Spektroskopik Elipsometer Presisi Tinggi | Sistem Pengukuran Ketebalan Film Tipis dan Indeks Bias Non-Destruktif
Instruksi Pemesanan
Karena sifat produk yang khusus, harga yang tertera di halaman ini adalah harga uang muka, bukan harga sebenarnya. Silakan hubungi layanan pelanggan untuk mendapatkan penawaran harga.
Pesanan yang dilakukan langsung tanpa kontak terlebih dahulu tidak dapat dikirim! Terima kasih atas kerja sama Anda! Untuk informasi produk lebih lanjut, silakan hubungi layanan pelanggan untuk mendapatkan brosur produk.
Pengukuran Utama
Ketebalan Film (lapisan tunggal hingga multi-lapisan)
Indeks Bias (n) & Koefisien Kepunahan (k)
Celah Pita Optik (Eg)
Kekasaran Permukaan
Sorotan Teknis
Rentang Spektral Luas: Cakupan UV hingga NIR untuk analisis material yang serbaguna.
Sensitivitas Tinggi: Mampu mengukur film ultra-tipis hingga skala sub-nanometer
Non-Kontak & Non-Destruktif: Ideal untuk sampel sensitif di lingkungan penelitian dan pengembangan serta produksi.
Perangkat Lunak Pemodelan Tingkat Lanjut: Mendukung analisis tumpukan multi-lapisan yang kompleks dengan alur kerja yang mudah digunakan.
Aplikasi
Sistem ini banyak diadopsi dalam manufaktur semikonduktor, pelapisan optik, layar panel datar, pengembangan fotovoltaik (sel surya), penelitian ilmu material, dan biosensing.
Mengapa Memilih Solusi Kami?
Sebagai produsen profesional dengan kemampuan R&D yang kuat, kami menawarkan harga langsung dari pabrik, konfigurasi yang dapat disesuaikan, dan dukungan teknis khusus. Baik Anda membutuhkan sistem meja untuk analisis laboratorium atau solusi terintegrasi untuk pemantauan produksi, kami dapat menyesuaikan instrumen tersebut dengan kebutuhan pengukuran spesifik Anda.
Permintaan Penawaran
Hubungi kami hari ini untuk mendiskusikan aplikasi Anda atau meminta penawaran harga. Tim kami menyediakan konsultasi teknis gratis untuk membantu Anda memilih solusi pengukuran lapisan tipis yang optimal.
Parameter Teknis Utama
1. Kemampuan Pengukuran: Elemen matriks Mueller orde ke-16, spektrum polarisasi Psi/Delta, indeks bias, ketebalan, bias ganda, dan konstanta dielektrik, dll.
2. Rentang Spektral: 210nm-1690nm
3. Jarak Antar Panjang Gelombang: ≤0,8nm@210-1000nm, ≤3,5nm@1000-1690nm
4. Waktu Pengukuran Titik Tunggal: ≤10 detik
5. Ukuran Titik Mikro: ≤200μm
6. Teknologi Modulasi: Modulasi sistem kompensator putar ganda PCSCA
7. Meja Sampel Otomatis: Pemfokusan otomatis sumbu Z, pergerakan maksimum 18mm, langkah minimum 1µm
8. Akurasi pengulangan ketebalan film: ≤0,005nm (100nm SiO2/Si, 30 pengukuran berulang, dihitung sebagai 1σ)
9. Akurasi pengulangan indeks bias: ≤0,0002 (100nm SiO2/Si, 30 pengukuran berulang, dihitung sebagai 1σ)
10. Akurasi ketebalan film absolut: ≤0,5% (100nm SiO2/Si, laporan metrologi pihak ketiga disediakan)
11. Fungsi pemetaan: Menggunakan tahap pemindaian otomatis tipe x/y presisi tinggi, mendukung pemosisian otomatis dan pengukuran pemindaian substrat 2/4/6/8 inci, akurasi pengulangan ≤6μm, pembuatan peta distribusi ketebalan film 2D/3D dengan sekali klik.
