במפעלי מוליכים למחצה, מעבדות מחקר ופיתוח ומתקני ציפוי אופטי, ידיעת העובי והתכונות האופטיות המדויקות של שכבות דקות היא קריטית - אך שיטות מגע מסורתיות עלולות לפגוע בדגימות עדינות או להחמיץ נתונים חיוניים. היום, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. מכריזה על האליפסומטר הספקטרוסקופי החדש ביותר שלה, מכשיר למדידת עובי לא הרסני שתוכנן עבור...מדידת עובי פרוסה, ניתוח מקדם שבירה ואפיון ערימה רב-שכבתית.
מערכת חדשה זו משלבת טווח ספקטרלי רחב, רגישות גבוהה ותוכנת מידול ידידותית למשתמש - הכל בפלטפורמה קומפקטית ברמת מחקר. בין אם אתם צריכים למדוד תחמוצות שער דקות במיוחד, ציפויים נגד השתקפות על תאים סולאריים או ערימות OLED מורכבות, האליפסומטר הספקטרוסקופי של MSK מספק נתונים אמינים וניתנים לחזרה מבלי לגעת בדגימה או לפגוע בה.
"מהנדסים מתקשים לעתים קרובות לאזן בין דיוק, מהירות ובטיחות דגימות,"אמר מנהל מוצר בכיר ב-MSK."האליפסומטר הספקטרוסקופי שלנו פותר את זה - ככלי אמיתי למדידת עובי, הוא מספק מדידת עובי פרוסות וניתוח קבוע אופטי תוך שניות, ללא סיכון של שריטות או זיהום."
למה לבחור באליפסומטר ספקטרוסקופי זה ככלי מדידת העובי שלך
בניגוד למדידת פרופילים בעלי אורך גל יחיד או מכניים, אליפסומטר ספקטרוסקופי זה משתמש באור מקוטב כדי לנתח כיצד שכבה דקה משנה את מצב הקיטוב של האור. ממדידה זו, הוא מחשב מספר פרמטרים בו זמנית:
- עובי שכבה (משכבה אחת ועד ערימות מורכבות מרובות שכבות)
- מקדם שבירה (n) ומקדם הכחדה (k)
- פער פס אופטי (Eg)
- חספוס פני השטח
ככלי מדידת עובי רב-תכליתי, הוא מטפל בעוביים של שכבות דקות במיוחד (תת-ננומטרי) ועד שכבות עבות יחסית - מה שהופך אותו מתאים לכל דבר, החל משיקוע שכבות אטומיות ועד ציפויי פולימרים בקנה מידה מיקרוני.
מדידת עובי פרוסות שאינן הרסניות - קריטית לייצור מוליכים למחצה
עבור ייצור מוליכים למחצה,מדידת עובי פרוסהחיוני לשליטה בתהליכי שיקוע, איכול ו-CMP. עם זאת, מדי פרופיל עט מכניים יכולים לשרוט שכבות רכות, ורפלקטומטרים אופטיים לרוב חסרים רגישות לערימות רב-שכבתיות.
האליפסומטר הספקטרוסקופי של MSK מתגבר על המגבלות הבאות:
- ללא מגע וללא הרס - אין סיכון לנזק לפלים בעלי דוגמאות או לסרטים עדינים
- רגישות גבוהה - מסוגל לזהות שינויים בעובי תת-ננומטרי על פני הוופל
- ניתוח רב-שכבתי – מודד שכבות בודדות בערימות מורכבות (למשל, SiO₂/Si₃N₄/poly-Si) ללא קשרי תקשורת
המערכת כוללת שלב מיפוי אוטומטי התומך בוופלים בגודל של עד 8 אינץ' (200 מ"מ) עם מיקום מדויק. משתמשים יכולים ליצור מפות התפלגות עובי דו-ממדיות ותלת-ממדיות בלחיצה אחת - אידיאלי לניטור אחידות התהליך.
מעבר למוליכים למחצה: טווח יישומים רחב
למרות שהוא מותאם במיוחד למדידת עובי פרוסות סיליקון, אליפסומטר ספקטרוסקופי זה משרת תעשיות רבות:
- צגי פאנל שטוחים - מדידת עובי שכבות OLED ו-TFT
- פוטו-וולטאיקה - אפיון ציפויים נגד השתקפות, תחמוצות מוליכות שקופות ושכבות סופגות
- ציפויים אופטיים - אימות מסנני פס-מעבר, ערימות נגד השתקפות ומראות בעלות רפלקטיביות גבוהה
- מדעי החומרים - לימוד שכבות דקות, חומרים דו-ממדיים ופולימרים
- חישה ביולוגית – זיהוי שכבות מולקולריות על משטחים פונקציונליים
הטווח הספקטרלי הרחב של המכשיר (מאולטרה סגול ועד קרוב לאינפרא אדום) מאפשר לו לאפיין חומרים, החל מסרטי ליתוגרפיה בקרינת UV עמוקה ועד ציפויים אופטיים באינפרא אדום.
