Жарым өткөргүч фабрикаларында, илимий-изилдөө жана иштеп чыгуу лабораторияларында жана оптикалык каптоо жайларында жука пленкалардын так калыңдыгын жана оптикалык касиеттерин билүү абдан маанилүү - бирок салттуу байланыш ыкмалары назик үлгүлөргө зыян келтириши же маанилүү маалыматтарды өткөрүп жибериши мүмкүн. Бүгүн, MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. компаниясы өзүнүн эң акыркы спектроскопиялык эллипсометрин, ... үчүн иштелип чыккан бузбаган калыңдыкты өлчөөчү аспапты жарыялайт.пластинанын калыңдыгын өлчөө, сынуу көрсөткүчүн талдоо жана көп катмарлуу стек мүнөздөмөсү.
Бул жаңы система кеңири спектрдик диапазонду, жогорку сезгичтикти жана колдонуучуга ыңгайлуу моделдөө программасын айкалыштырат – мунун баары компакттуу, изилдөө деңгээлиндеги платформада. Сизге өтө жука дарбаза оксиддерин, күн батареяларындагы чагылдырууга каршы каптоолорду же татаал OLED стектерин өлчөө керекпи, MSK спектроскопиялык эллипсометри үлгүңүзгө тийбестен же зыян келтирбестен ишенимдүү, кайталануучу маалыматтарды берет.
«Инженерлер көп учурда тактыкты, ылдамдыкты жана үлгү коопсуздугун тең салмактоодо кыйналышат»,деди MSK компаниясынын улук продукт менеджери.«Биздин спектроскопиялык эллипсометр муну чечет – чыныгы калыңдыкты өлчөөчү аспап катары, ал пластинанын калыңдыгын өлчөө жана оптикалык константаны бир нече секунданын ичинде, чийилип же булгануу коркунучу жок анализдөө мүмкүнчүлүгүн берет».
Эмне үчүн бул спектроскопиялык эллипсометрди калыңдыкты өлчөөчү курал катары тандашыңыз керек
Бир толкун узундугундагы же механикалык профилдөөчүлөрдөн айырмаланып, бул спектроскопиялык эллипсометр жука пленка жарыктын поляризация абалын кандайча өзгөртөөрүн талдоо үчүн поляризацияланган жарыкты колдонот. Ал өлчөөнүн негизинде ал бир эле учурда бир нече параметрлерди эсептейт:
- Плёнканын калыңдыгы (бир катмардан татаал көп катмарлуу стектерге чейин)
- Сынуу көрсөткүчү (n) жана өчүү коэффициенти (k)
- Оптикалык тилке аралыгы (мисалы)
- Беттин оройлугу
Көп функциялуу калыңдыкты өлчөөчү аспап катары, ал өтө жука (нанометрден төмөн) баштап салыштырмалуу калың пленкаларга чейинки калыңдыктарды иштетет, бул аны атомдук катмарды чөктүрүүдөн микрон масштабындагы полимер каптоолорго чейин баарына ылайыктуу кылат.
Бузбаган пластинанын калыңдыгын өлчөө – жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн маанилүү
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн,пластинанын калыңдыгын өлчөөчөктүрүү, оюу жана CMP процесстерин көзөмөлдөө үчүн абдан маанилүү. Бирок, механикалык стилус профилдери жумшак пленкаларды чийип салышы мүмкүн, ал эми оптикалык рефлектометрлер көп учурда көп катмарлуу стектерге сезгичтикке ээ эмес.
MSK спектроскопиялык эллипсометри бул чектөөлөрдү жеңет:
- Байланышсыз жана бузулбайт – оймо-чиймелүү пластиналарга же назик пленкаларга зыян келтирүү коркунучу жок
- Жогорку сезгичтик – пластинанын калыңдыгынын нанометрден төмөн өзгөрүүлөрүн аныктоого жөндөмдүү
- Көп катмарлуу анализ – татаал стектерде (мисалы, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) өз-өзүнчө катмарларды кайчылаш талкуусуз өлчөйт.