12. Pengukuran jarak dan fokus laser: Penentuan panjang fokus otomatis melalui jalur optik pantulan laser, jarak fokus ≤3mm
13. Model perbedaan: Secara otomatis menghitung data perbedaan psi-diff dan delta-diff
14. Perangkat lunak analisis: Memiliki setidaknya 5 mode pengukuran berbeda, basis data n/k bawaan untuk lebih dari 100 material optik, dan mendukung pembuatan basis data khusus; memiliki kemampuan analisis pengujian dan pemodelan untuk film tipis lapisan tunggal, multi-lapisan (hingga 30 lapisan), dan komposit bergantian, termasuk model Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, Bspline, dan Osilator, serta mendukung lisensi perangkat lunak offline.
Spesifikasi Teknis
I. Pengenalan Peralatan
Spektroellipsometri ME-Mapping memiliki teknologi modulasi kompensator rotasi ganda yang dikombinasikan dengan algoritma analisis data presisi tinggi. Alat ini dapat memperoleh semua 16 elemen matriks Mueller lengkap dan spektrum polarisasi dalam satu pengukuran, memungkinkan pengukuran sampel yang cepat dan non-destruktif. Instrumen ini memiliki desain jalur optik yang stabil dan menggunakan detektor berpendingin semikonduktor, yang memperoleh sinyal intensitas cahaya dalam hitungan detik. Alat ini menawarkan kecepatan pengukuran yang lebih cepat dan akurasi yang lebih tinggi, mendukung pengukuran parameter yang tepat seperti ketebalan, indeks bias, koefisien ekstingsi, dan konstanta dielektrik optik untuk berbagai material film tipis. Selain itu, alat ini dapat disesuaikan dengan berbagai ukuran "tahap pemosisian berulang wafer" untuk pengukuran pemindaian pemetaan multi-titik pada berbagai sampel berukuran besar.
II. Lingkup Aplikasi
Ahli elipsometri terutama digunakan dalam bidang semikonduktor, layar panel datar, fotovoltaik surya, film tipis optik, komunikasi optik, dan nanomaterial.
III. Persyaratan Teknis Secara Keseluruhan
1. Spesifikasi Teknis:
1.1 Parameter Pengukuran: Elemen matriks Mueller orde ke-16, Psi/Delta, indeks bias, ketebalan, bias ganda, dan konstanta dielektrik, dll.
1.2 Rentang Spektral: 210nm-1690nm;
1.3 Waktu Pengukuran Titik Tunggal: ≤10 detik;
1.4 Ukuran Titik Mikro: ≤200μm;
1.5 Teknologi Modulasi: Modulasi kompensasi rotasi ganda PC1SCA;
1.6 Meja Sampel Otomatis: Mendukung pemfokusan sumbu z otomatis, pergerakan maksimum 18mm, langkah minimum 1μm;
1.7 Akurasi Pengulangan Ketebalan Film: ≤0,005nm (100nm SiO2/Si, 30 pengukuran berulang, dihitung 1σ);
1.8 Akurasi Pengulangan Indeks Bias: ≤0,0002 (100nm SiO2/Si, 30 pengukuran berulang, dihitung 1σ);
1.9 Akurasi Ketebalan Film Absolut: ≤0,5% (100nm SiO2/Si, laporan metrologi pihak ketiga disediakan); μm
1.10 Fungsi Pemetaan: Menggunakan tahap pemindaian otomatis tipe x/y presisi tinggi, mendukung pemosisian otomatis dan pengukuran pemindaian substrat 2/4/6/8 inci, dengan akurasi pengulangan ≤6μm, dan pembuatan peta distribusi ketebalan film 2D/3D dengan sekali klik;
