Բարձր ճշգրտության սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետր | Ոչ-քայքայիչ բարակ թաղանթի հաստության և բեկման ինդեքսի չափման համակարգ

Այս սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը բարձր ճշգրտության օպտիկական չափագիտական համակարգ է, որը նախատեսված է բարակ թաղանթների և ծավալային նյութերի ոչ ապակառուցողական բնութագրման համար: Հիմնվելով էլիպսոմետրիայի առաջադեմ սկզբունքների վրա, այն չափում է բևեռացման վիճակի փոփոխությունները (ամպլիտուդի հարաբերակցություն Ψ և փուլային տարբերություն Δ)՝ ճշգրիտ օպտիկական հաստատուններ և կառուցվածքային պարամետրեր ստանալու համար:

Կրկնելիության չափման ճշգրտություն՝0.005 նմ

Բրենդ՝ՄՍԿ

Միակ չափման ժամանակը.≤15 վայրկյան

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

Պատվիրելու հրահանգներ

Ապրանքի առանձնահատկության պատճառով էջում նշված գինը կանխավճար է, այլ ոչ թե իրական գինը։ Խնդրում ենք կապվել հաճախորդների սպասարկման հետ՝ գնանշում ստանալու համար։

Առանց նախնական կապի անմիջապես կատարված պատվերները չեն կարող առաքվել։ Շնորհակալություն համագործակցության համար։ Ապրանքի մասին լրացուցիչ տեղեկությունների համար խնդրում ենք կապվել հաճախորդների սպասարկման ծառայության հետ՝ ապրանքի մասին գրքույկներ ստանալու համար։

@mskcnctool #էլիպսոմետր #բարակթաղանթ #կիսահաղորդիչներիարտադրություն #մետրոլոգիա #օպտիկականծածկույթ #պիտակայինսարքավորումներ #արևայինէլեմենտ #արտադրականտեխնոլոգիա #ճշգրիտչափում ♬ բնօրինակ ձայն - MSK CNC գործիքներ

Հիմնական չափումներ

Ֆիլմի հաստությունը (մեկից մինչև բազմաշերտ)

Բեկման ցուցիչ (n) և մարման գործակից (k)

Օպտիկական արգելակային գոտի (օրինակ)

Մակերեսի կոպտություն

Տեխնիկական առանձնահատկություններ

Լայն սպեկտրային տիրույթ. ուլտրամանուշակագույնից մինչև ինֆրակարմիր ճառագայթման ծածկույթ՝ բազմակողմանի նյութական վերլուծության համար

Բարձր զգայունություն. Կարող է չափել գերբարակ թաղանթներ մինչև ենթանանոմետրային մասշտաբով

Անկոնտակտ և ոչ ապակառուցողական. իդեալական է զգայուն նմուշների համար հետազոտությունների և զարգացման և արտադրական միջավայրերում

Առաջադեմ մոդելավորման ծրագրակազմ. Աջակցում է բարդ բազմաշերտ կույտի վերլուծությանը՝ օգտագործողին հարմար աշխատանքային հոսքերով։

Դիմումներ

Այս համակարգը լայնորեն կիրառվում է կիսահաղորդիչների արտադրության, օպտիկական ծածկույթների, հարթ վահանակների, ֆոտովոլտային (արևային մարտկոցների) մշակման, նյութագիտության հետազոտությունների և բիոզենսատորների մեջ։

Ինչու՞ ընտրել մեր լուծումը

Որպես մասնագիտացված արտադրող՝ հզոր հետազոտությունների և զարգացման հնարավորություններով, մենք առաջարկում ենք գործարանային ուղղակի գնագոյացում, հարմարեցվող կոնֆիգուրացիաներ և նվիրված տեխնիկական աջակցություն: Անկախ նրանից, թե ձեզ անհրաժեշտ է լաբորատոր վերլուծության համար սեղանադիր համակարգ, թե արտադրության մոնիթորինգի համար գծային լուծում, մենք կարող ենք հարմարեցնել գործիքը ձեր կոնկրետ չափման կարիքներին:

