Կիսահաղորդչային գործարաններում, հետազոտությունների և զարգացման լաբորատորիաներում և օպտիկական ծածկույթների կենտրոններում բարակ թաղանթների հաստության և օպտիկական հատկությունների ճշգրիտ իմացությունը կարևոր է, սակայն ավանդական շփման մեթոդները կարող են վնասել նուրբ նմուշները կամ բաց թողնել կարևոր տվյալներ: Այսօր MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd.-ն ներկայացնում է իր նորագույն սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը՝ ոչ քայքայիչ հաստության չափման գործիք, որը նախագծված է...վաֆլիի հաստության չափում, բեկման ցուցիչի վերլուծություն և բազմաշերտ կույտի բնութագրում։
Այս նոր համակարգը համատեղում է լայն սպեկտրալ տիրույթ, բարձր զգայունություն և օգտագործողին հարմար մոդելավորման ծրագրակազմ՝ այս ամենը կոմպակտ, հետազոտական մակարդակի հարթակում: Անկախ նրանից, թե ձեզ անհրաժեշտ է չափել գերբարակ դարպասային օքսիդներ, արևային մարտկոցների վրա հակաանդրադարձային ծածկույթներ, թե բարդ OLED կույտեր, MSK-ի սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը տրամադրում է հուսալի, կրկնվող տվյալներ՝ առանց ձեր նմուշին շփվելու կամ վնասելու:
«Ինժեներները հաճախ դժվարանում են հավասարակշռել ճշգրտությունը, արագությունը և նմուշների անվտանգությունը»,ասաց MSK-ի ավագ արտադրանքի մենեջերը։«Մեր սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը լուծում է այս խնդիրը. որպես իսկական հաստության չափման գործիք, այն վայրկյանների ընթացքում ապահովում է թիթեղների հաստության չափում և օպտիկական հաստատունի վերլուծություն՝ առանց քերծվածքների կամ աղտոտման զրոյական ռիսկի»։
Ինչու՞ ընտրել այս սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը որպես հաստության չափման գործիք
Ի տարբերություն միալիքային երկարությամբ կամ մեխանիկական պրոֆիլավորիչների, այս սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը օգտագործում է բևեռացված լույս՝ վերլուծելու համար, թե ինչպես է բարակ թաղանթը փոփոխում լույսի բևեռացման վիճակը: Այդ չափումից այն միաժամանակ հաշվարկում է մի քանի պարամետրեր.
- Թաղանթի հաստությունը (միաշերտից մինչև բարդ բազմաշերտ կույտեր)
- Բեկման ցուցիչ (n) և մարման գործակից (k)
- Օպտիկական գծային բաց (օրինակ)
- Մակերեսային կոպտություն
Որպես բազմակողմանի հաստություն չափող գործիք, այն մշակում է հաստություններ՝ սկսած գերբարակ (ենթանոմետրական)ից մինչև համեմատաբար հաստ թաղանթներ, ինչը այն հարմար է դարձնում ամեն ինչի համար՝ սկսած ատոմային շերտային նստեցումից մինչև միկրոնային մասշտաբի պոլիմերային ծածկույթներ։
Ոչ քայքայիչ թիթեղների հաստության չափում – կարևորագույն նշանակություն ունի կիսահաղորդչային արտադրության համար
Կիսահաղորդիչների արտադրության համար,վաֆլիի հաստության չափումկարևոր է նստեցման, փորագրման և CMP գործընթացները վերահսկելու համար: Այնուամենայնիվ, մեխանիկական գրիչ-պրոֆիլավորողները կարող են քերծել փափուկ թաղանթները, իսկ օպտիկական ռեֆլեկտորաչափերը հաճախ չունեն զգայունություն բազմաշերտ կույտերի նկատմամբ:
MSK-ի սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը հաղթահարում է հետևյալ սահմանափակումները.