Система 8 дюймга (200 мм) чейинки пластиналарды так жайгаштырууну колдогон автоматтык карта түзүү этабын камтыйт. Колдонуучулар бир чыкылдатуу менен 2D жана 3D калыңдыктагы бөлүштүрүү карталарын түзө алышат – бул процесстин бирдейлигин көзөмөлдөө үчүн идеалдуу.
Жарым өткөргүчтөрдөн тышкары: кеңири колдонуу диапазону
Бул спектроскопиялык эллипсометр пластинанын калыңдыгын өлчөө үчүн оптималдаштырылганы менен, көптөгөн тармактарга кызмат кылат:
- Жалпак панелдүү дисплейлер – OLED жана TFT катмарларынын калыңдыгын өлчөйт
- Фотоэлектрика – чагылдырууга каршы каптоолорду, тунук өткөргүч оксиддерди жана сиңирүүчү катмарларды мүнөздөйт
- Оптикалык каптоолор – тилкелүү өткөргүч чыпкаларды, чагылдырууга каршы стектерди жана жогорку чагылдыруучу күзгүлөрдү текшериңиз
- Материал таануу – жука пленкаларды, 2D материалдарды жана полимерлерди изилдөө
- Биосенсордук – функционалдаштырылган беттердеги молекулярдык катмарларды аныктоо
Аспаптын кеңири спектрдик диапазону (ультрафиолеттен жакын инфракызылга чейин) терең ультрафиолет литографиялык пленкалардан инфракызыл оптикалык каптоолорго чейинки материалдарды мүнөздөөгө мүмкүндүк берет.
Өркүндөтүлгөн, бирок колдонууга оңой: сиз үчүн иштеген программалык камсыздоо
Күчтүү калыңдыкты өлчөөчү аспап күнүмдүк колдонуу үчүн да практикалык болушу керек. MSK'sспектроскопиялык эллипсометртөмөнкүлөрдү камтыган комплекстүү талдоо программасы менен келет:
- Алдын ала түзүлгөн оптикалык туруктуу маалымат базасы – жалпы жарым өткөргүчтөрдү, диэлектриктерди жана металлдарды кошо алганда 100дөн ашык материалдар
- Көп дисперсиялык моделдер – Коши, Селлмейер, Таук-Лоренц, В-сплайн, осцилляторлор жана башкалар
- Көп катмарлуу орнотуу – 30га чейин катмарды, анын ичинде градацияланган интерфейстерди жана беттин тегиз эместигин колдойт
- Бир чыкылдатуу менен карта түзүү – пластиналар жана чоң субстраттар үчүн калыңдыктын бирдейлиги боюнча отчетторду автоматтык түрдө түзөт
- Оффлайн лицензиялоо – аспапты байланыштырбастан, өзүнчө компьютерлерде маалыматтарды талдоо мүмкүнчүлүгүн берет
Жетектелген, интерактивдүү интерфейс окутуу убактысын кыскартат – жаңы колдонуучулар пластинанын калыңдыгын кадимкидей өлчөөнү бир нече мүнөттүн ичинде аткара алышат.
Изилдөө жана өндүрүш чөйрөлөрү үчүн иштелип чыккан
MSK бул спектроскопиялык эллипсометрди сиздин муктаждыктарыңызга ылайыкташтыруу үчүн бир нече конфигурацияларда сунуштайт:
- Үстөл үстүндөгү система – илимий-изилдөө жана иштеп чыгуу лабораториялары жана университеттик изилдөөлөр үчүн идеалдуу
- Карта түзүү конфигурациясы – автоматташтырылган пластина сканерлөө үчүн жогорку тактыктагы X/Y этабын камтыйт
- Ыңгайлаштырылуучу спектрдик диапазондор – терең ультрафиолет нурларынан (193 нм) кыска толкундуу инфракызыл нурларга (2500 нм) чейин
- Температураны көзөмөлдөөчү этап параметрлери – 1000°C чейин жер-жерлерде өлчөө үчүн
Бул аспап кош айлануучу компенсатор технологиясын колдонот, ал бир эле учурда бардык 16 Мюллер матрицасынын элементтерин өлчөйт. Бул кадимки эллипсометрлерге караганда бай маалыматтарды берет – айрыкча анизотроптук же деполяризациялоочу үлгүлөр үчүн пайдалуу.
