و نقل دارید، خوشحال خواهیم شد که محصولات را برای او ارسال کنیم.
Q4: چه شرایط پرداختی قابل قبول است؟
A4: معمولاً T/T را میپذیریم.
Q5: آیا سفارشات OEM را قبول می کنید؟
A5: بله، OEM و سفارشی سازی در دسترس هستند، و ما همچنین خدمات چاپ برچسب ارائه می دهیم.
Q6: چرا باید ما را انتخاب کنید؟
A6۱) کنترل هزینه - خرید محصولات با کیفیت بالا و قیمت مناسب.
۲) پاسخ سریع - ظرف ۴۸ ساعت، پرسنل حرفهای به شما قیمت میدهند و به نگرانیهای شما رسیدگی میکنند.
۳) کیفیت بالا - این شرکت همیشه با نیت خالصانه ثابت میکند که محصولاتی که ارائه میدهد ۱۰۰٪ باکیفیت هستند.
۴) خدمات پس از فروش و راهنمایی فنی - این شرکت خدمات پس از فروش و راهنمایی فنی را با توجه به نیازها و الزامات مشتری ارائه میدهد.
