Trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, phòng thí nghiệm R&D và các cơ sở phủ quang học, việc biết chính xác độ dày và các đặc tính quang học của màng mỏng là vô cùng quan trọng – tuy nhiên, các phương pháp tiếp xúc truyền thống có thể làm hỏng các mẫu vật mỏng manh hoặc bỏ sót dữ liệu quan trọng. Hôm nay, Công ty TNHH Thương mại Quốc tế MSK (Thiên Tân) công bố máy đo độ dày quang phổ ellipsometer mới nhất của mình, một thiết bị đo độ dày không phá hủy được thiết kế dành cho...đo độ dày tấm waferPhân tích chỉ số khúc xạ và đặc tính của cấu trúc nhiều lớp.
Hệ thống mới này kết hợp dải quang phổ rộng, độ nhạy cao và phần mềm mô hình hóa thân thiện với người dùng – tất cả trong một nền tảng nhỏ gọn, đạt tiêu chuẩn nghiên cứu. Cho dù bạn cần đo các lớp oxit cổng siêu mỏng, lớp phủ chống phản xạ trên pin mặt trời hay các cấu trúc OLED phức tạp, máy đo quang phổ ellipsometer của MSK đều cung cấp dữ liệu đáng tin cậy, có thể lặp lại mà không cần tiếp xúc hoặc làm hỏng mẫu của bạn.
“Các kỹ sư thường gặp khó khăn trong việc cân bằng giữa độ chính xác, tốc độ và sự an toàn của mẫu vật.”một quản lý sản phẩm cấp cao của MSK cho biết.“Máy đo độ dày quang phổ của chúng tôi giải quyết vấn đề đó – với tư cách là một thiết bị đo độ dày thực sự, nó cung cấp phép đo độ dày tấm bán dẫn và phân tích hằng số quang học trong vài giây, mà không có nguy cơ bị trầy xước hoặc nhiễm bẩn.”
Tại sao nên chọn máy đo độ dày quang phổ elip này làm thiết bị đo độ dày của bạn?
Khác với các máy đo độ phân cực đơn bước sóng hoặc cơ học, máy đo độ phân cực quang phổ này sử dụng ánh sáng phân cực để phân tích cách một lớp màng mỏng làm thay đổi trạng thái phân cực của ánh sáng. Từ phép đo đó, nó tính toán đồng thời nhiều thông số:
- Độ dày màng (từ một lớp đến các lớp xếp chồng phức tạp)
- Chỉ số khúc xạ (n) và hệ số tắt dần (k)
- Khoảng cách vùng năng lượng quang học (Eg)
- Độ nhám bề mặt
Là một thiết bị đo độ dày đa năng, nó có thể xử lý độ dày từ siêu mỏng (dưới nanomet) đến các màng tương đối dày – phù hợp với mọi ứng dụng từ lắng đọng lớp nguyên tử đến lớp phủ polymer kích thước micromet.
Đo độ dày tấm bán dẫn không phá hủy – Yếu tố then chốt trong sản xuất chất bán dẫn
Đối với sản xuất chất bán dẫn,đo độ dày tấm waferĐiều này rất cần thiết để kiểm soát các quá trình lắng đọng, khắc và CMP. Tuy nhiên, các thiết bị đo độ dày màng bằng đầu dò cơ học có thể làm xước các lớp màng mềm, và các máy đo phản xạ quang học thường thiếu độ nhạy đối với các lớp màng xếp chồng lên nhau.
Máy đo quang phổ elip của MSK khắc phục được những hạn chế này:
- Không tiếp xúc và không phá hủy – không có nguy cơ làm hỏng các tấm bán dẫn có hoa văn hoặc các lớp màng mỏng manh.
- Độ nhạy cao – có khả năng phát hiện sự thay đổi độ dày dưới nanomet trên toàn bộ tấm wafer.
- Phân tích đa lớp – đo lường từng lớp riêng lẻ trong các cấu trúc phức tạp (ví dụ: SiO₂/Si₃N₄/poly-Si) mà không bị nhiễu chéo.
Hệ thống bao gồm một giai đoạn lập bản đồ tự động hỗ trợ các tấm wafer có kích thước lên đến 8 inch (200mm) với khả năng định vị chính xác. Người dùng có thể tạo bản đồ phân bố độ dày 2D và 3D chỉ bằng một cú nhấp chuột – lý tưởng cho việc giám sát tính đồng nhất của quy trình.
Vượt ra ngoài lĩnh vực bán dẫn: Phạm vi ứng dụng rộng rãi
Mặc dù được tối ưu hóa cho việc đo độ dày tấm bán dẫn, máy đo quang phổ ellipsometer này phục vụ nhiều ngành công nghiệp khác nhau:
- Màn hình phẳng – đo độ dày lớp OLED và TFT
- Quang điện – mô tả đặc điểm của lớp phủ chống phản xạ, oxit dẫn điện trong suốt và lớp hấp thụ.
- Lớp phủ quang học – kiểm tra các bộ lọc dải tần, các lớp chống phản xạ và gương phản xạ cao.
- Khoa học vật liệu – nghiên cứu màng mỏng, vật liệu 2D và polyme.
- Cảm biến sinh học – phát hiện các lớp phân tử trên bề mặt được chức năng hóa
Dải quang phổ rộng của thiết bị (từ tia cực tím đến cận hồng ngoại) cho phép nó phân tích đặc tính vật liệu, từ màng in thạch bản tia cực tím sâu đến lớp phủ quang học hồng ngoại.
Tiên tiến nhưng dễ sử dụng: Phần mềm phục vụ nhu cầu của bạn.