Критикалык сапатты көзөмөлдөө үчүн ишенимдүү аткаруу
Өндүрүш чөйрөсү үчүн кайталануучулук баарынан маанилүү. MSK спектроскопиялык эллипсометри төмөнкүлөрдүн аркасында өзгөчө туруктуулукту камсыз кылат:
- Жарым өткөргүч менен муздатылган детекторлор – аз ызы-чуу, жогорку динамикалык диапазон
- Лазердик автофокус – үлгү боюнча бирдей фокустук абалды сактайт
- Туруктуу оптикалык жолдун дизайны – калибрлөөлөрдүн ортосундагы жылышууну минималдаштырат
Система катуу тармактык стандарттарга жооп берет жана MSK стандарттуу үлгүлөрдөгү калыңдыктын абсолюттук тактыгын текшерүү үчүн үчүнчү тараптын метрологиялык отчетторун берет.
Ыңгайлаштыруу жана колдоо – сиздин тиркемеңизге ылайыкташтырылган
MSK ар бир жука пленка колдонуу уникалдуу экенин түшүнөт. Ошондуктан компания төмөнкүлөрдү сунуштайт:
- Спектрдик диапазондун кеңейтүүлөрүн ылайыкташтыруу – материалдарыңызга дал келген тилкелерди тандаңыз
- Адистештирилген үлгү этаптары – стандарттуу эмес пластина өлчөмдөрү же кызыктай формадагы субстраттар үчүн
- Программалык камсыздоону ыңгайлаштыруу – белгилүү бир талдоо моделдерин же автоматташтыруу процедураларын кошуу
- Жеринде орнотуу жана окутуу – командаңызды тез арада ишке ашырыңыз
Бул жогорку тактыктагы аспап болгондуктан, продукт барагында көрсөтүлгөн баа алдын ала төлөө гана болуп саналат. MSK олуттуу сатып алуучуларды сиздин талап кылынган конфигурацияңызга негизделген так баа алуу үчүн сатуу тобуна кайрылууга чакырат.
Акысыз техникалык консультация жана демо
Эллипсометрия сиздин материалыңызга туура келеби же жокпу, билбей жатасызбы? MSK акысыз техникалык консультация сунуштайт.
Бош орундар жана байланыш маалыматы
Жаңы спектроскопиялык эллипсометр сериясы дүйнөлүк буйрутмалар үчүн дароо жеткиликтүү. Бааны сурап билүү, продукт боюнча брошюра алуу же түз эфирдеги онлайн демонстрацияны уюштуруу үчүн:
Email: molly@mskcnctools.com
Телефон: 0086-13602071763
Веб:www.mskcnctools.com
MSK жарым өткөргүч фабрикаларынан, изилдөө институттарынан, оптикалык каптоо өндүрүүчүлөрүнөн жана күн батареяларын өндүрүүчүлөрдөн – бир блоктон баштап бир нече системаларга чейин – суроо-талаптарды кабыл алат.
MSK CNC куралдары жөнүндө
2015-жылы негизделген жана ISO 9001 сертификатына ээ болгон MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. компаниясы жогорку тактыктагы метрологиялык аспаптарды жана CNC кесүүчү аспаптарды чыгарууга адистешкен. Германиянын жана Тайвандын өндүрүш жабдуулары жана атайын илимий-изилдөө жана иштеп чыгуу тобу менен MSK Европа, Америка жана Азия боюнча кардарларга кызмат көрсөтөт. Компаниянын миссиясы - материалдарды мүнөздөө жана иштетүү үчүн өнүккөн, ишенимдүү жана үнөмдүү чечимдерди сунуштоо.
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 10-апрели
