Di pabrik semikonduktor, laboratorium R&D, dan fasilitas pelapisan optik, mengetahui ketebalan dan sifat optik film tipis secara tepat sangat penting – namun metode kontak tradisional dapat merusak sampel yang halus atau melewatkan data penting. Hari ini, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. mengumumkan ellipsometer spektroskopik terbarunya, instrumen pengukuran ketebalan non-destruktif yang dirancang untukpengukuran ketebalan wafer, analisis indeks bias, dan karakterisasi susunan multi-lapisan.
Sistem baru ini menggabungkan rentang spektral yang luas, sensitivitas tinggi, dan perangkat lunak pemodelan yang mudah digunakan – semuanya dalam platform yang ringkas dan berstandar penelitian. Baik Anda perlu mengukur oksida gerbang ultra-tipis, lapisan anti-refleksi pada sel surya, atau susunan OLED yang kompleks, ellipsometer spektroskopi MSK memberikan data yang andal dan berulang tanpa menyentuh atau merusak sampel Anda.
“Para insinyur sering kali kesulitan menyeimbangkan ketelitian, kecepatan, dan keamanan sampel,”kata seorang manajer produk senior MSK.“Elipsometer spektroskopik kami memecahkan masalah itu – sebagai instrumen pengukur ketebalan sejati, alat ini menyediakan pengukuran ketebalan wafer dan analisis konstanta optik dalam hitungan detik, tanpa risiko goresan atau kontaminasi.”
Mengapa Memilih Spektroskopik Elipsometer Ini sebagai Alat Ukur Ketebalan Anda?
Berbeda dengan profilometer satu panjang gelombang atau mekanis, ellipsometer spektroskopik ini menggunakan cahaya terpolarisasi untuk menganalisis bagaimana lapisan tipis memodifikasi keadaan polarisasi cahaya. Dari pengukuran tersebut, alat ini menghitung beberapa parameter secara simultan:
- Ketebalan film (lapisan tunggal hingga susunan multi-lapisan kompleks)
- Indeks bias (n) dan koefisien kepunahan (k)
- Celah pita optik (Eg)
- Kekasaran permukaan
Sebagai instrumen pengukur ketebalan yang serbaguna, alat ini mampu menangani ketebalan mulai dari ultra-tipis (sub-nanometer) hingga film yang relatif tebal – sehingga cocok untuk segala hal mulai dari deposisi lapisan atom hingga pelapisan polimer skala mikron.
Pengukuran Ketebalan Wafer Tanpa Merusak – Sangat Penting untuk Produksi Semikonduktor
Untuk manufaktur semikonduktor,pengukuran ketebalan waferHal ini penting untuk mengontrol proses deposisi, etsa, dan CMP. Namun, profilometer stylus mekanis dapat menggores film lunak, dan reflektometer optik seringkali kurang sensitif untuk susunan multi-lapisan.
Spektroskopik ellipsometer MSK mengatasi keterbatasan ini:
- Tanpa kontak dan tanpa merusak – tidak ada risiko kerusakan pada wafer berpola atau lapisan tipis yang rapuh.
- Sensitivitas tinggi – mampu mendeteksi variasi ketebalan sub-nanometer di seluruh wafer.
- Analisis multi-lapisan – mengukur lapisan individual dalam susunan kompleks (misalnya, SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) tanpa interferensi silang.
Sistem ini mencakup tahap pemetaan otomatis yang mendukung wafer hingga 8 inci (200 mm) dengan pemosisian yang presisi. Pengguna dapat menghasilkan peta distribusi ketebalan 2D dan 3D hanya dengan sekali klik – ideal untuk pemantauan keseragaman proses.
Di Luar Semikonduktor: Rentang Aplikasi yang Luas
Meskipun dioptimalkan untuk pengukuran ketebalan wafer, ellipsometer spektroskopik ini melayani banyak industri:
- Layar panel datar – mengukur ketebalan lapisan OLED dan TFT
- Fotovoltaik – mengkarakterisasi lapisan anti-refleksi, oksida konduktif transparan, dan lapisan penyerap.
- Pelapisan optik – verifikasi filter bandpass, lapisan anti-refleksi, dan cermin dengan reflektivitas tinggi.
- Ilmu material – mempelajari film tipis, material 2D, dan polimer.
- Bio-sensing – mendeteksi lapisan molekuler pada permukaan yang difungsikan.
Rentang spektral instrumen yang luas (dari ultraviolet hingga inframerah dekat) memungkinkan instrumen ini untuk mengkarakterisasi material mulai dari film litografi UV dalam hingga lapisan optik inframerah.