Հարցում գնանշման համար

Կապվեք մեզ հետ այսօր՝ ձեր դիմումը քննարկելու կամ գնանշում խնդրելու համար: Մեր թիմը տրամադրում է անվճար տեխնիկական խորհրդատվություն՝ ձեզ օգնելու ընտրել բարակ թաղանթի չափման օպտիմալ լուծումը:

Հիմնական տեխնիկական պարամետրեր

1. Չափման հնարավորություններ՝ 16-րդ կարգի Մյուլլերի մատրիցային տարրեր, բևեռացման սպեկտր Psi/Delta, բեկման ցուցիչ, հաստություն, կրկնակի բեկում և դիէլեկտրիկ հաստատուն և այլն:

2. Սպեկտրալ տիրույթ՝ 210նմ-1690նմ

3. Ալիքի երկարության միջակայք՝ ≤0.8 նմ @ 210-1000 նմ, ≤3.5 նմ @ 1000-1690 նմ

4. Միակ կետային չափման ժամանակը. ≤10 վայրկյան

5. Միկրո-բիծի չափը՝ ≤200μm

6. Մոդուլյացիայի տեխնոլոգիա. PCSCA կրկնակի պտտվող փոխհատուցման համակարգի մոդուլյացիա

7. Ավտոմատ նմուշառման փուլ. Z-առանցքի ավտոմատ ֆոկուսավորում, առավելագույն տեղաշարժ 18 մմ, նվազագույն քայլ 1 մկմ

8. Թաղանթի հաստության կրկնելիության ճշգրտությունը՝ ≤0.005 նմ (100 նմ SiO2/Si, 30 կրկնվող չափումներ, հաշվարկված որպես 1σ)

9. Բեկման ցուցիչի կրկնելիության ճշգրտություն՝ ≤0.0002 (100 նմ SiO2/Si, 30 կրկնվող չափումներ, հաշվարկված որպես 1σ)

10. Թաղանթի հաստության բացարձակ ճշգրտություն՝ ≤0.5% (100 նմ SiO2/Si, տրամադրված է երրորդ կողմի չափագիտական զեկույց)

11. Քարտեզագրման ֆունկցիա. Օգտագործում է բարձր ճշգրտությամբ x/y տիպի ավտոմատ սկանավորման բեմ, աջակցում է 2/4/6/8 դյույմանոց ենթաշերտերի ավտոմատ դիրքորոշմանը և սկանավորման չափմանը, կրկնելիության ճշգրտությունը՝ ≤6μm, մեկ սեղմումով 2D/3D թաղանթի հաստության բաշխման քարտեզների ստեղծում:

12. Լազերային տիրույթի որոշում և ֆոկուսավորում. Ֆոկուսային հեռավորության ավտոմատ դիրքավորում լազերային արտացոլման օպտիկական ուղու միջոցով, ֆոկուսավորման ընթացք ≤3 մմ

13. Տարբերության մոդել. Ավտոմատ կերպով հաշվարկում է psi-diff և delta-diff տարբերության տվյալները

14. Վերլուծության ծրագրակազմ. Առանձնանում է առնվազն 5 տարբեր չափման ռեժիմներով, ներկառուցված n/k տվյալների բազայով ավելի քան 100 օպտիկական նյութերի համար և աջակցում է անհատական տվյալների բազաների ստեղծմանը։ Ունի թեստավորման և մոդելավորման վերլուծության հնարավորություններ միաշերտ, բազմաշերտ (մինչև 30 շերտ) և կոմպոզիտային հերթագայող բարակ թաղանթների համար, ներառյալ կոշիի, Սելմայերի, Տաուկ-Լորենցի, Bspline և Օսիլյատոր մոդելները, և աջակցում է ծրագրային ապահովման օֆլայն լիցենզավորումը։

