Nínú àwọn ohun èlò ìwádìí semiconductor fab, àwọn ilé ìwádìí àti ìwádìí, àti àwọn ohun èlò ìbòrí optical, mímọ ìwọ̀n àti àwọn ànímọ́ optical ti àwọn fíìmù tín-ín-rín ṣe pàtàkì - síbẹ̀ àwọn ọ̀nà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ìbílẹ̀ lè ba àwọn àpẹẹrẹ onírẹ̀lẹ̀ jẹ́ tàbí kí wọ́n pàdánù àwọn ìwífún pàtàkì. Lónìí, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. kéde ellipsometer tuntun rẹ̀, ohun èlò ìwọ̀n sisanra tí kò ní ìparun tí a ṣe fúnwiwọn sisanra wafer, ìṣàyẹ̀wò àtọ́ka ìfàmọ́ra, àti ìṣàfihàn àkójọpọ̀ onípele púpọ̀.
Ètò tuntun yìí parapọ̀ mọ́ àwọn ohun èlò ìrísí tó gbòòrò, ìfàmọ́ra gíga, àti sọ́fítíwè àwòṣe tó rọrùn láti lò - gbogbo wọn wà nínú ìpele kékeré kan, tó ní ìpele ìwádìí. Yálà o nílò láti wọn àwọn oxide gate ultra-tinrin, àwọn ìbòrí anti-reflection lórí àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn, tàbí àwọn àpapọ̀ OLED tó díjú, ellipsometer spectroscopic MSK ń fúnni ní ìwífún tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tó ṣeé tún ṣe láìsí pé o kàn sí tàbí ba àyẹ̀wò rẹ jẹ́.
“Àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ sábà máa ń jìjàkadì láti ṣe ìwọ̀n ìpele tó péye, iyàrá, àti ààbò àpẹẹrẹ,”Olùdarí ọjà MSK àgbà kan sọ bẹ́ẹ̀.“Ellipsometer spectroscopic wa yanjú pé – gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìwọ̀n ìwúwo gidi, ó ń fúnni ní ìwọ̀n ìwúwo wafer àti ìwádìí ìdúróṣinṣin opitika ní ìṣẹ́jú-àáyá, láìsí ewu ìfọ́ tàbí ìbàjẹ́.”
Kí ló dé tí o fi yan Ellipsometer Spectroscopic yìí gẹ́gẹ́ bí ohun èlò wíwọ̀n sísanra rẹ?
Láìdàbí àwọn àwòrán ìgbì kan tàbí àwọn ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra, ellipsometer onípele-ìwò-agbára yìí ń lo ìmọ́lẹ̀ onípele-ìwò-agbára láti ṣàyẹ̀wò bí fíìmù tín-ín-rín ṣe ń yí ipò ìfọ́mọ́ra ìmọ́lẹ̀ náà padà. Láti inú ìwọ̀n yẹn, ó ń ṣírò ọ̀pọ̀lọpọ̀ pàrámítà ní àkókò kan náà:
- Sisanra fíìmù (àwọn àkójọpọ̀ onípele kan sí àwọn tí ó ní oríṣiríṣi ìpele)
- Àtọ́ka Ìfàmọ́ra (n) àti ìṣọ̀kan ìparun (k)
- Ààlà ìpele ojú (Fún àpẹẹrẹ)
- Ríru ojú ilẹ̀
Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìwọ̀n sísanra tó lè wúlò, ó máa ń lo àwọn sísanra láti oríṣiríṣi (sub-nanometer) sí àwọn fíìmù tó nípọn díẹ̀ - èyí tó mú kí ó dára fún gbogbo nǹkan láti ìdúró atomiki sí àwọn ìbòrí polymer micron.
Wiwọn Sisanra Wafer Ti Ko Ni Iparun – Pataki fun Iṣelọpọ Semiconductor
Fun iṣelọpọ semiconductor,wiwọn sisanra waferÓ ṣe pàtàkì láti ṣàkóso ìfipamọ́, ìfọ́, àti àwọn ìlànà CMP. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra stylus lè fa àwọn fíìmù onírọ̀rùn, àti pé àwọn ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra optical kìí sábà ní ìmọ̀lára fún àwọn àkójọpọ̀ onípele púpọ̀.
Ẹ̀rọ ellipsometer MSK borí àwọn ààlà wọ̀nyí:
- Kò ní ìfọwọ́kan tàbí kò ní parun – kò sí ewu ìbàjẹ́ sí àwọn wafer tí a fi àwòrán ṣe tàbí àwọn fíìmù onírẹ̀lẹ̀
- Ìfàmọ́ra gíga - ó lè ṣàwárí àwọn ìyàtọ̀ nínípọn sub-nanometer kọjá wafer náà
- Ìṣàyẹ̀wò àwọn ìpele púpọ̀ – wọ́n àwọn ìpele kọ̀ọ̀kan nínú àwọn ìdìpọ̀ onípele (fún àpẹẹrẹ, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) láìsí ìjíròrò àdánidá
Ètò náà ní ìpele àwòrán aládàáṣe kan tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn wafers tó tó 8 inches (200mm) pẹ̀lú ipò pàtó. Àwọn olùlò lè ṣe àwòrán pínpín 2D àti 3D pẹ̀lú ìtẹ̀ kan ṣoṣo - èyí tí ó dára fún àbójútó ìbáramu ilana.
