Ýarymgeçirijiler fabrikalarynda, ylmy-barlag we işläp çykaryş laboratoriýalarynda we optiki örtük desgalarynda inçe plýonkalaryň takyk galyňlygyny we optiki häsiýetlerini bilmek örän möhümdir - ýöne däp bolan kontakt usullary inçe nusgalara zyýan ýetirip ýa-da möhüm maglumatlary goýberip biler. Şu gün MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. öz iň täze spektroskopik ellipsometrini yglan edýär, bu bolsa... üçin döredilen weýran etmeýän galyňlyk ölçeg guralydyr.wafer galyňlygyny ölçemek, refraksiýa görkezijisiniň analizi we köp gatlakly stekiň häsiýetlendirmesi.
Bu täze ulgam giň spektral diapazony, ýokary duýgurlygy we ulanyjy üçin amatly modelirleme programma üpjünçiligini birleşdirýär - bularyň hemmesi ykjam, ylmy derejeli platformada. Size örän inçe derweze oksidlerini, gün batareýalaryndaky şöhlelenme garşy örtükleri ýa-da çylşyrymly OLED steklerini ölçemeli bolsaňyz-da, MSK-nyň spektroskopik ellipsometri nusgaňyza degmezden ýa-da zyýan ýetirmezden ygtybarly, gaýtalanýan maglumatlary berýär.
"Inženerler köplenç takyklygy, tizligi we nusga howpsuzlygyny deňagramlaşdyrmakda kynçylyk çekýärler"diýip, MSK-nyň ýokary derejeli önüm müdiri aýtdy.“Biziň spektroskopik ellipsometrimiz bu meseläni çözýär – hakyky galyňlyk ölçeg guraly hökmünde, ol plastina galyňlygyny ölçemegi we optiki yzygiderlilik analizini birnäçe sekuntda üpjün edýär, dyrnaklanma ýa-da hapalanma howpy ýok.”
Näme üçin bu spektroskopik ellipsometri galyňlygy ölçeýji gural hökmünde saýlamaly
Bir tolkunly ýa-da mehaniki profillerden tapawutlylykda, bu spektroskopik ellipsometr polýarlaşdyrylan yşygy inçe plýonkanyň yşygyň polýarlaşma ýagdaýyny nähili üýtgedýändigini seljermek üçin ulanýar. Şol ölçegden soň, ol bir wagtyň özünde birnäçe parametrleri hasaplaýar:
- Plenkanyň galyňlygy (bir gatlaklydan çylşyrymly köp gatlakly steklere çenli)
- Döwülme görkezijisi (n) we öçme koeffisiýenti (k)
- Optiki zolak aralygy (Mysal üçin)
- Ýüziň bükülmesi
Köpugurly galyňlygy ölçeýän gural hökmünde, ol örän inçe (nanometrden kiçi) galyňlyklardan başlap, deňeşdirme boýunça galyň plýonkalara çenli galyňlyklary işläp bilýär - bu bolsa ony atom gatlagynyň çökündisinden mikron ölçegli polimer örtüklerine çenli hemme zat üçin amatly edýär.
Ýarymgeçirijileriň önümçiligi üçin zyýansyz wafer galyňlygynyň ölçegi örän möhümdir
Ýarym ýarym önümçilik üçin,wafer galyňlygyny ölçemekçökündi, aşındyrma we CMP proseslerini gözegçilikde saklamak üçin möhümdir. Şeýle-de bolsa, mehaniki stilus profilleri ýumşak plýonkalary dyrnap bilýär we optiki reflektometrler köplenç köp gatlakly steklar üçin duýgurlyga eýe bolmaýarlar.
