A félvezetőgyárakban, a kutatás-fejlesztési laboratóriumokban és az optikai bevonatokat készítő létesítményekben kritikus fontosságú a vékonyrétegek pontos vastagságának és optikai tulajdonságainak ismerete – a hagyományos érintkezési módszerek azonban károsíthatják a kényes mintákat, vagy elveszíthetik a fontos adatokat. Az MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. ma bejelentette legújabb spektroszkópiai ellipszométerét, egy roncsolásmentes vastagságmérő műszert, amelyet kifejezetten a következőkre terveztek:ostyavastagság mérése, törésmutató-elemzés és többrétegű rétegek jellemzése.
Ez az új rendszer széles spektrális tartományt, nagy érzékenységet és felhasználóbarát modellező szoftvert ötvöz – mindezt egy kompakt, kutatási minőségű platformon. Akár ultravékony kapuoxidokat, napelemek tükröződésmentes bevonatait vagy összetett OLED-kötegeket kell mérnie, az MSK spektroszkópiai ellipszométere megbízható, megismételhető adatokat szolgáltat a minta érintkezése vagy károsodása nélkül.
„A mérnökök gyakran küzdenek a pontosság, a sebesség és a minta biztonságának egyensúlyozásával.”mondta az MSK egyik vezető termékmenedzsere.„Spektroszkópiai ellipszométerünk megoldja ezt a problémát – valódi vastagságmérő műszerként másodpercek alatt méri a lapka vastagságát és elemzi az optikai állandót, nulla karcolás- vagy szennyeződésveszély mellett.”
Miért válassza ezt a spektroszkópos ellipszométert vastagságmérő eszközként?
Az egyhullámú vagy mechanikus profilkészítőkkel ellentétben ez a spektroszkópiai ellipszométer polarizált fényt használ annak elemzésére, hogy egy vékony film hogyan módosítja a fény polarizációs állapotát. Ebből a mérésből több paramétert számít ki egyszerre:
- Fóliavastagság (egyrétegűtől az összetett, többrétegű rétegekig)
- Törésmutató (n) és kioltási együttható (k)
- Optikai sávrés (pl.)
- Felületi érdesség
Sokoldalú vastagságmérő műszerként az ultravékony (nanométer alatti) és a viszonylag vastag filmek vastagságát is képes kezelni – így alkalmas mindenféle vizsgálatra, az atomi rétegleválasztástól a mikron méretű polimer bevonatokig.
Roncsolásmentes szeletvastagság-mérés – kritikus fontosságú a félvezetőgyártásban
A félvezetőgyártáshoz,ostyavastagság méréseelengedhetetlen a leválasztási, maratási és CMP-folyamatok szabályozásához. A mechanikus tapintós profilmérők azonban megkarcolhatják a lágy filmeket, és az optikai reflektométerek gyakran nem érzékenyek a többrétegű rétegek esetében.
Az MSK spektroszkópiai ellipszométere leküzdi ezeket a korlátokat:
- Érintésmentes és roncsolásmentes – nincs veszélye a mintázott ostyák vagy a kényes fóliák sérülésének
- Nagy érzékenység – képes a szubnanométeres vastagságváltozások észlelésére a lapkán
- Többrétegű elemzés – komplex rétegekben (pl. SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) lévő egyes rétegek mérése áthallás nélkül
A rendszer tartalmaz egy automatikus leképezőasztalt, amely akár 8 hüvelykes (200 mm) szeleteket is támogat precíz pozicionálással. A felhasználók egyetlen kattintással 2D és 3D vastagságeloszlási térképeket generálhatnak – ideális a folyamat egyenletességének monitorozásához.
Félvezetőkön túl: Széles alkalmazási kör
Bár a lapkavastagság mérésére optimalizálták, ez a spektroszkópiai ellipszométer számos iparágat kiszolgál:
- Síkképernyős kijelzők – OLED és TFT rétegvastagság mérése
- Fotovoltaikus rendszerek – tükröződésmentes bevonatok, átlátszó vezetőképes oxidok és abszorber rétegek jellemzése
- Optikai bevonatok – sáváteresztő szűrők, tükröződésmentesítő rétegek és nagy fényvisszaverő képességű tükrök ellenőrzése
- Anyagtudomány – vékonyrétegek, 2D anyagok és polimerek tanulmányozása
- Bioszenzorika – molekuláris rétegek detektálása funkcionalizált felületeken
A műszer széles spektrális tartománya (az ultraibolya tartománytól a közeli infravörös tartományig) lehetővé teszi az anyagok jellemzését a mély-UV litográfiai filmektől az infravörös optikai bevonatokig.