Kọja Semiconductors: Ibiti Lilo Gbangba
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a ṣe àtúnṣe rẹ̀ dáadáa fún wíwọ̀n ìwúwo wafer, ellipsometer onípele-ìwòye yìí ń ṣiṣẹ́ fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé-iṣẹ́:
- Àwọn ìfihàn pánẹ́lì alapin - wọ́n ìwọ̀n ìpele OLED àti TFT
- Àwọn fọ́tòvoltaics – ṣe àfihàn àwọn ìbòrí tí ó lòdì sí ìṣàn-àtúnṣe, àwọn oxides onítàn-ìtọ́sọ́nà, àti àwọn ìpele absorber
- Àwọn ìbòrí opitika - ṣàyẹ̀wò àwọn àlẹ̀mọ́ bandpass, àwọn àkójọpọ̀ ìdènà ìṣàfihàn, àti àwọn dígí ìṣàfihàn gíga
- Ìmọ̀ nípa ohun èlò - kẹ́ẹ̀kọ́ nípa àwọn fíìmù tín-tín, àwọn ohun èlò 2D, àti àwọn pólímà
- Bio-sensing - ṣawari awọn fẹlẹfẹlẹ molikula lori awọn oju ilẹ ti o ṣiṣẹ
Ìwọ̀n ìrísí onípele tí ó gbòòrò tí ohun èlò náà ní (láti ultraviolet sí infrared) jẹ́ kí ó ṣe àfihàn àwọn ohun èlò láti inú àwọn fíìmù lithography jinlẹ̀ sí àwọn ìbòrí infrared.
To ti ni ilọsiwaju sibẹsibẹ o rọrun lati lo: Sọfitiwia ti o ṣiṣẹ fun ọ
Ohun èlò ìwọ̀n sisanra tó lágbára gbọ́dọ̀ wúlò fún lílò lójoojúmọ́.ellipsometer onípele-ìwò-arawa pẹlu sọfitiwia itupalẹ kikun ti o ni awọn ẹya:
- Ibi ipamọ data opitika ti a ti kọ tẹlẹ - awọn ohun elo ti o ju 100 lọ pẹlu awọn semiconductors ti o wọpọ, awọn dielectrics, ati awọn irin
- Àwọn àwòṣe ìfọ́nká púpọ̀ – Cauchy, Sellmeier, Tauc‑Lorentz, B‑spline, oscillators, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ
- Fífi àwọn ìpele púpọ̀ sí i – ó lè gbé àwọn ìpele tó tó 30 sókè, títí kan àwọn ìsopọ̀ tí a ti ṣe àtúnṣe àti ìfọ́jú ojú ilẹ̀
- Ṣíṣàfihàn ẹ̀ẹ̀kan - máa ń ṣe àwọn ìròyìn ìṣọ̀kan tó nípọn fún àwọn wafers àti àwọn substrates ńlá láìfọwọ́sowọ́pọ̀
- Iwe-aṣẹ Aisinipo - ngbanilaaye itupalẹ data lori awọn kọnputa lọtọ laisi di ohun elo naa mọ
Ìbáṣepọ̀ tí a fi ìtọ́sọ́nà ṣe dín àkókò ìdánilẹ́kọ̀ọ́ kù - àwọn olùlò tuntun lè ṣe ìwọ̀n ìwúwo wafer déédéé láàrín ìṣẹ́jú díẹ̀.
A ṣe apẹrẹ fun Awọn agbegbe Iwadi & Iṣelọpọ
MSK n pese ellipsometer spectroscopic yii ni ọpọlọpọ awọn iṣeto lati baamu awọn aini rẹ:
- Eto Benchtop - pipe fun awọn ile-iṣẹ R&D ati iwadii ile-ẹkọ giga
- Ṣíṣeto àwòrán - pẹ̀lú ìpele X/Y tó péye tó ga jùlọ fún wíwo wáfárì aládàáṣe
- Àwọn ìwọ̀n ìrísí tí a lè ṣe àtúnṣe - láti UV jíjìn (193nm) sí infurarẹẹdi ìgbì kúkúrú (2500nm)
- Awọn aṣayan ipele ti a ṣakoso iwọn otutu - fun awọn wiwọn inu-ibiti titi di 1000°C
Ohun èlò náà ń lo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìyípadà onípele méjì, èyí tí ó ń wọn gbogbo àwọn èròjà matrix Mueller mẹ́rìndínlógún ní ìgbà kan ṣoṣo. Èyí ń fúnni ní ìwífún tó níye lórí ju àwọn ellipsometers ìbílẹ̀ lọ - èyí tó wúlò jùlọ fún àwọn àpẹẹrẹ anisotropic tàbí depolarizing.