MSK-nyň spektroskopik ellipsometri şu çäklendirmeleri ýeňip geçýär:
- Degişmeýän we zaýalamaýan – nagyşly plyonkalara ýa-da inçe plyonkalara zyýan ýetmek howpy ýok
- Ýokary duýgurlyk – plastina boýunça galyňlygyň subnanometr üýtgemelerini anyklap bilýär
- Köp gatlakly analiz – çylşyrymly gatlaklardaky (meselem, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) aýratyn gatlaklary özara gepleşiksiz ölçeýär
Ulgam 8 dýuýma (200 mm) çenli waferleri takyk ýerleşdirmegi goldaýan awtomatiki kartalaşdyrma tapgyryny öz içine alýar. Ulanyjylar bir gezek basmak bilen 2D we 3D galyňlyk paýlanyş kartalaryny döredip bilerler - bu bolsa prosesiň birmeňzeşligini gözegçilikde saklamak üçin iň amatlydyr.
Ýarymgeçirijilerden başga: giň ulanylyş çägi
Plastinka galyňlygyny ölçemek üçin optimizirlenen bolsa-da, bu spektroskopik ellipsometr köp pudaklara hyzmat edýär:
- Tekiz panelli displeýler – OLED we TFT gatlaklarynyň galyňlygyny ölçeýär
- Fotowoltaika – şöhlelenmä garşy örtükleri, açyk geçiriji oksidleri we siňdiriji gatlaklary häsiýetlendirýär
- Optiki örtükler – zolak geçiriji süzgüçleri, şöhlelenme garşy steýkleri we ýokary şöhlelenme aýnalaryny barlaň
- Materialşynaslyk – inçe plýonkalary, 2D materiallary we polimerleri öwrenmek
- Biosensing – funksionallaşdyrylan ýüzlerde molekulýar gatlaklary ýüze çykarmak
Enjamyň giň spektr diapazony (ultrafioletden infragyzyl şöhlelere çenli) oňa çuňňur ultrafiolet litografiýa plýonkalaryndan infragyzyl optik örtüklere çenli materiallary häsiýetlendirmäge mümkinçilik berýär.
Ösen, ýöne ulanmagy aňsat: Siziň üçin işleýän programma üpjünçiligi
Güýçli galyňlygy ölçeýän gural gündelik ulanyş üçin hem peýdaly bolmaly. MSK-nyňspektroskopik ellipsometraşakdaky aýratynlyklary öz içine alýan giňişleýin analiz programma üpjünçiligi bilen gelýär:
- Öňünden gurlan optiki yzygiderli maglumatlar bazasy – umumy ýarymgeçirijiler, dielektrikler we metallar bilen birlikde 100-den gowrak material
- Köp dispersiýa modelleri – Koşi, Sellmeýer, Tauk-Lorentz, B-splaýn, ossilýatorlar we başgalar
- Köp gatlakly armatura – 30 gatlaga çenli, şol sanda deňleşdirilen araçäkleri we ýüziň tekizligini goldaýar
- Bir gezek basmak bilen kartalaşdyrma – waferler we uly substratlar üçin galyňlygyň birmeňzeşligi baradaky hasabatlary awtomatiki usulda döredýär
- Oflaýn ygtyýarnama – guraly birikdirmezden, aýry-aýry kompýuterlerde maglumatlary seljermäge mümkinçilik berýär
Ýolbaşçylykly, interaktiw interfeýs okuw wagtyny azaldýar – täze ulanyjylar birnäçe minutda plastilin galyňlygyny ölçemegi amala aşyryp bilerler.
Ylmy-barlag we önümçilik gurşawlary üçin niýetlenen
MSK bu spektroskopik ellipsometri siziň zerurlyklaryňyza laýyk gelýän dürli konfigurasiýalarda hödürleýär:
- Stol üsti ulgamy – ylmy-barlag we işläp çykaryş laboratoriýalary we uniwersitet barlaglary üçin ajaýyp
- Kartalaşdyryş konfigurasiýasy – awtomatlaşdyrylan wafer skanirleme üçin ýokary takyklykly X/Y tapgyryny öz içine alýar
- Özleşdirip bolýan spektral diapazonlar – çuňňur UV (193nm)-den gysga tolkunly infragyzyl (2500nm)-e çenli
- Temperatura gözegçilik edilýän tapgyr opsiýalary – 1000°C çenli ýerinde ölçemek üçin
Bu enjam iki aýlanýan kompensator tehnologiýasyny ulanýar, bu tehnologiýa 16 Mueller matrisasynyň elementleriniň hemmesini bir gezek ölçeýär. Bu bolsa adaty ellipsometrlere garanyňda has baý maglumatlary berýär - esasanam anizotrop ýa-da depolýarizasiýa nusgalary üçin peýdalydyr.