Տեխնիկական բնութագրեր

I. Սարքավորումների ներածություն

ME-Mapping Spectroellipsometry-ն առանձնանում է կրկնակի պտույտի փոխհատուցման մոդուլյացիայի տեխնոլոգիայով՝ համակցված բարձր ճշգրտության տվյալների վերլուծության ալգորիթմների հետ: Այն կարող է մեկ չափման մեջ ձեռք բերել Մյուլլերի մատրիցի և բևեռացման սպեկտրի բոլոր 16 տարրերը՝ հնարավորություն տալով արագ և ոչ դեստրուկտիվ նմուշի չափում: Սարքը հպարտանում է կայուն օպտիկական ուղու դիզայնով և օգտագործում է կիսահաղորդչային սառեցմամբ դետեկտոր, որը վայրկյանների ընթացքում ստանում է լույսի ինտենսիվության ազդանշաններ: Այն առաջարկում է ավելի արագ չափման արագություն և ավելի բարձր ճշգրտություն՝ աջակցելով տարբեր բարակ թաղանթային նյութերի համար հաստության, բեկման ցուցիչի, մարման գործակցի և օպտիկական դիէլեկտրիկ հաստատունի նման պարամետրերի ճշգրիտ չափմանը: Ավելին, այն կարող է հարմարեցվել տարբեր չափերի «վաֆլի կրկնվող դիրքավորման փուլերով»՝ տարբեր մեծ չափի նմուշների բազմակետային քարտեզագրման սկանավորման չափումների համար:

II. Կիրառման շրջանակը

Էլիպսոմետրիստները հիմնականում օգտագործվում են կիսահաղորդիչների, հարթ վահանակների, արևային ֆոտովոլտային էներգիայի, օպտիկական բարակ թաղանթների, օպտիկական կապի և նանոմատերիալների մեջ։

III. Ընդհանուր տեխնիկական պահանջներ

1. Տեխնիկական բնութագրեր՝
1.1 Չափման պարամետրեր՝ 16-րդ կարգի Մյուլլերի մատրիցային տարրեր, Psi/Delta, բեկման ցուցիչ, հաստություն, կրկնակի բեկում և դիէլեկտրիկ հաստատուն և այլն:
1.2 Սպեկտրալ տիրույթ՝ 210նմ-1690նմ;
1.3 Միակ կետային չափման ժամանակը. ≤10 վրկ;
1.4 Միկրոբատի չափսը՝ ≤200 մկմ;
1.5 Մոդուլյացիայի տեխնոլոգիա. PC1SCA կրկնակի պտույտի փոխհատուցման մոդուլյացիա;
1.6 Ավտոմատ նմուշառման փուլ. Աջակցում է ավտոմատ z-առանցքի ֆոկուսավորմանը, առավելագույն տեղաշարժ՝ 18 մմ, նվազագույն քայլ՝ 1 մկմ։
1.7 Թաղանթի հաստության կրկնելիության ճշգրտություն՝ ≤0.005 նմ (100 նմ SiO2/Si, 30 կրկնվող չափումներ, հաշվարկված 1σ);
1.8 Բեկման ցուցիչ Կրկնելիության ճշգրտություն՝ ≤0.0002 (100 նմ SiO2/Si, 30 կրկնվող չափումներ, հաշվարկված 1σ);
1.9 Թաղանթի հաստության բացարձակ ճշգրտություն՝ ≤0.5% (100 նմ SiO2/Si, տրամադրված է երրորդ կողմի չափագիտական զեկույց); μմ
1.10 Քարտեզագրման ֆունկցիա. Օգտագործում է բարձր ճշգրտությամբ x/y տիպի ավտոմատ սկանավորման բեմ, որը աջակցում է 2/4/6/8 դյույմանոց ենթաշերտերի ավտոմատ դիրքորոշմանը և սկանավորման չափմանը՝ ≤6μm կրկնելիության ճշգրտությամբ, և մեկ սեղմումով 2D/3D թաղանթի հաստության բաշխման քարտեզների ստեղծում։
1.11 Լազերային հեռաչափում և ֆոկուսավորում. Ֆոկուսային հեռավորությունը ավտոմատ կերպով դիրքավորում է լազերի անդրադարձման օպտիկական ուղու միջոցով՝ ≤3 մմ ֆոկուսաչափման անցումով։
1.12 Թաղանթի հաստության չափման միջակայքը՝ 1նմ-10մկմ;
1.13 Տարբերության մոդել. Ավտոմատ կերպով հաշվարկում է psi-diff և delta-diff տարբերության տվյալները։
1.14 Վերլուծության ծրագրակազմ.
* Սպեկտրոսկոպիկ չափման հնարավորություններ՝ ամբողջական Մյուլլերի մատրիցի 16 տարրեր, Psi/Delta բևեռացման սպեկտրոսկոպիա, N/C/S, դեպոլարիզացիա և այլն։
* Տվյալների վերլուծության հնարավորություններ. Կարող է վերլուծել միաշերտ և բազմաշերտ (մինչև 20 շերտ) իզոտրոպ և անիզոտրոպ բարակ թաղանթային նյութերի հաստությունը և օպտիկական հաստատունները (n, k):
* Աջակցում է բազմաբաղադրիչ բարակ թաղանթների և զանգվածային նյութերի օպտիկական հաստատունների, բեկման ցուցիչի գրադիենտի բաշխման, համարժեք միջավայրի, կոպտության և այլնի մոդելներին։
* Աջակցում է օպտիկական հաստատունի և օսցիլյատորի ընդհանուր մոդելներին (Կոշիի մոդել, Լորենցի մոդել, Գաուսյան մոդել, Դրուդե, Սելմայեր և այլն), ինչպես նաև աջակցում է գրաֆիկական բազմաօսցիլյատորային հիբրիդային մոդելի համապատասխանեցմանը։
* Աջակցում է 2D/3D տեղագրական պատկերների արտածմանը, պատմական տվյալների դիտմանը, ինչպես նաև տվյալների և համապատասխան հաշվետվությունների արտահանմանն ու խմբագրմանը։
* Տվյալների ելքային ձևաչափեր՝ TXT, CSV, SNAP snapshot, raw spectrum, DAT և այլն։
* Աջակցում է փուլային ուշացման չափմանը, կարող է ստուգել փուլային ուշացումը, ազիմուտի անկյունը, օպտիկական պտտման անկյունը, ամպլիտուդի հարաբերակցությունը, կարգը և այլն։
* Ունի 1D/2D պարբերական ցանցային կառուցվածքի վերլուծության և մոդելավորման գործառույթներ։

