Yarımkeçirici fabriklərdə, tədqiqat və inkişaf laboratoriyalarında və optik örtük müəssisələrində nazik təbəqələrin dəqiq qalınlığını və optik xüsusiyyətlərini bilmək vacibdir - lakin ənənəvi təmas üsulları həssas nümunələrə zərər verə və ya vacib məlumatları əldən verə bilər. Bu gün MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. şirkəti tərəfindən hazırlanmış dağıdıcı olmayan qalınlıq ölçən cihaz olan ən son spektroskopik ellipsometrini elan edir.lövhə qalınlığının ölçülməsi, refraktiv indeks analizi və çoxqatlı yığın xarakteristikası.
Bu yeni sistem geniş spektral diapazonu, yüksək həssaslığı və istifadəçi dostu modelləşdirmə proqram təminatını birləşdirir - hamısı kompakt, tədqiqat səviyyəli platformada. İstər ultra nazik qapı oksidlərini, istər günəş batareyalarındakı əks etdirmə əleyhinə örtükləri, istərsə də mürəkkəb OLED yığınlarını ölçməyiniz lazım olsun, MSK-nın spektroskopik ellipsometri nümunənizə toxunmadan və ya zərər vermədən etibarlı, təkrarlana bilən məlumatlar təqdim edir.
"Mühəndislər tez-tez dəqiqlik, sürət və nümunə təhlükəsizliyi arasında tarazlıq tapmaqda çətinlik çəkirlər"MSK-nın yüksək vəzifəli məhsul meneceri dedi.“Spektroskopik ellipsometrimiz bu problemi həll edir – əsl qalınlıq ölçən alət kimi, o, lövhə qalınlığının ölçülməsini və optik sabit analizini saniyələr ərzində, sıfır cızıqlanma və ya çirklənmə riski olmadan təmin edir.”
Niyə bu Spektroskopik Ellipsometri Qalınlıq Ölçmə Aləti kimi Seçməlisiniz
Tək dalğalı və ya mexaniki profil cihazlarından fərqli olaraq, bu spektroskopik ellipsometr nazik bir təbəqənin işığın polyarizasiya vəziyyətini necə dəyişdirdiyini təhlil etmək üçün polyarlaşdırılmış işığdan istifadə edir. Bu ölçmədən eyni anda birdən çox parametr hesablayır:
- Film qalınlığı (tək qatlıdan mürəkkəb çox qatlı yığınlara qədər)
- Sınma indeksi (n) və sönmə əmsalı (k)
- Optik zolaq boşluğu (Məsələn)
- Səth pürüzlülüyü
Çox yönlü qalınlıq ölçən cihaz kimi, ultra nazikdən (subnanometr) nisbətən qalın təbəqələrə qədər qalınlıqları emal edir və bu da onu atom təbəqəsinin çökməsindən mikron miqyaslı polimer örtüklərinə qədər hər şey üçün uyğun edir.
Dağıdıcı olmayan lövhə qalınlığının ölçülməsi - Yarımkeçirici istehsalı üçün vacibdir
Yarımkeçirici istehsalı üçün,lövhə qalınlığının ölçülməsiçökmə, aşındırma və CMP proseslərini idarə etmək üçün vacibdir. Bununla belə, mexaniki stilus profilləri yumşaq təbəqələri cıza bilər və optik reflektometrlər çox vaxt çoxqatlı yığınlar üçün həssaslığa malik deyillər.
MSK-nın spektroskopik ellipsometri bu məhdudiyyətləri aradan qaldırır:
- Təmasda olmayan və dağıdıcı olmayan – naxışlı lövhələrə və ya həssas təbəqələrə zərər vermə riski yoxdur
- Yüksək həssaslıq – lövhə boyunca subnanometr qalınlıq dəyişikliklərini aşkarlaya bilir
- Çoxqatlı analiz – mürəkkəb yığınlarda (məsələn, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) fərdi təbəqələri çarpaz müzakirə olmadan ölçür
Sistem, dəqiq yerləşdirmə ilə 8 düym (200 mm) ölçülü lövhələri dəstəkləyən avtomatik xəritələşdirmə mərhələsini əhatə edir. İstifadəçilər bir kliklə 2D və 3D qalınlıq paylama xəritələri yarada bilərlər - bu, prosesin vahidliyini izləmək üçün idealdır.
Yarımkeçiricilərdən kənarda: Geniş tətbiq diapazonu
Plitənin qalınlığının ölçülməsi üçün optimallaşdırılsa da, bu spektroskopik ellipsometr bir çox sənaye sahələrinə xidmət göstərir:
- Düz panelli displeylər – OLED və TFT təbəqə qalınlığını ölçün
- Fotovoltaiklər – əks etdirmə əleyhinə örtükləri, şəffaf keçirici oksidləri və udma təbəqələrini xarakterizə edir
- Optik örtüklər – zolaq keçirici filtrləri, əks etdirmə əleyhinə yığınları və yüksək əks etdirmə güzgülərini yoxlayın
- Materialşünaslıq – nazik təbəqələri, 2D materialları və polimerləri öyrənir
- Biosensasiya – funksionallaşdırılmış səthlərdə molekulyar təbəqələri aşkar etmək
Cihazın geniş spektral diapazonu (ultrabənövşəyi şüalardan yaxın infraqırmızı şüalara qədər) dərin UB litoqrafiya filmlərindən infraqırmızı optik örtüklərə qədər materialları xarakterizə etməyə imkan verir.