Kritiki QC üçin ygtybarly iş görkezijisi
Önümçilik gurşawlary üçin gaýtalanmaklyk hemme zatdyr. MSK-nyň spektroskopik ellipsometri aşakdakylaryň netijesinde ajaýyp durnuklylygy üpjün edýär:
- Ýarymgeçirijili sowadyjy detektorlar – pes ses, ýokary dinamiki diapazon
- Lazer awtofokus – nusga boýunça yzygiderli fokus pozisiýasyny saklaýar
- Durnukly optiki ýol dizaýny – kalibrlemeleriň arasyndaky üýtgeşmäni azaldýar
Ulgam berk senagat standartlaryna laýyk gelýär we MSK standart nusgalardaky galyňlygyň mutlak takyklygyny barlamak üçin üçünji tarapyň metrologiýa hasabatlaryny hödürleýär.
Özleşdirme we goldaw – Siziň programmaňyza laýyklaşdyrylan
MSK her bir inçe plýonka ulanylyşynyň özboluşlydygyny düşünýär. Şonuň üçin kompaniýa aşakdakylary hödürleýär:
- Spektral diapazon giňeltmelerini öz islegiňize laýyk gelýän zolaklary saýlaň
- Ýöriteleşdirilen nusga tapgyrlary – standart däl wafer ölçegleri ýa-da geň görnüşli substratlar üçin
- Programma üpjünçiligini özleşdirmek – anyk analiz modellerini ýa-da awtomatlaşdyrma amallaryny goşmak
- Ýerinde gurnama we okuw – toparyňyzy çalt işe taýýarlaň
Bu ýokary takyklykly gural bolany üçin, önüm sahypasynda görkezilen baha diňe ilkinji tölegdir. MSK çynlakaý alyjylary zerur konfigurasiýaňyza esaslanyp, takyk baha almak üçin satuw topary bilen habarlaşmaga çagyrýar.
Mugt Tehniki Maslahat we Demo
Ellipsometriýanyň siziň materialyňyza laýyk gelýändigine ynanmaýarsyňyzmy? MSK mugt tehniki maslahat berýär.
Elýeterlilik we aragatnaşyk maglumatlary
Täze spektroskopik ellipsometr seriýasy global sargytlar üçin derrew elýeterlidir. Baha soramak, önümiň broşýurasyny almak ýa-da göni onlaýn görkezme guramak üçin:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK ýarymgeçiriji fabrikalaryndan, ylmy-barlag institutlaryndan, optik örtük öndürijilerinden we gün batareýalaryny öndürijilerinden - bir birliklerden başlap, köp ulgamlara çenli - soraglaryny kabul edýär.
MSK CNC gurallary barada
2015-nji ýylda esaslandyrylan we ISO 9001 sertifikatyna eýe bolan MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. ýokary takyklykly metrologiýa gurallarynda we CNC kesiji gurallarda ýöriteleşýär. Germaniýanyň we Taýwanyň önümçilik enjamlary we ýörite ylmy-barlag we işläp çykaryş topary bilen MSK Ýewropada, Amerikada we Aziýada müşderilere hyzmat edýär. Kompaniýanyň maksady materiallary häsiýetlendirmek we gaýtadan işlemek üçin öňdebaryjy, ygtybarly we tygşytly çözgütleri hödürlemekdir.
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 10-njy apreli