2. Կարգավորումների ցանկ՝

1) Էլիպսոմետրի գլխավոր միավորի մեկ հավաքածու։

2) Էլիպսոմետրիայի և վերլուծիչի մեկական հավաքածու։

3) Ավտոմատ նմուշառման փուլի մեկ հավաքածու;

4) վերլուծության ծրագրերի մեկ հավաքածու։

5) Ստանդարտ սլայդների մեկ հավաքածու։

6) Մեկ համակարգիչ;

7) Մեկ հավաքածու վրիպազերծման գործիքներ;

8) Միկրոսկոպային հավաքման մեկ հավաքածու;

9) Մեկ վակուումային ադսորբցիոն պոմպ։

10) Մեկ քարտեզագրման սկանավորման փուլ։

3. Չափման և կառավարման համակարգիչ

Օգտագործում է առևտրային, արդյունաբերական համակարգիչ՝ Windows 10 օպերացիոն համակարգով, կենտրոնական պրոցեսոր՝ i7 պրոցեսոր, օպերատիվ հիշողություն՝ 15 ԳԲ, կոշտ սկավառակ՝ 1 ՏԲ, 24 դյույմանոց LCD մոնիտոր, ներառում է մկնիկ և ստեղնաշար։

4. Շրջակա միջավայրի և հզորության պահանջներ.

1) Հարթակի պահանջները՝ 2.0 մ (երկարություն) x 1.2 մ (լայնություն), բեռնունակությունը՝ 100 կգ-ից մեծ (խորհուրդ է տրվում օպտիկական թրթռման մեկուսացում):
2) Աշխատանքային ջերմաստիճանի միջակայք՝ 20~30°C
3) Հարաբերական խոնավություն՝ 35%~60%RH
4) Սնուցման լարումը՝ 220VAC
5) Փուլային հոսանք. RMS արժեքը 4A-ից պակաս է (220VAC);
6) Առավելագույն հզորություն՝ 800 Վտ

