Em fábricas de semicondutores, laboratórios de P&D e instalações de revestimento óptico, conhecer a espessura exata e as propriedades ópticas de filmes finos é crucial – no entanto, os métodos de contato tradicionais podem danificar amostras delicadas ou perder dados importantes. Hoje, a MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. anuncia seu mais recente elipsômetro espectroscópico, um instrumento de medição de espessura não destrutivo projetado paramedição da espessura do wafer, análise do índice de refração e caracterização de pilhas multicamadas.
Este novo sistema combina uma ampla faixa espectral, alta sensibilidade e um software de modelagem intuitivo – tudo em uma plataforma compacta e de nível profissional para pesquisa. Seja para medir óxidos de porta ultrafinos, revestimentos antirreflexo em células solares ou estruturas complexas de OLEDs, o elipsômetro espectroscópico da MSK fornece dados confiáveis e repetíveis sem contato ou danos à sua amostra.
“Os engenheiros frequentemente enfrentam dificuldades para equilibrar precisão, velocidade e segurança das amostras.”disse um gerente sênior de produtos da MSK.“Nosso elipsômetro espectroscópico resolve isso – como um verdadeiro instrumento de medição de espessura, ele fornece medição da espessura do wafer e análise da constante óptica em segundos, com risco zero de arranhões ou contaminação.”
Por que escolher este elipsômetro espectroscópico como seu instrumento de medição de espessura?
Ao contrário dos perfilômetros mecânicos ou de comprimento de onda único, este elipsômetro espectroscópico utiliza luz polarizada para analisar como uma película fina modifica o estado de polarização da luz. A partir dessa medição, ele calcula múltiplos parâmetros simultaneamente:
- Espessura do filme (de camada única a pilhas complexas de múltiplas camadas)
- Índice de refração (n) e coeficiente de extinção (k)
- Banda proibida óptica (Eg)
- rugosidade da superfície
Como um instrumento versátil de medição de espessura, ele lida com espessuras que variam de filmes ultrafinos (subnanométricos) a filmes relativamente espessos, tornando-o adequado para tudo, desde deposição de camadas atômicas até revestimentos de polímeros em escala micrométrica.
Medição não destrutiva da espessura do wafer – Essencial para a produção de semicondutores
Para a fabricação de semicondutores,medição da espessura do waferÉ essencial controlar os processos de deposição, corrosão e CMP. No entanto, perfilômetros mecânicos de contato podem riscar filmes macios, e refletômetros ópticos frequentemente carecem de sensibilidade para estruturas multicamadas.
O elipsômetro espectroscópico do MSK supera essas limitações:
- Sem contato e não destrutivo – sem risco de danos a wafers padronizados ou filmes delicados.
- Alta sensibilidade – capaz de detectar variações de espessura subnanométricas em toda a pastilha.
- Análise multicamadas – mede camadas individuais em estruturas complexas (por exemplo, SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) sem interferência entre as camadas.
O sistema inclui um estágio de mapeamento automático que suporta wafers de até 8 polegadas (200 mm) com posicionamento preciso. Os usuários podem gerar mapas de distribuição de espessura em 2D e 3D com um único clique – ideal para monitoramento da uniformidade do processo.
Além dos semicondutores: ampla gama de aplicações
Embora otimizado para medição da espessura de wafers, este elipsômetro espectroscópico atende a diversos setores industriais:
- Monitores de tela plana – meça a espessura das camadas OLED e TFT.
- Fotovoltaica – caracterização de revestimentos antirreflexo, óxidos condutores transparentes e camadas absorvedoras.
- Revestimentos ópticos – verificar filtros passa-banda, camadas antirreflexo e espelhos de alta refletividade.
- Ciência dos materiais – estudo de filmes finos, materiais 2D e polímeros.
- Biossensoriamento – detecção de camadas moleculares em superfícies funcionalizadas
A ampla faixa espectral do instrumento (do ultravioleta ao infravermelho próximo) permite caracterizar materiais que vão desde filmes de litografia ultravioleta profundo até revestimentos ópticos infravermelhos.
Avançado, porém fácil de usar: um software que funciona para você.