Canggih Namun Mudah Digunakan: Perangkat Lunak yang Bekerja untuk Anda
Alat pengukur ketebalan yang andal juga harus praktis untuk penggunaan sehari-hari. MSK'sellipsometer spektroskopikdilengkapi dengan perangkat lunak analisis komprehensif yang memiliki fitur-fitur berikut:
- Basis data konstanta optik yang sudah jadi – lebih dari 100 material termasuk semikonduktor, dielektrik, dan logam umum.
- Berbagai model dispersi – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, osilator, dan banyak lagi.
- Pemasangan multi-lapisan – mendukung hingga 30 lapisan, termasuk antarmuka bertingkat dan kekasaran permukaan.
- Pemetaan sekali klik – secara otomatis menghasilkan laporan keseragaman ketebalan untuk wafer dan substrat besar.
- Lisensi offline – memungkinkan analisis data pada komputer terpisah tanpa harus menggunakan instrumen secara terus-menerus.
Antarmuka interaktif yang terpandu mengurangi waktu pelatihan – pengguna baru dapat melakukan pengukuran ketebalan wafer rutin dalam hitungan menit.
Dirancang untuk Lingkungan Penelitian & Produksi
MSK menawarkan ellipsometer spektroskopik ini dalam berbagai konfigurasi untuk memenuhi kebutuhan Anda:
- Sistem meja – sempurna untuk laboratorium R&D dan penelitian universitas.
- Konfigurasi pemetaan – mencakup tahap X/Y presisi tinggi untuk pemindaian wafer otomatis.
- Rentang spektral yang dapat disesuaikan – dari UV dalam (193nm) hingga inframerah gelombang pendek (2500nm)
- Opsi panggung dengan kontrol suhu – untuk pengukuran di tempat hingga 1000°C
Instrumen ini menggunakan teknologi kompensator putar ganda, yang mengukur semua 16 elemen matriks Mueller dalam satu kali akuisisi. Hal ini memberikan data yang lebih kaya daripada ellipsometer konvensional – terutama berguna untuk sampel anisotropik atau depolarisasi.
Performa Andal untuk Kontrol Kualitas Kritis
Untuk lingkungan produksi, pengulangan adalah segalanya. Spektroskopik ellipsometer MSK memberikan stabilitas luar biasa berkat:
- Detektor berpendingin semikonduktor – kebisingan rendah, rentang dinamis tinggi
- Autofokus laser – mempertahankan posisi fokus yang konsisten di seluruh sampel.
- Desain jalur optik yang stabil – meminimalkan penyimpangan antar kalibrasi.
Sistem ini memenuhi standar industri yang ketat, dan MSK menyediakan laporan metrologi pihak ketiga untuk memverifikasi akurasi ketebalan absolut pada sampel standar.
Kustomisasi & Dukungan – Disesuaikan dengan Aplikasi Anda
MSK memahami bahwa setiap aplikasi film tipis itu unik. Itulah sebabnya perusahaan menawarkan:
- Ekstensi rentang spektral khusus – pilih pita yang sesuai dengan material Anda.
- Tahapan sampel khusus – untuk ukuran wafer non-standar atau substrat dengan bentuk yang tidak biasa.
- Kustomisasi perangkat lunak – menambahkan model analisis spesifik atau rutinitas otomatisasi
- Instalasi dan pelatihan di lokasi – persiapkan tim Anda dengan cepat.
Karena ini adalah instrumen dengan presisi tinggi, harga yang tertera di halaman produk hanyalah uang muka. MSK mengundang pembeli serius untuk menghubungi tim penjualan guna mendapatkan penawaran harga pasti berdasarkan konfigurasi yang Anda butuhkan.
Konsultasi Teknis & Demo Gratis
Tidak yakin apakah ellipsometri tepat untuk material Anda? MSK menawarkan konsultasi teknis gratis.
Ketersediaan & Informasi Kontak
Seri ellipsometer spektroskopik terbaru tersedia untuk pemesanan global segera. Untuk meminta penawaran harga, menerima brosur produk, atau mengatur demo online langsung:
Email: molly@mskcnctools.com
Telepon: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK menerima pertanyaan dari pabrik semikonduktor, lembaga penelitian, produsen pelapis optik, dan produsen sel surya – mulai dari unit tunggal hingga sistem ganda.
Tentang MSK CNC Tools
Didirikan pada tahun 2015 dan bersertifikasi ISO 9001, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. mengkhususkan diri dalam instrumen metrologi presisi tinggi dan alat potong CNC. Dengan peralatan manufaktur Jerman dan Taiwan serta tim R&D yang berdedikasi, MSK melayani pelanggan di seluruh Eropa, Amerika, dan Asia. Misi perusahaan adalah untuk menyediakan solusi canggih, andal, dan hemat biaya untuk karakterisasi dan pemesinan material.
Waktu posting: 10 April 2026