Էլիպսոմետրիայի չափման օբյեկտ

Էլիպսոմետրիայի չափման սկզբունքը

Էլիպսոմետրիկ վերլուծության գործընթաց

Մյուլլերի մատրիցային էլիպսոմետրիա

Սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետր բարակ թաղանթի համար

ME-L Մյուլլերի մատրիցային էլիպսոմետրիա

Հետազոտական մակարդակի լիովին ավտոմատ բարձր ճշգրտության Մյուլլերի մատրիցային էլիպսոմետրիա

Լիովին ավտոմատ անկյան կարգավորման և կենտրոնացման տեխնոլոգիա, մեկ սեղմումով արագ չափում

Ուղղորդվող ինտերակտիվ մարդ-մեքենա ինտերֆեյս, հարմար ծրագրային ապահովման շահագործման փորձ

Հարուստ նյութերի տվյալների բազա և ալգորիթմների մոդելների գրադարան, հզոր տվյալների վերլուծության հնարավորություններ

Տեխնիկական բնութագրեր

Մոդելի համարը	ՄԵ-Լ
Դիմումներ	Հետազոտական/ձեռնարկատիրական աստիճան
Հիմնական գործառույթներ	Psi/Delta, R/T, Մյուլլերի մատրից և այլ օպտիկական սենսորներ
Սպեկտրի վերլուծություն	380-1000 նմ (աջակցում է ընդլայնմանը մինչև 193-2500 նմ)
Միակ չափման ժամանակը	≤15 վայրկյան
Կրկնելիություն Չափման ճշգրտություն	0.005 նմ
Բացարձակ ճշգրտություն (օդի միջով անցնող չափում)	Էլիպսոմետրիայի պարամետրերը՝ 4 = 45 ± 0.05°, A = 0 ± 0.1° Մյուլլերի մատրից. Անկյունագծային տարր m = 10.005 Անկյունագծային տարր m = 0 ± 0.005
Բեկման ինդեքսի կրկնելիության ճշգրտություն	0.0005
Կետի չափս	Մեծ կետի չափսը՝ 2-4 մմ Փոքր կետի չափսը՝ 200 մկմ/100 մկմ Ուլտրա-փոքր բծի չափս՝ 50 մկմ (կախված ալիքի երկարությունից)

Կրկնելիության ճշգրտության ինդեքսը հիմնված է 100 նմ SiO2/Si ստանդարտ նմուշի 30 կրկնելի չափումների վրա։

Սարքի կոնկրետ տեխնիկական պարամետրերը կապված են իրական ֆունկցիոնալ մոդուլների և պարագաների հետ, և աղյուսակում ներկայացված տվյալները միայն հղման համար են։

Լրացուցիչ կոնֆիգուրացիաներ

Բազայի ընտրություն	VN: 380-1650 նմ
Վ: 380-1000 նմ	ՄԱԿ: 210-1650 նմ
Ուլտրամանուշակագույն ճառագայթում: 245-1000 նմ	DN: 193-1650 նմ
Ուլտրամանուշակագույն+: 210-1000 նմ	ՄԱԿ+: 210-2500 նմ
DUV: 193-1000 նմ	DN+: 193-2500 նմ

անկյան ընտրություն

Կայուն՝ 65°
Ավտոմատ՝ 45-90°
Ձեռքով. 45-90° (5° քայլով)

Այլ տարբերակներ

Քարտեզագրման տարբերակներ՝ 100*100մմ/200*200մմ

Ջերմաստիճանի կառավարման փուլ՝ 190-550°C/RT-1000°C

Մեր մասին

Հիմնադրված 2015 թվականին, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd-ն անընդհատ աճել է և անցել էRheinland ISO 9001 նույնականացումԳերմանական SACCKE բարձրակարգ հինգ առանցքային հղկման կենտրոնների, գերմանական ZOLLER վեց առանցքային գործիքների ստուգման կենտրոնի, Թայվանի PALMARY մեքենայի և այլ միջազգային առաջադեմ արտադրական սարքավորումների հետ մենք հանձնառու ենք արտադրելուբարձրակարգ, պրոֆեսիոնալ և արդյունավետCNC գործիք։

