सेमीकंडक्टर फॅब्स, संशोधन आणि विकास प्रयोगशाळा (R&D लॅब्स) आणि ऑप्टिकल कोटिंग सुविधांमध्ये, पातळ थरांची अचूक जाडी आणि ऑप्टिकल गुणधर्म जाणून घेणे अत्यंत महत्त्वाचे असते – तरीही, पारंपरिक संपर्क पद्धतींमुळे नाजूक नमुन्यांचे नुकसान होऊ शकते किंवा महत्त्वपूर्ण माहिती मिळू शकत नाही. आज, एमएसके (तियानजिन) इंटरनॅशनल ट्रेडिंग कंपनी लिमिटेडने आपले नवीनतम स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर सादर केले आहे, जे एक विनाशरहित जाडी मोजणारे उपकरण असून ते खास यासाठी तयार केले आहे.वेफरच्या जाडीचे मोजमाप, अपवर्तनांक विश्लेषण आणि बहु-स्तरीय स्टॅक वैशिष्ट्यीकरण.
ही नवीन प्रणाली विस्तृत स्पेक्ट्रल रेंज, उच्च संवेदनशीलता आणि वापरण्यास-सोपे मॉडेलिंग सॉफ्टवेअर या सर्वांना एका कॉम्पॅक्ट, संशोधन-दर्जाच्या प्लॅटफॉर्ममध्ये एकत्र आणते. तुम्हाला अत्यंत पातळ गेट ऑक्साइड्स, सौर पेशींवरील अँटी-रिफ्लेक्शन कोटिंग्ज किंवा जटिल OLED स्टॅक्स मोजायचे असले तरी, MSK चे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर तुमच्या नमुन्याला स्पर्श न करता किंवा नुकसान न पोहोचवता विश्वसनीय, पुनरावृत्तीयोग्य डेटा प्रदान करते.
अभियंत्यांना अनेकदा अचूकता, वेग आणि नमुन्याची सुरक्षितता यांच्यात संतुलन साधण्यासाठी संघर्ष करावा लागतो.असे एमएसकेच्या एका वरिष्ठ उत्पादन व्यवस्थापकाने सांगितले.आमचे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर ही समस्या सोडवते – जाडी मोजण्याचे एक अचूक उपकरण म्हणून, ते काही सेकंदात वेफरच्या जाडीचे मोजमाप आणि ऑप्टिकल स्थिरांकांचे विश्लेषण करते, तसेच ओरखडे पडण्याचा किंवा दूषित होण्याचा कोणताही धोका नसतो.
जाडी मोजण्याचे उपकरण म्हणून हे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर का निवडावे?
एकल-तरंगलांबी किंवा यांत्रिक प्रोफाइलर्सच्या विपरीत, हे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर एक पातळ थर प्रकाशाच्या ध्रुवीकरण स्थितीत कसा बदल करतो याचे विश्लेषण करण्यासाठी ध्रुवीकृत प्रकाशाचा वापर करते. त्या मोजमापावरून, ते एकाच वेळी अनेक पॅरामीटर्सची गणना करते:
- फिल्मची जाडी (एकल-स्तरापासून ते जटिल बहु-स्तर स्टॅकपर्यंत)
- अपवर्तनांक (n) आणि क्षीणता गुणांक (k)
- ऑप्टिकल बँड गॅप (Eg)
- पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा
एक बहुउपयोगी जाडी मोजणारे उपकरण म्हणून, ते अति-पातळ (सब-नॅनोमीटर) पासून ते तुलनेने जाड फिल्म्सपर्यंतची जाडी हाताळते – ज्यामुळे ते ॲटोमिक लेयर डिपॉझिशनपासून ते मायक्रॉन-स्केल पॉलिमर कोटिंग्सपर्यंत सर्व गोष्टींसाठी उपयुक्त ठरते.
वेफरच्या जाडीचे विनाशरहित मापन – सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी महत्त्वपूर्ण
सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी,वेफरच्या जाडीचे मोजमापनिक्षेपण, नक्षीकाम आणि सीएमपी प्रक्रिया नियंत्रित करणे आवश्यक आहे. तथापि, मेकॅनिकल स्टायलस प्रोफाइलर्स मऊ फिल्म्सना ओरखडू शकतात आणि ऑप्टिकल रिफ्लेक्टोमीटर्समध्ये अनेकदा बहु-स्तरीय थरांसाठी संवेदनशीलतेचा अभाव असतो.
एमएसकेचे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर या मर्यादांवर मात करते:
- संपर्करहित आणि विनाशरहित – नक्षीदार वेफर्स किंवा नाजूक फिल्म्सना नुकसान होण्याचा धोका नाही.