Iṣẹ́ Gbẹ́kẹ̀lé fún Critical QC
Fún àyíká ìṣelọ́pọ́, ṣíṣe àtúnṣe ló ṣe pàtàkì jùlọ. ellipsometer spectroscopic MSK ń fúnni ní ìdúróṣinṣin tó tayọ nípasẹ̀:
- Àwọn ohun tí a fi ń ṣe àyẹ̀wò ìtútù Semiconductor – ariwo kékeré, ìwọ̀n agbára gíga
- Idojukọ aifọwọyi lesa - n ṣetọju ipo idojukọ deedee kọja ayẹwo naa
- Apẹrẹ ipa ọna opitika iduroṣinṣin - dinku yiyọ laarin awọn wiwọn
Ètò náà bá àwọn ìlànà tó lágbára mu ní ilé iṣẹ́, MSK sì ń pèsè àwọn ìròyìn metrology ẹni-kẹta láti jẹ́rìí sí i pé ó nípọn pátápátá lórí àwọn àpẹẹrẹ tó wọ́pọ̀.
Ṣíṣe àtúnṣe àti Àtìlẹ́yìn - A ṣe é fún ohun èlò rẹ
MSK mọ̀ pé gbogbo ohun èlò fíìmù aláwọ̀ dúdú jẹ́ àrà ọ̀tọ̀. Ìdí nìyí tí ilé-iṣẹ́ náà fi ń pèsè:
- Àwọn àfikún ìwọ̀n ìpele àdáni - yan àwọn ìpele tí ó bá àwọn ohun èlò rẹ mu
- Àwọn ìpele àpẹẹrẹ pàtàkì – fún àwọn ìwọ̀n wafer tí kìí ṣe déédé tàbí àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ tí ó ní ìrísí àjèjì
- Ṣíṣe àtúnṣe sọ́fítíwè - fi àwọn àwòṣe ìṣàyẹ̀wò pàtó tàbí àwọn ìṣe àdáṣe kún un
- Fifi sori ẹrọ ati ikẹkọ lori aaye - jẹ ki ẹgbẹ rẹ yara ni kiakia
Nítorí pé ohun èlò tó péye ni èyí, owó tí a fihàn lórí ojú ìwé ọjà náà jẹ́ owó ìdókòwò nìkan. MSK ń pe àwọn oníbàárà pàtàkì láti kàn sí àwọn ẹgbẹ́ títà ọjà náà fún ìdíyelé pàtó tí ó da lórí ìṣètò tí o fẹ́.
Ìgbìmọ̀ràn ìmọ̀-ẹ̀rọ ọ̀fẹ́ àti àfihàn
Ṣé o kò dá ọ lójú bóyá ellipsometry tọ́ fún ohun èlò rẹ? MSK ń fún ọ ní ìgbìmọ̀ràn ìmọ̀ ẹ̀rọ ọ̀fẹ́.
Wíwà àti Ìwífún Olùbásọ̀rọ̀
Ẹ̀rọ tuntun ellipsometer spectroscopic tuntun wà nílẹ̀ lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ fún àwọn àṣẹ kárí ayé. Láti béèrè fún ìdíyelé, gba ìwé ìkéde ọjà kan, tàbí ṣètò àfihàn lórí ayélujára láyìíká:
Email: molly@mskcnctools.com
Foonu: 0086-13602071763
Oju opo wẹẹbu:www.mskcnctools.com
MSK gba awọn ibeere lati ọdọ awọn ile-iṣẹ semiconductor fab, awọn ile-iṣẹ iwadii, awọn oluṣe awọ oju, ati awọn oluṣe sẹẹli oorun - lati awọn ẹya kan si awọn eto pupọ.
Nípa Àwọn Irinṣẹ́ MSK CNC
A dá MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. sílẹ̀ ní ọdún 2015 àti ní ìwé-ẹ̀rí ISO 9001, ó sì jẹ́ ògbóǹtarìgì nínú àwọn ohun èlò metrology tó péye àti àwọn irinṣẹ́ gígé CNC. Pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ ti Germany àti Taiwan àti ẹgbẹ́ R&D tó ya ara wọn sí mímọ́, MSK ń ṣiṣẹ́ fún àwọn oníbàárà jákèjádò Yúróòpù, Amẹ́ríkà, àti Éṣíà. Iṣẹ́ ilé-iṣẹ́ náà ni láti pèsè àwọn ojútùú tó ti pẹ́, tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tó sì wúlò fún ìṣàfihàn àti ẹ̀rọ ohun èlò.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-10-2026