Մեր մասնագիտացումը բոլոր տեսակի պինդ կարբիդային կտրող գործիքների նախագծումն ու արտադրությունն է.Վերջնական աղացներ, հորատիչներ, լայնացնող սարքեր, ծորակներ և հատուկ գործիքներ։Մեր բիզնես փիլիսոփայությունն է մեր հաճախորդներին տրամադրել համապարփակ լուծումներ, որոնք կբարելավեն մեքենայական աշխատանքները, կբարձրացնեն արտադրողականությունը և կնվազեցնեն ծախսերը։Ծառայություն + Որակ + ԱրդյունավետությունՄեր խորհրդատվական թիմը նաև առաջարկում էարտադրական գիտելիքներ, ֆիզիկական և թվային լուծումների լայն տեսականիով, որոնք կօգնեն մեր հաճախորդներին անվտանգ կերպով կողմնորոշվել դեպի 4.0 արդյունաբերության ապագան: Մեր ընկերության ցանկացած կոնկրետ ոլորտի վերաբերյալ ավելի մանրամասն տեղեկությունների համար, խնդրում ենքուսումնասիրեք մեր կայքը orօգտագործեք «Կապ մեզ հետ» բաժինըուղղակիորեն կապվել մեր թիմի հետ։

Գործարանի պրոֆիլ

Ինչու՞ ընտրել մեզ

Հաճախակի տրվող հարցեր

Հարց 1. Ո՞վ ենք մենք։

A1: Հիմնադրված 2015 թվականին, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd-ն անընդհատ աճել է և անցել է Rheinland ISO 9001-ը:
Նույնականացում։ Գերմանական SACCKE բարձրակարգ հինգ առանցքային հղկման կենտրոնների, գերմանական ZOLLER վեց առանցքային գործիքների ստուգման կենտրոնի, Թայվանի PALMARY մեքենայի և այլ միջազգային առաջադեմ արտադրական սարքավորումների հետ մենք հանձնառու ենք արտադրել բարձրակարգ, պրոֆեսիոնալ և արդյունավետ CNC գործիքներ։

Հ2. Դուք առևտրային ընկերություն եք, թե՞ արտադրող։

A2: Մենք կարբիդային գործիքների գործարան ենք:

Հարց 3. Կարո՞ղ եք ապրանքներ ուղարկել մեր բեռնափոխադրողին Չինաստանում:

A3: Այո, եթե դուք ունեք Առաքիչ Չինաստանում, մենք ուրախ կլինենք նրան ապրանքներ ուղարկել:

Հարց 4. Ի՞նչ վճարման պայմաններ են ընդունելի։

A4: Սովորաբար մենք ընդունում ենք T/T:

Հարց 5. Դուք ընդունո՞ւմ եք OEM պատվերներ:

A5: Այո, OEM-ը և անհատականացումը հասանելի են, և մենք նաև տրամադրում ենք պիտակների տպագրության ծառայություն:

Հարց 6. Ինչո՞ւ պետք է մեզ ընտրեք։

A6:1) Ծախսերի վերահսկում - բարձրորակ ապրանքներ գնել համապատասխան գնով։

2) Արագ արձագանք՝ 48 ժամվա ընթացքում մասնագիտական անձնակազմը կտրամադրի ձեզ գնանշում և կանդրադառնա ձեր հարցերին։

3) Բարձր որակ - Ընկերությունը միշտ անկեղծ մտադրությամբ ապացուցում է, որ իր մատակարարած արտադրանքը 100% բարձրորակ է։

4) Հետվաճառքային սպասարկում և տեխնիկական ուղղորդում - Ընկերությունը տրամադրում է հետվաճառքային սպասարկում և տեխնիկական ուղղորդում հաճախորդի պահանջներին և կարիքներին համապատասխան:

Նախորդը՝ Բարձր ճշգրտության կոնտուրային չափման գործիք SP1000 | 2D պրոֆիլի և մակերեսի կոպտության չափիչ

Հաջորդը՝ Դյուրակիր մեծածավալ լազերային հետևորդ | Բարձր ճշգրտության 3D արդյունաբերական չափման համակարգ