- उच्च संवेदनशीलता – वेफरवरील उप-नॅनोमीटर जाडीतील फरक ओळखण्यास सक्षम
- बहु-स्तरीय विश्लेषण – क्रॉस-टॉकशिवाय जटिल थरांमधील (उदा., SiO₂/Si₃N₄/poly-Si) प्रत्येक थराचे मापन करते.
या प्रणालीमध्ये एक स्वयंचलित मॅपिंग स्टेज समाविष्ट आहे, जो ८ इंच (२०० मिमी) पर्यंतच्या वेफर्सना अचूक स्थितीसह आधार देतो. वापरकर्ते एका क्लिकवर २डी आणि ३डी जाडी वितरण नकाशे तयार करू शकतात – जे प्रक्रियेच्या एकसमानतेच्या देखरेखीसाठी आदर्श आहे.
सेमीकंडक्टरच्या पलीकडे: विस्तृत अनुप्रयोग श्रेणी
वेफरची जाडी मोजण्यासाठी अनुकूलित केलेले असले तरी, हे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर अनेक उद्योगांमध्ये उपयोगी पडते:
- फ्लॅट पॅनल डिस्प्ले – OLED आणि TFT थरांची जाडी मोजा
- फोटोव्होल्टाईक्स – परावर्तन-विरोधी लेप, पारदर्शक प्रवाहकीय ऑक्साईड आणि शोषक थरांचे वैशिष्ट्यीकरण
- ऑप्टिकल कोटिंग्ज – बँडपास फिल्टर्स, अँटी-रिफ्लेक्शन स्टॅक्स आणि उच्च-प्रतिबिंबकता आरशांची पडताळणी करा
- पदार्थ विज्ञान – पातळ थर, द्विमितीय पदार्थ आणि पॉलिमर यांचा अभ्यास
- जैव-संवेदन – कार्यान्वित पृष्ठभागांवरील आण्विक थरांचा शोध घेणे
उपकरणाची विस्तृत स्पेक्ट्रल रेंज (अल्ट्राव्हायोलेटपासून नियर-इन्फ्रारेडपर्यंत) डीप-यूव्ही लिथोग्राफी फिल्म्सपासून इन्फ्रारेड ऑप्टिकल कोटिंग्जपर्यंतच्या सामग्रीचे वैशिष्ट्यीकरण करण्यास अनुमती देते.
प्रगत तरीही वापरण्यास सोपे: तुमच्यासाठी उपयुक्त सॉफ्टवेअर
एक शक्तिशाली जाडी मोजण्याचे उपकरण दैनंदिन वापरासाठी सोयीस्कर देखील असले पाहिजे. एमएसकेचेस्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटरयासोबत सर्वसमावेशक विश्लेषण सॉफ्टवेअर येते, ज्यामध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:
- पूर्व-निर्मित ऑप्टिकल स्थिरांक डेटाबेस – सामान्य सेमीकंडक्टर, डायइलेक्ट्रिक आणि धातूंसह १०० हून अधिक पदार्थ.
- अनेक प्रकीर्णन मॉडेल्स – कॉशी, सेलमेयर, टॉक-लॉरेन्झ, बी-स्प्लाइन, ऑसिलेटर्स आणि बरेच काही
- बहु-स्तरीय फिटिंग – श्रेणीबद्ध इंटरफेस आणि पृष्ठभागाच्या खडबडीतपणासह ३० थरांपर्यंत समर्थन देते.
- वन-क्लिक मॅपिंग – वेफर्स आणि मोठ्या सबस्ट्रेट्ससाठी जाडीच्या एकसमानतेचे अहवाल आपोआप तयार करते.
- ऑफलाइन लायसन्सिंग – उपकरणाला व्यस्त न ठेवता स्वतंत्र संगणकांवर डेटाचे विश्लेषण करण्याची परवानगी देते.
मार्गदर्शित, संवादात्मक इंटरफेसमुळे प्रशिक्षणाचा वेळ कमी होतो – नवीन वापरकर्ते काही मिनिटांतच वेफरच्या जाडीचे नियमित मोजमाप करू शकतात.
संशोधन आणि उत्पादन वातावरणासाठी डिझाइन केलेले
MSK तुमच्या गरजेनुसार हे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर विविध कॉन्फिगरेशनमध्ये उपलब्ध करून देते:
- बेंचटॉप सिस्टीम – संशोधन आणि विकास प्रयोगशाळा आणि विद्यापीठातील संशोधनासाठी उत्तम
- मॅपिंग कॉन्फिगरेशन – स्वयंचलित वेफर स्कॅनिंगसाठी उच्च-सुस्पष्टता एक्स/वाय स्टेजचा समावेश आहे
- सानुकूलित स्पेक्ट्रल श्रेणी – डीप यूव्ही (193nm) पासून शॉर्ट-वेव्ह इन्फ्रारेड (2500nm) पर्यंत
- तापमान-नियंत्रित स्टेजचे पर्याय – १०००°C पर्यंतच्या जागेवरच मोजमाप करण्यासाठी
हे उपकरण ड्युअल-रोटेटिंग कॉम्पेन्सेटर तंत्रज्ञानाचा वापर करते, जे एकाच वेळी सर्व १६ म्यूलर मॅट्रिक्स घटकांचे मापन करते. यामुळे पारंपरिक इलिप्सोमीटरच्या तुलनेत अधिक समृद्ध डेटा मिळतो – जो विशेषतः अनिसोट्रॉपिक किंवा डीपोलरायझिंग नमुन्यांसाठी उपयुक्त आहे.