Một thiết bị đo độ dày mạnh mẽ cũng phải thiết thực cho việc sử dụng hàng ngày. (MSK)máy đo elip quang phổĐi kèm với phần mềm phân tích toàn diện bao gồm các tính năng:
- Cơ sở dữ liệu hằng số quang học được xây dựng sẵn – hơn 100 vật liệu bao gồm các chất bán dẫn, chất điện môi và kim loại thông dụng.
- Nhiều mô hình phân tán khác nhau – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, bộ dao động, và nhiều hơn nữa.
- Khả năng ghép nhiều lớp – hỗ trợ tối đa 30 lớp, bao gồm cả các giao diện chuyển tiếp và độ nhám bề mặt.
- Lập bản đồ chỉ với một cú nhấp chuột – tự động tạo báo cáo độ đồng nhất độ dày cho các tấm wafer và chất nền lớn.
- Cấp phép ngoại tuyến – cho phép phân tích dữ liệu trên các máy tính riêng biệt mà không cần sử dụng thiết bị.
Giao diện tương tác có hướng dẫn giúp giảm thời gian đào tạo – người dùng mới có thể thực hiện đo độ dày tấm bán dẫn thông thường chỉ trong vài phút.
Được thiết kế cho môi trường nghiên cứu và sản xuất.
MSK cung cấp máy đo quang phổ ellipsometer này với nhiều cấu hình khác nhau để phù hợp với nhu cầu của bạn:
- Hệ thống để bàn – hoàn hảo cho các phòng thí nghiệm R&D và nghiên cứu đại học.
- Cấu hình lập bản đồ – bao gồm bàn X/Y độ chính xác cao để quét wafer tự động
- Dải phổ có thể tùy chỉnh – từ tia cực tím sâu (193nm) đến tia hồng ngoại sóng ngắn (2500nm)
- Tùy chọn bàn điều khiển nhiệt độ – cho phép đo tại chỗ ở nhiệt độ lên đến 1000°C.
Thiết bị này sử dụng công nghệ bộ bù quay kép, đo tất cả 16 phần tử ma trận Mueller trong một lần thu thập dữ liệu duy nhất. Điều này cung cấp dữ liệu phong phú hơn so với các máy đo elip thông thường – đặc biệt hữu ích cho các mẫu dị hướng hoặc khử phân cực.
Hiệu năng đáng tin cậy cho kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt
Đối với môi trường sản xuất, khả năng lặp lại là yếu tố tối quan trọng. Máy đo quang phổ ellipsometer của MSK mang lại độ ổn định vượt trội nhờ:
- Bộ dò làm mát bằng chất bán dẫn – độ nhiễu thấp, dải động cao
- Tự động lấy nét bằng laser – duy trì vị trí tiêu điểm ổn định trên toàn bộ mẫu vật.
- Thiết kế đường dẫn quang ổn định – giảm thiểu sự sai lệch giữa các lần hiệu chuẩn.
Hệ thống đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của ngành và MSK cung cấp các báo cáo đo lường của bên thứ ba để xác minh độ chính xác tuyệt đối về độ dày trên các mẫu chuẩn.
Tùy chỉnh & Hỗ trợ – Phù hợp với ứng dụng của bạn
MSK hiểu rằng mỗi ứng dụng màng mỏng đều độc đáo. Đó là lý do tại sao công ty cung cấp:
- Mở rộng dải phổ tùy chỉnh – chọn các dải tần phù hợp với vật liệu của bạn.
- Các giai đoạn lấy mẫu chuyên dụng – dành cho kích thước wafer không tiêu chuẩn hoặc chất nền có hình dạng bất thường.
- Tùy chỉnh phần mềm – thêm các mô hình phân tích cụ thể hoặc các quy trình tự động hóa.
- Lắp đặt và đào tạo tại chỗ – giúp đội ngũ của bạn nhanh chóng nắm bắt công nghệ.
Vì đây là thiết bị có độ chính xác cao, giá hiển thị trên trang sản phẩm chỉ là tiền đặt cọc. MSK mời những khách hàng tiềm năng liên hệ với đội ngũ bán hàng để nhận báo giá chính xác dựa trên cấu hình yêu cầu của quý khách.
Tư vấn kỹ thuật và trình diễn miễn phí
Bạn không chắc liệu phương pháp đo elip có phù hợp với vật liệu của mình không? MSK cung cấp dịch vụ tư vấn kỹ thuật miễn phí.
Thông tin liên hệ và tình trạng sẵn có
Dòng máy đo quang phổ ellipsometer mới hiện đã có sẵn để đặt hàng trên toàn cầu. Để yêu cầu báo giá, nhận tài liệu giới thiệu sản phẩm hoặc sắp xếp buổi trình diễn trực tuyến:
Email: molly@mskcnctools.com
Số điện thoại: 0086-13602071763
Trang web:www.mskcnctools.com
MSK hoan nghênh các yêu cầu từ các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, viện nghiên cứu, nhà sản xuất lớp phủ quang học và nhà sản xuất pin mặt trời – từ các sản phẩm đơn lẻ đến các hệ thống đa dạng.
Giới thiệu về MSK CNC Tools
Được thành lập vào năm 2015 và đạt chứng nhận ISO 9001, Công ty TNHH Công nghệ Cắt gọt MSK (Thiên Tân) chuyên sản xuất các thiết bị đo lường chính xác cao và dụng cụ cắt gọt CNC. Với thiết bị sản xuất của Đức và Đài Loan cùng đội ngũ R&D chuyên nghiệp, MSK phục vụ khách hàng trên khắp châu Âu, châu Mỹ và châu Á. Sứ mệnh của công ty là cung cấp các giải pháp tiên tiến, đáng tin cậy và tiết kiệm chi phí cho việc phân tích đặc tính vật liệu và gia công.
Thời gian đăng bài: 10/04/2026