İnkişaf etmiş, lakin istifadəsi asan: Sizin üçün işləyən proqram təminatı
Güclü qalınlıq ölçən cihaz gündəlik istifadə üçün də praktik olmalıdır. MSK-larspektroskopik ellipsometrxüsusiyyətləri olan hərtərəfli analiz proqramı ilə gəlir:
- Əvvəlcədən qurulmuş optik sabit məlumat bazası – ümumi yarımkeçiricilər, dielektriklər və metallar da daxil olmaqla 100-dən çox material
- Çoxsaylı dispersiya modelləri – Koşi, Sellmeyer, Tauk-Lorentz, B-spline, osilatorlar və s.
- Çoxqatlı montaj – pilləli interfeyslər və səth pürüzlülüyü daxil olmaqla 30-a qədər təbəqəni dəstəkləyir
- Bir kliklə xəritələşdirmə – lövhələr və böyük substratlar üçün avtomatik olaraq qalınlıq vahidliyi hesabatları yaradır
- Oflayn lisenziyalaşdırma – aləti bağlamadan ayrı kompüterlərdə məlumatların təhlilinə imkan verir
Rəhbərli, interaktiv interfeys təlim müddətini azaldır - yeni istifadəçilər bir neçə dəqiqə ərzində lövhə qalınlığının adi ölçülməsini həyata keçirə bilərlər.
Tədqiqat və İstehsal Mühitləri üçün hazırlanmışdır
MSK, ehtiyaclarınıza uyğun olaraq bu spektroskopik ellipsometri birdən çox konfiqurasiyada təklif edir:
- Dəzgah sistemi – Tədqiqat və İnkişaf laboratoriyaları və universitet tədqiqatları üçün idealdır
- Xəritəçəkmə konfiqurasiyası – avtomatlaşdırılmış lövhə skanlaması üçün yüksək dəqiqlikli X/Y mərhələsini əhatə edir
- Özelleştirilebilir spektral diapazonlar – dərin UB-dən (193nm) qısa dalğalı infraqırmızıya (2500nm) qədər
- Temperaturla idarə olunan mərhələ seçimləri – 1000°C-yə qədər yerində ölçmələr üçün
Cihaz, bütün 16 Mueller matrix elementini tək bir əldə etmə ilə ölçən ikili fırlanan kompensator texnologiyasından istifadə edir. Bu, ənənəvi ellipsometrlərdən daha zəngin məlumat təmin edir - xüsusən də anizotrop və ya depolyarizasiya edən nümunələr üçün faydalıdır.
Kritik QC üçün etibarlı performans
İstehsal mühitləri üçün təkrarlanma hər şeydir. MSK-nın spektroskopik ellipsometri aşağıdakılar sayəsində müstəsna sabitlik təmin edir:
- Yarımkeçiricilərlə soyudulan detektorlar – aşağı səs-küy, yüksək dinamik diapazon
- Lazer avtofokusu – nümunə boyunca sabit fokus mövqeyini saxlayır
- Sabit optik yol dizaynı – kalibrləmələr arasındakı sürüşməni minimuma endirir
Sistem ciddi sənaye standartlarına cavab verir və MSK standart nümunələrdə mütləq qalınlıq dəqiqliyini yoxlamaq üçün üçüncü tərəf metrologiya hesabatları təqdim edir.
Fərdiləşdirmə və Dəstək – Tətbiqinizə Uyğunlaşdırılmış
MSK hər bir nazik təbəqə tətbiqinin unikal olduğunu başa düşür. Buna görə də şirkət təklif edir:
- Xüsusi spektral diapazon uzantıları – materiallarınıza uyğun zolaqları seçin
- Xüsusi nümunə mərhələləri – qeyri-standart lövhə ölçüləri və ya qəribə formalı substratlar üçün
- Proqram təminatının fərdiləşdirilməsi – xüsusi analiz modelləri və ya avtomatlaşdırma prosedurları əlavə edin
- Yerində quraşdırma və təlim – komandanızı tez bir zamanda işə hazırlayın
Bu, yüksək dəqiqlikli bir cihaz olduğundan, məhsul səhifəsində göstərilən qiymət yalnız depozitdir. MSK ciddi alıcıları tələb olunan konfiqurasiyaya əsasən dəqiq qiymət təklifi almaq üçün satış qrupu ilə əlaqə saxlamağa dəvət edir.
Pulsuz Texniki Məsləhət və Demo
Ellipsometriyanın materialınız üçün uyğun olub-olmadığından əmin deyilsiniz? MSK pulsuz texniki məsləhət təklif edir.
Mövcudluq və Əlaqə Məlumatı
Yeni spektroskopik ellipsometr seriyası qlobal sifarişlər üçün dərhal mövcuddur. Qiymət təklifi almaq, məhsul broşürü almaq və ya canlı onlayn nümayiş təşkil etmək üçün:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Veb:www.mskcnctools.com
MSK, yarımkeçirici fabriklərindən, tədqiqat institutlarından, optik örtük istehsalçılarından və günəş batareyası istehsalçılarından - tək qurğulardan tutmuş çoxlu sistemlərə qədər - sorğuları qəbul edir.
MSK CNC Alətləri haqqında
2015-ci ildə təsis edilmiş və ISO 9001 sertifikatına malik MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. yüksək dəqiqlikli metrologiya alətləri və CNC kəsmə alətləri üzrə ixtisaslaşıb. Alman və Tayvan istehsal avadanlıqları və xüsusi tədqiqat və inkişaf qrupu ilə MSK, Avropa, Amerika və Asiyadakı müştərilərə xidmət göstərir. Şirkətin missiyası material xarakteristikası və emalı üçün qabaqcıl, etibarlı və səmərəli həllər təqdim etməkdir.
Yazı vaxtı: 10 aprel 2026