महत्त्वपूर्ण गुणवत्ता नियंत्रणासाठी विश्वसनीय कामगिरी
उत्पादन वातावरणात, पुनरावृत्तीक्षमता ही सर्वस्व असते. MSK चे स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर खालील कारणांमुळे अपवादात्मक स्थिरता प्रदान करते:
- सेमीकंडक्टर-कूल्ड डिटेक्टर – कमी आवाज, उच्च डायनॅमिक रेंज
- लेझर ऑटो-फोकस – संपूर्ण नमुन्यावर एकसारखी केंद्रबिंदू स्थिती राखते
- स्थिर ऑप्टिकल पाथ डिझाइन – कॅलिब्रेशनमधील विचलन कमी करते
ही प्रणाली कठोर औद्योगिक मानकांची पूर्तता करते आणि एमएसके प्रमाणित नमुन्यांवरील जाडीची अचूकता पडताळण्यासाठी त्रयस्थ मेट्रोलॉजी अहवाल प्रदान करते.
तुमच्या ॲप्लिकेशननुसार तयार केलेले सानुकूलन आणि साहाय्य
MSK ला याची जाणीव आहे की प्रत्येक थिन फिल्म ॲप्लिकेशन अद्वितीय असते. म्हणूनच कंपनी खालील गोष्टी उपलब्ध करून देते:
- सानुकूलित स्पेक्ट्रल रेंज विस्तार – तुमच्या सामग्रीशी जुळणारे बँड निवडा
- विशेष नमुना मंच – अमानक वेफर आकारांसाठी किंवा विचित्र आकाराच्या सब्सट्रेट्ससाठी
- सॉफ्टवेअर सानुकूलन – विशिष्ट विश्लेषण मॉडेल किंवा ऑटोमेशन रुटीन जोडा
- जागेवरच स्थापना आणि प्रशिक्षण – तुमच्या टीमला त्वरीत तयार करा
हे एक उच्च-सुस्पष्टता असलेले उपकरण असल्यामुळे, उत्पादन पृष्ठावर दर्शवलेली किंमत ही केवळ अनामत रक्कम आहे. MSK गंभीर खरेदीदारांना त्यांच्या आवश्यक संरचनेनुसार अचूक दरासाठी विक्री संघाशी संपर्क साधण्याचे आवाहन करते.
मोफत तांत्रिक सल्ला आणि डेमो
तुमच्या मटेरियलसाठी एलिप्सोमेट्री योग्य आहे की नाही याची खात्री नाही? एमएसके मोफत तांत्रिक सल्ला देते.
उपलब्धता आणि संपर्क माहिती
नवीन स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमीटर सिरीज जागतिक ऑर्डरसाठी तात्काळ उपलब्ध आहे. कोटेशन मागवण्यासाठी, उत्पादन माहितीपत्रक मिळवण्यासाठी, किंवा थेट ऑनलाइन डेमोची व्यवस्था करण्यासाठी:
Email: molly@mskcnctools.com
फोन: 0086-13602071763
वेब:www.mskcnctools.com
एमएसके सेमीकंडक्टर फॅब्स, संशोधन संस्था, ऑप्टिकल कोटिंग उत्पादक आणि सौर सेल उत्पादक यांच्याकडून - एकल युनिटपासून ते अनेक प्रणालींपर्यंतच्या चौकशीचे स्वागत करते.
एमएसके सीएनसी टूल्सबद्दल
२०१५ मध्ये स्थापित आणि आयएसओ ९००१ प्रमाणित, एमएसके (तियानजिन) कटिंग टेक्नॉलॉजी कंपनी लिमिटेड उच्च-सुस्पष्टता मेट्रोलॉजी उपकरणे आणि सीएनसी कटिंग टूल्समध्ये विशेषज्ञ आहे. जर्मन आणि तैवानी उत्पादन उपकरणे आणि एका समर्पित संशोधन व विकास (R&D) टीमच्या साहाय्याने, एमएसके युरोप, अमेरिका आणि आशियातील ग्राहकांना सेवा देते. मटेरियल कॅरॅक्टरायझेशन आणि मशिनिंगसाठी प्रगत, विश्वसनीय आणि किफायतशीर उपाय प्रदान करणे हे कंपनीचे ध्येय आहे.
पोस्ट करण्याची वेळ: १० एप्रिल २०२६
