Nas fábricas de semicondutores, nos laboratorios de I+D e nas instalacións de revestimento óptico, coñecer o grosor exacto e as propiedades ópticas das películas delgadas é fundamental; con todo, os métodos de contacto tradicionais poden danar mostras delicadas ou perder datos cruciais. Hoxe, MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. anuncia o seu último elipsómetro espectroscópico, un instrumento de medición de grosor non destrutivo deseñado paramedición do grosor da oblea, análise do índice de refracción e caracterización de apilamentos multicapa.
Este novo sistema combina un amplo rango espectral, alta sensibilidade e un software de modelado fácil de usar, todo nunha plataforma compacta de nivel de investigación. Tanto se precisa medir óxidos de porta ultrafinos, revestimentos antirreflexo en células solares ou complexas pilas OLED, o elipsómetro espectroscópico de MSK ofrece datos fiables e repetibles sen entrar en contacto nin danar a mostra.
"Os enxeñeiros adoitan ter dificultades para equilibrar a precisión, a velocidade e a seguridade das mostras"dixo un xestor de produtos sénior de MSK."O noso elipsómetro espectroscópico resolve iso: como un verdadeiro instrumento de medición de espesor, proporciona medición do espesor da oblea e análise da constante óptica en segundos, sen risco cero de rabuñaduras ou contaminación."
Por que elixir este elipsómetro espectroscópico como instrumento de medición de espesor?
A diferenza dos perfiladores de lonxitude de onda única ou mecánicos, este elipsómetro espectroscópico usa luz polarizada para analizar como unha película fina modifica o estado de polarización da luz. A partir desa medición, calcula varios parámetros simultaneamente:
- Grosor da película (desde unha soa capa ata complexas pilas multicapa)
- Índice de refracción (n) e coeficiente de extinción (k)
- banda prohibida óptica (Eg)
- Rugosidade da superficie
Como instrumento versátil para medir espesores, manexa espesores desde ultrafinas (subnanométricas) ata películas relativamente grosas, o que o fai axeitado para todo, dende a deposición de capas atómicas ata os revestimentos de polímeros a escala micrométrica.
Medición non destrutiva do grosor das obleas: fundamental para a produción de semicondutores
Para a fabricación de semicondutores,medición do grosor da obleaé esencial para controlar a deposición, o gravado e os procesos de CMP. Non obstante, os perfiladores mecánicos de punteiro poden raiar as películas brandas e os reflectómetros ópticos adoitan carecer de sensibilidade para apilamentos multicapa.
O elipsómetro espectroscópico de MSK supera estas limitacións:
- Sen contacto e non destrutivo: sen risco de danos ás obleas con patróns ou ás películas delicadas
- Alta sensibilidade: capaz de detectar variacións de grosor subnanométrico na oblea
- Análise multicapa: mide capas individuais en apilamentos complexos (por exemplo, SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) sen interferencias
O sistema inclúe unha plataforma de mapeo automático que admite obleas de ata 8 polgadas (200 mm) cun posicionamento preciso. Os usuarios poden xerar mapas de distribución de espesores en 2D e 3D cun só clic, o que é ideal para a monitorización da uniformidade do proceso.
Máis alá dos semicondutores: ampla gama de aplicacións
Aínda que está optimizado para a medición do grosor das obleas, este elipsómetro espectroscópico serve para moitas industrias:
- Pantallas planas: miden o grosor das capas OLED e TFT
- Fotovoltaica: caracterización de revestimentos antirreflectantes, óxidos condutores transparentes e capas absorbentes
- Revestimentos ópticos: verificación de filtros de paso de banda, apilamentos antirreflexo e espellos de alta reflectividade
- Ciencia dos materiais: estudo de películas delgadas, materiais bidimensionais e polímeros
- Biosensorización: detección de capas moleculares en superficies funcionalizadas
O amplo rango espectral do instrumento (desde o ultravioleta ata o infravermello próximo) permítelle caracterizar materiais desde películas de litografía ultravioleta profunda ata revestimentos ópticos infravermellos.