1.11 Penentuan Jarak dan Pemfokusan Laser: Secara otomatis memposisikan panjang fokus menggunakan jalur optik pantulan laser, dengan jarak tempuh penentuan fokus ≤3mm;
1.12 Rentang Pengukuran Ketebalan Film: 1nm-10μm;
1.13 Model Perbedaan: Secara otomatis menghitung data perbedaan psi-diff dan delta-diff;
1.14 Perangkat Lunak Analisis:
* Kemampuan Pengukuran Spektroskopi: 16 elemen matriks Mueller lengkap, spektroskopi polarisasi Psi/Delta, N/C/S, depolarisasi, dll.;
* Kemampuan Analisis Data: Mampu menganalisis ketebalan dan konstanta optik (n, k) dari material film tipis isotropik dan anisotropik lapisan tunggal dan multi-lapisan (hingga 20 lapisan);
* Mendukung model untuk konstanta optik, distribusi gradien indeks bias, media ekivalen, kekasaran, dll., dari film tipis multi-komponen dan material curah;
* Mendukung model konstanta optik umum dan model osilator umum (model Cauchy, model Lorentz, model Gaussian, Drude, Sellmeier, dll.), dan mendukung penyesuaian model hibrida multi-osilator grafis;
* Mendukung output gambar topografi 2D/3D, melihat data historis, serta mengekspor dan mengedit data dan laporan terkait;
* Format Keluaran Data: TXT, CSV, snapshot SNAP, spektrum mentah, DAT, dll.;
* Mendukung pengukuran penundaan fase, mampu menguji penundaan fase, sudut azimut, sudut rotasi optik, rasio amplitudo, orde, dll.;
* Memiliki fungsi analisis dan pemodelan struktur kisi periodik 1D/2D.
2. Daftar Konfigurasi:
1) Satu set unit utama ellipsometer;
2) Satu set masing-masing lengan elipsometri dan lengan penganalisis;
3) Satu set tahap pengambilan sampel otomatis;
4) Satu set perangkat lunak analisis;
5) Satu set slide standar;
6) Satu komputer;
7) Satu set alat debugging;
8) Satu set perakitan titik mikro;
9) Satu pompa adsorpsi vakum;
10) Satu tahap pemindaian pemetaan.
3. Komputer Pengukuran dan Kontrol
Menggunakan PC industri komersial dengan sistem operasi Windows 10; CPU: prosesor i7; Memori: 15GB; Hard Disk: 1TB; Monitor LCD: 24 inci; termasuk mouse dan keyboard.
4. Persyaratan Lingkungan dan Daya:
1) Persyaratan Platform: 2,0m (panjang) x 1,2m (lebar), kapasitas beban lebih dari 100kg (isolasi getaran optik disarankan).
2) Kisaran Suhu Operasional: 20~30°C
3) Kelembapan Relatif: 35%~60%RH
4) Tegangan Catu Daya: 220VAC
5) Arus Fase: Nilai RMS kurang dari 4A (220VAC);
6) Daya Maksimum: 800W
Objek Pengukuran Elipsometri
Prinsip Pengukuran Elipsometri
Proses Analisis Elipsometri
Elipsometri Matriks Muller
Elipsometri Matriks Mueller ME-L
Elipsometri matriks Mueller presisi tinggi otomatis sepenuhnya tingkat penelitian.
Teknologi penyesuaian sudut dan fokus otomatis sepenuhnya, pengukuran cepat sekali klik.
Antarmuka manusia-mesin interaktif terpandu, pengalaman pengoperasian perangkat lunak yang nyaman.
Basis data material yang kaya dan pustaka model algoritma, kemampuan analisis data yang mumpuni.