- Անհպում և ոչ դեստրուկտիվ՝ նախշավոր վեֆլիների կամ նուրբ թաղանթների վնասման ռիսկ չկա
- Բարձր զգայունություն՝ կարող է հայտնաբերել նանոմետրից պակաս հաստության տատանումները վաֆլիի վրա
- Բազմաշերտ վերլուծություն – չափում է բարդ շերտերի առանձին շերտերը (օրինակ՝ SiO₂/Si₃N₄/պոլի-Si) առանց խաչաձև շփման։
Համակարգը ներառում է ավտոմատ քարտեզագրման հարթակ, որը ճշգրիտ դիրքավորմամբ աջակցում է մինչև 8 դյույմ (200 մմ) տրամագծով թիթեղներին: Օգտատերերը կարող են մեկ սեղմումով ստեղծել 2D և 3D հաստության բաշխման քարտեզներ, ինչը իդեալական է գործընթացի միատարրության մոնիթորինգի համար:
Կիսահաղորդիչներից այն կողմ. լայն կիրառման շրջանակ
Թեև օպտիմիզացված է վաֆլիի հաստության չափման համար, այս սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը սպասարկում է բազմաթիվ ոլորտներ՝
- Հարթ վահանակային էկրաններ – չափում են OLED և TFT շերտերի հաստությունը
- Ֆոտովոլտային – բնութագրում են հակաանդրադարձնող ծածկույթները, թափանցիկ հաղորդիչ օքսիդները և կլանիչ շերտերը
- Օպտիկական ծածկույթներ՝ ստուգե՛ք ալիքային ֆիլտրերը, հակաանդրադարձային շերտերը և բարձր անդրադարձման հայելիները
- Նյութագիտություն՝ ուսումնասիրել բարակ թաղանթները, երկչափ նյութերը և պոլիմերները
- Կենսազգացողություն՝ ֆունկցիոնալացված մակերեսների վրա մոլեկուլային շերտերի հայտնաբերում
Սարքի լայն սպեկտրալ տիրույթը (ուլտրամանուշակագույնից մինչև մոտ-ինֆրակարմիր) թույլ է տալիս բնութագրել նյութերը՝ սկսած խորը ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիկ թաղանթներից մինչև ինֆրակարմիր օպտիկական ծածկույթներ։
Առաջադեմ, բայց հեշտ օգտագործման համար. Ծրագրային ապահովում, որն աշխատում է ձեզ համար
Հզոր հաստության չափման գործիքը պետք է նաև գործնական լինի ամենօրյա օգտագործման համար: MSK-իսպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրգալիս է համապարփակ վերլուծության ծրագրակազմով, որը ներառում է.
- Նախապես կառուցված օպտիկական հաստատունների տվյալների բազա՝ ավելի քան 100 նյութեր, այդ թվում՝ սովորական կիսահաղորդիչներ, դիէլեկտրիկներ և մետաղներ
- Բազմակի դիսպերսիայի մոդելներ՝ Կոշի, Սելմայեր, Տաուկ-Լորենց, B-սպլայն, օսցիլյատորներ և այլն
- Բազմաշերտ տեղադրում՝ աջակցում է մինչև 30 շերտ, ներառյալ աստիճանավորված միջերեսները և մակերեսային կոպտությունը
- Մեկ սեղմումով քարտեզագրում – ավտոմատ կերպով ստեղծում է հաստության միատարրության հաշվետվություններ թիթեղների և մեծ մակերեսների համար
- Անցանց լիցենզավորում – թույլ է տալիս տվյալների վերլուծություն կատարել առանձին համակարգիչների վրա՝ առանց գործիքը կապելու
Ուղղորդվող, ինտերակտիվ ինտերֆեյսը կրճատում է ուսուցման ժամանակը. նոր օգտատերերը կարող են կատարել թիթեղների հաստության պարբերական չափում րոպեների ընթացքում։
Նախագծված է հետազոտական և արտադրական միջավայրերի համար
MSK-ն առաջարկում է այս սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը բազմաթիվ կոնֆիգուրացիաներով՝ ձեր կարիքներին համապատասխանելու համար.
- Սեղանի համակարգ՝ իդեալական է հետազոտությունների և զարգացման լաբորատորիաների և համալսարանական հետազոտությունների համար
- Քարտեզագրման կոնֆիգուրացիա – ներառում է բարձր ճշգրտության X/Y փուլ՝ ավտոմատացված վեֆերի սկանավորման համար
- Կարգավորելի սպեկտրային միջակայքեր՝ խորը ուլտրամանուշակագույնից (193 նմ) մինչև կարճալիք ինֆրակարմիր (2500 նմ)
- Ջերմաստիճանի կարգավորմամբ փուլի տարբերակներ՝ մինչև 1000°C տեղում չափումների համար
Սարքն օգտագործում է կրկնակի պտտվող փոխհատուցման տեխնոլոգիա, որը մեկ անգամ չափում է Մյուլլերի մատրիցայի բոլոր 16 տարրերը։ Սա ապահովում է ավելի հարուստ տվյալներ, քան սովորական էլիպսոմետրերը, հատկապես օգտակար է անիզոտրոպ կամ դեպոլարիզացնող նմուշների համար։
Հուսալի աշխատանք կարևոր որակի վերահսկման համար
Արտադրական միջավայրերի համար կրկնելիությունը ամեն ինչ է: MSK-ի սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրը ապահովում է բացառիկ կայունություն՝ շնորհիվ.