Avanzado pero doado de usar: software que funciona para ti
Un instrumento potente para medir o espesor tamén debe ser práctico para o uso diario. De MSKelipsómetro espectroscópicovén cun software de análise completo que inclúe:
- Base de datos de constantes ópticas preconstruída: máis de 100 materiais, incluíndo semicondutores, dieléctricos e metais comúns
- Modelos de dispersión múltiple: Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, osciladores e moitos máis
- Axuste multicapa: admite ata 30 capas, incluíndo interfaces graduadas e rugosidade superficial
- Mapeo cun só clic: xera automaticamente informes de uniformidade de espesor para obleas e substratos grandes
- Licenzas sen conexión: permite a análise de datos en ordenadores separados sen ocupar o instrumento
A interface guiada e interactiva reduce o tempo de formación: os novos usuarios poden realizar medicións rutineiras do grosor das obleas en cuestión de minutos.
Deseñado para entornos de investigación e produción
MSK ofrece este elipsómetro espectroscópico en múltiples configuracións para satisfacer as súas necesidades:
- Sistema de mesa: perfecto para laboratorios de I+D e investigación universitaria
- Configuración de mapeo: inclúe unha plataforma X/Y de alta precisión para a dixitalización automatizada de obleas
- Rangos espectrais personalizables: desde o ultravioleta profundo (193 nm) ata o infravermello de onda curta (2500 nm)
- Opcións de platina con control de temperatura: para medicións in situ de ata 1000 °C
O instrumento emprega tecnoloxía de compensador de dobre rotación, que mide os 16 elementos da matriz de Mueller nunha soa adquisición. Isto proporciona datos máis ricos que os elipsómetros convencionais, especialmente útil para mostras anisotrópicas ou despolarizantes.
Rendemento fiable para o control de calidade crítico
Para os entornos de produción, a repetibilidade é fundamental. O elipsómetro espectroscópico de MSK ofrece unha estabilidade excepcional grazas a:
- Detectores refrixerados por semicondutores: baixo ruído e alto rango dinámico
- Enfoque automático láser: mantén unha posición focal consistente en toda a mostra
- Deseño de ruta óptica estable: minimiza a deriva entre calibracións
O sistema cumpre cos rigorosos estándares da industria e MSK proporciona informes de metroloxía de terceiros para verificar a precisión absoluta do espesor en mostras estándar.
Personalización e asistencia: adaptadas á súa aplicación
MSK entende que cada aplicación de película fina é única. Por iso, a empresa ofrece:
- Extensións de rango espectral personalizadas: escolla as bandas que coincidan cos seus materiais
- Etapas de mostraxe especializadas: para tamaños de obleas non estándar ou substratos con formas estrañas
- Personalización do software: engadir modelos de análise específicos ou rutinas de automatización
- Instalación e formación in situ: poña o seu equipo ao día rapidamente
Dado que se trata dun instrumento de alta precisión, o prezo que aparece na páxina do produto é só un depósito. MSK invita aos compradores serios a contactar co equipo de vendas para obter un orzamento exacto baseado na configuración que requiran.
Consulta técnica e demostración gratuítas
Non tes claro se a elipsometría é axeitada para o teu material? MSK ofrece asesoramento técnico gratuíto.
Dispoñibilidade e información de contacto
A nova serie de elipsómetros espectroscópicos está dispoñible de inmediato para pedidos en todo o mundo. Para solicitar un orzamento, recibir un folleto do produto ou organizar unha demostración en liña:
Email: molly@mskcnctools.com
Teléfono: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK acolle con satisfacción consultas de fábricas de semicondutores, institutos de investigación, fabricantes de revestimentos ópticos e produtores de células solares, desde unidades individuais ata sistemas múltiples.
Acerca das ferramentas CNC MSK
Fundada en 2015 e certificada pola ISO 9001, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. especialízase en instrumentos de metroloxía de alta precisión e ferramentas de corte CNC. Con equipos de fabricación alemáns e taiwaneses e un equipo de I+D especializado, MSK atende a clientes en toda Europa, América e Asia. A misión da empresa é proporcionar solucións avanzadas, fiables e rendibles para a caracterización e o mecanizado de materiais.
Data de publicación: 10 de abril de 2026