Fejlett, mégis könnyen használható: Szoftver, amely az Ön számára dolgozik
Egy nagy teljesítményű vastagságmérő műszernek praktikusnak is kell lennie a mindennapi használathoz. Az MSK...spektroszkópiai ellipszométerátfogó elemzőszoftverrel rendelkezik, amely a következőket tartalmazza:
- Előre elkészített optikai állandó adatbázis – több mint 100 anyag, beleértve a gyakori félvezetőket, dielektrikumokat és fémeket
- Többszörös diszperziós modellek – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, oszcillátorok és egyebek
- Többrétegű illesztés – akár 30 réteget is támogat, beleértve a fokozatos interfészeket és a felületi érdességet
- Egykattintásos leképezés – automatikusan generál vastagság-egyenletesség jelentéseket lapkákhoz és nagyméretű hordozókhoz
- Offline licencelés – lehetővé teszi az adatok elemzését külön számítógépeken a műszer összekapcsolása nélkül
Az interaktív, irányított felület csökkenti a betanulási időt – az új felhasználók perceken belül elvégezhetik a rutinszerű ostyavastagság-mérést.
Kutatási és termelési környezetre tervezve
Az MSK ezt a spektroszkópiai ellipszométert többféle konfigurációban kínálja, hogy megfeleljen az Ön igényeinek:
- Asztali rendszer – tökéletes K+F laboratóriumok és egyetemi kutatások számára
- Térképezési konfiguráció – nagy pontosságú X/Y állványt tartalmaz az automatizált wafer szkenneléshez
- Testreszabható spektrális tartományok – a mély UV-től (193 nm) a rövidhullámú infravörösig (2500 nm)
- Hőmérséklet-vezérelt tárgyasztal opciók – akár 1000 °C-os helyszíni mérésekhez
A műszer kettős forgó kompenzátoros technológiát használ, amely egyetlen mérés során mind a 16 Mueller-mátrix elemet méri. Ez gazdagabb adatokat biztosít, mint a hagyományos ellipszométerek – különösen hasznos anizotrop vagy depolarizáló minták esetén.
Megbízható teljesítmény kritikus minőségellenőrzéshez
Termelési környezetben az ismételhetőség mindennél fontosabb. Az MSK spektroszkópiai ellipszométere kivételes stabilitást biztosít a következőknek köszönhetően:
- Félvezetővel hűtött detektorok – alacsony zajszint, nagy dinamikatartomány
- Lézeres autofókusz – állandó fókuszpozíciót biztosít a mintán belül
- Stabil optikai útvonalkialakítás – minimalizálja a kalibrációk közötti eltolódást
A rendszer szigorú ipari szabványoknak felel meg, és az MSK harmadik féltől származó metrológiai jelentéseket biztosít a szabványos minták abszolút vastagságának pontosságának ellenőrzésére.
Testreszabás és támogatás – Az Ön alkalmazásához igazítva
Az MSK megérti, hogy minden vékonyréteg-alkalmazás egyedi. Ezért kínálja a vállalat:
- Egyedi spektrális tartománybővítések – válassza ki az anyagainak megfelelő sávokat
- Speciális mintaasztalok – nem szabványos ostyaméretekhez vagy szokatlan alakú aljzatokhoz
- Szoftver testreszabása – speciális elemzési modellek vagy automatizálási rutinok hozzáadása
- Helyszíni telepítés és képzés – gyors bevezetés csapatának
Mivel ez egy nagy pontosságú műszer, a termékoldalon feltüntetett ár csak előleg. Az MSK arra kéri a komoly vásárlókat, hogy vegyék fel a kapcsolatot az értékesítési csapattal a kívánt konfiguráció alapján kérendő pontos árajánlatért.
Ingyenes műszaki konzultáció és bemutató
Nem biztos benne, hogy az ellipszometria megfelelő-e az Ön anyagához? Az MSK ingyenes műszaki konzultációt kínál.
Elérhetőség és elérhetőségek
Az új spektroszkópiai ellipszométer sorozat azonnal elérhető globális megrendelésekre. Árajánlat kérése, termékismertető megtekintése vagy élő online bemutató egyeztetése:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
Az MSK szívesen fogadja a félvezetőgyártók, kutatóintézetek, optikai bevonatgyártók és napelemgyártók megkereséseit – az egyedi egységektől a több rendszerig.
Az MSK CNC szerszámokról
A 2015-ben alapított és ISO 9001 tanúsítvánnyal rendelkező MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. nagy pontosságú méréstechnikai eszközökre és CNC forgácsolószerszámokra specializálódott. Német és tajvani gyártóberendezésekkel, valamint elkötelezett K+F csapattal az MSK Európa-szerte, Amerikában és Ázsiában szolgálja ki ügyfeleit. A vállalat küldetése, hogy fejlett, megbízható és költséghatékony megoldásokat kínáljon az anyagjellemzők meghatározására és megmunkálására.
Közzététel ideje: 2026. április 10.