- Կիսահաղորդչային սառեցմամբ դետեկտորներ՝ ցածր աղմուկ, բարձր դինամիկ տիրույթ
- Լազերային ավտոֆոկուս – պահպանում է կայուն ֆոկուսային դիրքը նմուշի ողջ երկարությամբ
- Կայուն օպտիկական ուղու դիզայն – նվազագույնի է հասցնում կալիբրացումների միջև շեղումը
Համակարգը համապատասխանում է խիստ արդյունաբերական չափանիշներին, և MSK-ն տրամադրում է երրորդ կողմի չափագիտական զեկույցներ՝ ստանդարտ նմուշների վրա հաստության բացարձակ ճշգրտությունը ստուգելու համար։
Անհատականացում և աջակցություն՝ հարմարեցված ձեր ծրագրին
MSK-ն հասկանում է, որ բարակ թաղանթի յուրաքանչյուր կիրառություն եզակի է: Ահա թե ինչու ընկերությունն առաջարկում է.
- Սպեկտրալ տիրույթի հատուկ ընդլայնումներ՝ ընտրեք ձեր նյութերին համապատասխանող գոտիները
- Մասնագիտացված նմուշառման փուլեր՝ ոչ ստանդարտ չափերի վաֆլիների կամ տարօրինակ ձևի ենթաշերտերի համար
- Ծրագրային ապահովման հարմարեցում – ավելացրեք վերլուծության հատուկ մոդելներ կամ ավտոմատացման ընթացակարգեր
- Տեղում տեղադրում և ուսուցում՝ արագորեն համալրեք ձեր թիմը
Քանի որ սա բարձր ճշգրտության գործիք է, ապրանքի էջում նշված գինը միայն կանխավճար է: MSK-ն հրավիրում է լուրջ գնորդներին կապ հաստատել վաճառքի թիմի հետ՝ ձեր պահանջվող կոնֆիգուրացիային համապատասխան ճշգրիտ գնանշում ստանալու համար:
Անվճար տեխնիկական խորհրդատվություն և ցուցադրություն
Համոզված չե՞ք, որ էլիպսոմետրիան ճիշտ է ձեր նյութի համար: MSK-ն առաջարկում է անվճար տեխնիկական խորհրդատվություն:
Հասանելիություն և կոնտակտային տեղեկություններ
Նոր սպեկտրոսկոպիկ էլիպսոմետրերի շարքը հասանելի է անմիջապես համաշխարհային պատվերների համար: Գնանշում խնդրելու, ապրանքի գրքույկ ստանալու կամ առցանց ցուցադրություն կազմակերպելու համար՝
Email: molly@mskcnctools.com
Հեռախոս՝ 0086-13602071763
Վեբ:www.mskcnctools.com
MSK-ն ողջունում է կիսահաղորդչային գործարանների, հետազոտական ինստիտուտների, օպտիկական ծածկույթների արտադրողների և արևային մարտկոցների արտադրողների հարցումները՝ սկսած մեկ միավորից մինչև մի քանի համակարգեր։
MSK CNC գործիքների մասին
Հիմնադրված 2015 թվականին և ISO 9001 հավաստագրված MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd.-ն մասնագիտանում է բարձր ճշգրտության չափագիտական գործիքների և CNC կտրող գործիքների արտադրության մեջ: Գերմանական և թայվանական արտադրական սարքավորումներով և նվիրված հետազոտությունների և զարգացման թիմով MSK-ն սպասարկում է հաճախորդներին ամբողջ Եվրոպայում, Ամերիկայում և Ասիայում: Ընկերության առաքելությունն է ապահովել նյութերի բնութագրման և մեքենայացման առաջադեմ, հուսալի և մատչելի լուծումներ:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլի 10-2026