Spesifikasi Teknis
| Nomor Model | ME-L |
| Aplikasi | Tingkat Penelitian/Perusahaan |
| Fungsi Dasar | Psi/Delta, R/T, Matriks Mueller, dan sensor optik lainnya |
| Analisis Spektrum | 380-1000nm (mendukung perluasan hingga 193-2500nm) |
| Waktu Pengukuran Tunggal | ≤15 detik |
| Pengulangan Akurasi Pengukuran | 0,005 nm |
| Akurasi Mutlak (Pengukuran Udara Menyeluruh) | Parameter elipsometri: 4 = 45 ± 0,05°, A = 0 ± 0,1° Matriks Muller: Elemen diagonal m = 10,005 Elemen di luar diagonal m = 0 ± 0,005 |
| Indeks Bias Pengulangan Akurasi | 0,0005 |
| Ukuran Titik | Ukuran titik besar: 2-4 mm Ukuran titik kecil: 200 μm/100 μm Ukuran titik ultra-kecil: 50 μm (tergantung panjang gelombang) |
Indeks akurasi pengulangan didasarkan pada 30 pengukuran berulang dari sampel standar SiO2/Si 100nm;
Parameter teknis spesifik instrumen berkaitan dengan modul fungsional dan aksesori yang sebenarnya, dan data dalam tabel hanya untuk referensi.
Konfigurasi Opsional
| Pemilihan Band | VN: 380-1650nm |
| V: 380-1000nm | PBB: 210-1650nm |
| UV: 245-1000nm | DN: 193-1650nm |
| UV+: 210-1000nm | UN+: 210-2500nm |
| DUV: 193-1000nm | DN+: 193-2500nm |
Pemilihan Sudut
Tetap: 65°
Otomatis: 45-90°
Manual: 45-90° (peningkatan 5°)
Opsi Lainnya
Opsi Pemetaan: 100*100mm/200*200mm
Tahap Kontrol Suhu: 190-550°C/RT-1000°C
Tentang Kami
Profil Pabrik
Mengapa Memilih Kami?
Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)
Q1: Siapakah kami?
A1: Didirikan pada tahun 2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd telah berkembang secara berkelanjutan dan lulus sertifikasi ISO 9001 Rheinland.
Dengan pusat penggilingan lima sumbu kelas atas SACCKE Jerman, pusat inspeksi alat enam sumbu ZOLLER Jerman, mesin PALMARY Taiwan, dan peralatan manufaktur canggih internasional lainnya, kami berkomitmen untuk memproduksi alat CNC kelas atas, profesional, dan efisien.
Q2: Apakah Anda perusahaan perdagangan atau produsen?
A2: Kami adalah pabrik perkakas karbida.
Q3: Bisakah Anda mengirim produk ke perusahaan pengiriman barang kami di China?
A3: Ya, jika Anda memiliki perusahaan pengiriman barang di China, kami dengan senang hati akan mengirimkan produk kepada mereka.
Q4: Apa syarat pembayaran yang dapat diterima?
A4: Biasanya kami menerima pembayaran melalui T/T.
Q5: Apakah Anda menerima pesanan OEM?
A5: Ya, OEM dan kustomisasi tersedia, dan kami juga menyediakan layanan pencetakan label.
Q6: Mengapa Anda harus memilih kami?
A6:1) Pengendalian biaya - membeli produk berkualitas tinggi dengan harga yang sesuai.
2) Respons cepat - dalam waktu 48 jam, personel profesional akan memberikan penawaran harga dan menjawab pertanyaan Anda.
3) Kualitas tinggi - Perusahaan selalu membuktikan dengan niat tulus bahwa produk yang disediakannya 100% berkualitas tinggi.
4) Layanan purna jual dan panduan teknis - Perusahaan menyediakan layanan purna jual dan panduan teknis sesuai dengan kebutuhan dan persyaratan pelanggan.
Kirim pesan Anda kepada kami:
-
Pegas 3C Presisi Tinggi dengan Lubang Bulat dan Permukaan Halus...
-
Chuck Bor CNC Morse Pabrik dengan Arbor Tangkai R8 M...
-
Pemegang Alat Pengetap MTA-GT BT-GT NT-GT
-
Pengukuran Citra Optik 2.5D Otomatis Presisi Tinggi...
-
MORSE TAPER COLLET CHUCK ER
-
Alat Spindel Mesin Bubut Penggilingan R8-ER32 Collet Chuc...