Um instrumento de medição de espessura potente também precisa ser prático para o uso diário. MSK'selipsômetro espectroscópicoInclui um software de análise completo que apresenta:
- Banco de dados de constantes ópticas pré-construído – mais de 100 materiais, incluindo semicondutores, dielétricos e metais comuns.
- Múltiplos modelos de dispersão – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, osciladores e muito mais.
- Montagem multicamadas – suporta até 30 camadas, incluindo interfaces graduadas e rugosidade superficial.
- Mapeamento com um clique – gera automaticamente relatórios de uniformidade de espessura para wafers e substratos grandes.
- Licenciamento offline – permite a análise de dados em computadores separados sem ocupar o instrumento.
A interface guiada e interativa reduz o tempo de treinamento – novos usuários podem realizar medições de rotina da espessura de wafers em poucos minutos.
Projetado para ambientes de pesquisa e produção.
A MSK oferece este elipsômetro espectroscópico em diversas configurações para atender às suas necessidades:
- Sistema de bancada – perfeito para laboratórios de P&D e pesquisa universitária.
- Configuração de mapeamento – inclui mesa X/Y de alta precisão para digitalização automatizada de wafers.
- Faixas espectrais personalizáveis – do ultravioleta profundo (193 nm) ao infravermelho de ondas curtas (2500 nm)
- Opções de plataforma com controle de temperatura – para medições in situ até 1000 °C.
O instrumento utiliza tecnologia de compensador rotativo duplo, que mede todos os 16 elementos da matriz de Mueller em uma única aquisição. Isso proporciona dados mais ricos do que os elipsômetros convencionais – especialmente útil para amostras anisotrópicas ou despolarizantes.
Desempenho confiável para controle de qualidade crítico.
Em ambientes de produção, a repetibilidade é fundamental. O elipsômetro espectroscópico da MSK oferece estabilidade excepcional graças a:
- Detectores resfriados por semicondutores – baixo ruído, alta faixa dinâmica
- Foco automático a laser – mantém a posição focal consistente em toda a amostra.
- Design de percurso óptico estável – minimiza a deriva entre calibrações.
O sistema atende aos rigorosos padrões da indústria, e a MSK fornece relatórios de metrologia de terceiros para verificar a precisão absoluta da espessura em amostras padrão.
Personalização e suporte – adaptados à sua aplicação
A MSK entende que cada aplicação de película fina é única. É por isso que a empresa oferece:
- Extensões de faixa espectral personalizadas – escolha as bandas que correspondem aos seus materiais.
- Estágios de amostra especializados – para tamanhos de wafer não padronizados ou substratos com formatos irregulares.
- Personalização de software – adicione modelos de análise específicos ou rotinas de automação.
- Instalação e treinamento no local – capacite sua equipe rapidamente.
Por se tratar de um instrumento de alta precisão, o preço exibido na página do produto é apenas um sinal. A MSK convida os compradores interessados a entrarem em contato com a equipe de vendas para obter um orçamento exato com base na configuração desejada.
Consulta técnica e demonstração gratuitas
Não tem certeza se a elipsometria é adequada para o seu material? A MSK oferece consultoria técnica gratuita.
Disponibilidade e informações de contato
A nova série de elipsômetros espectroscópicos já está disponível para encomendas em todo o mundo. Para solicitar um orçamento, receber um folheto informativo ou agendar uma demonstração online ao vivo:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefone: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
A MSK recebe com prazer consultas de fábricas de semicondutores, institutos de pesquisa, fabricantes de revestimentos ópticos e produtores de células solares – desde unidades individuais até sistemas múltiplos.
Sobre as ferramentas CNC da MSK
Fundada em 2015 e certificada pela ISO 9001, a MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. é especializada em instrumentos de metrologia de alta precisão e ferramentas de corte CNC. Com equipamentos de fabricação alemães e taiwaneses e uma equipe dedicada de P&D, a MSK atende clientes na Europa, América e Ásia. A missão da empresa é fornecer soluções avançadas, confiáveis e econômicas para caracterização e usinagem de materiais.
Data da publicação: 10 de abril de 2026