מתקדם אך קל לשימוש: תוכנה שעובדת בשבילך
מכשיר מדידת עובי רב עוצמה חייב להיות גם פרקטי לשימוש יומיומי. MSK'sאליפסומטר ספקטרוסקופימגיע עם תוכנת ניתוח מקיפה הכוללת:
- מסד נתונים קבועים אופטיים מובנה מראש - מעל 100 חומרים כולל מוליכים למחצה נפוצים, חומרים דיאלקטריים ומתכות
- מודלים מרובים של פיזור – קושי, סלמאייר, טאוק-לורנץ, B-spline, אוסצילטורים ועוד
- התאמה רב-שכבתית - תומכת בעד 30 שכבות, כולל משטחים מדורגים וחספוס פני השטח
- מיפוי בלחיצה אחת - יוצר באופן אוטומטי דוחות אחידות עובי עבור פרוסות סיליקון ומצעים גדולים.
- רישוי לא מקוון - מאפשר ניתוח נתונים במחשבים נפרדים מבלי לכבול את המכשיר
הממשק האינטראקטיבי המודרך מקצר את זמן ההדרכה - משתמשים חדשים יכולים לבצע מדידת עובי פרוסות תוך דקות.
מיועד לסביבות מחקר וייצור
MSK מציעה אליפסומטר ספקטרוסקופי זה במספר תצורות שיתאימו לצרכים שלך:
- מערכת שולחנית - מושלמת למעבדות מחקר ופיתוח ומחקר אוניברסיטאי
- תצורת מיפוי - כוללת שלב X/Y מדויק לסריקת ופלים אוטומטית
- טווחי ספקטרל הניתנים להתאמה אישית - מקרינה UV עמוקה (193 ננומטר) ועד אינפרא אדום קצר גל (2500 ננומטר)
- אפשרויות במה מבוקרת טמפרטורה - למדידות באתר עד 1000°C
המכשיר משתמש בטכנולוגיית מפצה כפול-סיבובית, המודדת את כל 16 רכיבי מטריצת מולר ברכישה אחת. זה מספק נתונים עשירים יותר מאשר אליפסומטרים קונבנציונליים - שימושי במיוחד עבור דגימות אניזוטרופיות או דה-פולריזטיביות.
ביצועים אמינים עבור בקרת איכות קריטית
עבור סביבות ייצור, חזרתיות היא הכל. האליפסומטר הספקטרוסקופי של MSK מספק יציבות יוצאת דופן הודות ל:
- גלאים מקוררי מוליכים למחצה - רעש נמוך, טווח דינמי גבוה
- מיקוד אוטומטי בלייזר - שומר על מיקום מיקוד עקבי על פני הדגימה
- עיצוב נתיב אופטי יציב - ממזער סחיפה בין כיולים
המערכת עומדת בתקני התעשייה המחמירים, ו-MSK מספקת דוחות מטרולוגיה של צד שלישי כדי לאמת דיוק עובי מוחלט בדגימות סטנדרטיות.
התאמה אישית ותמיכה – מותאמים אישית ליישום שלך
MSK מבינה שכל יישום של שכבה דקה הוא ייחודי. לכן החברה מציעה:
- הרחבות טווח ספקטרלי מותאמות אישית - בחרו את הרצועות התואמות את החומרים שלכם
- שלבי דגימה ייעודיים - עבור גדלי פרוסות לא סטנדרטיים או מצעים בעלי צורה מוזרה
- התאמה אישית של תוכנה - הוספת מודלי ניתוח ספציפיים או שגרות אוטומציה
- התקנה והדרכה באתר - שדרגו את הצוות שלכם במהירות
מכיוון שמדובר במכשיר בעל דיוק גבוה, המחיר המוצג בדף המוצר הוא רק מקדמה. MSK מזמינה קונים רציניים ליצור קשר עם צוות המכירות לקבלת הצעת מחיר מדויקת המבוססת על התצורה הנדרשת.
ייעוץ טכני והדגמה חינם
לא בטוחים אם אליפסומטריה מתאימה לחומר שלכם? MSK מציעה ייעוץ טכני ללא תשלום.
זמינות ופרטי קשר
סדרת האליפסמטרים הספקטרוסקופיים החדשה זמינה באופן מיידי להזמנות גלובליות. לבקשת הצעת מחיר, קבלת חוברת מוצר או ארגון הדגמה מקוונת חיה:
Email: molly@mskcnctools.com
טלפון: 0086-13602071763
אינטרנט:www.mskcnctools.com
MSK מקבלת בברכה פניות ממפעלי מוליכים למחצה, מכוני מחקר, יצרני ציפויים אופטיים ויצרני תאים סולאריים - החל מיחידות בודדות ועד למערכות מרובות.
אודות כלי MSK CNC
חברת MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd., נוסדה בשנת 2015 ובעלת הסמכת ISO 9001, ומתמחה במכשירי מטרולוגיה וכלי חיתוך CNC בדיוק גבוה. עם ציוד ייצור גרמני וטייוואני וצוות מחקר ופיתוח ייעודי, MSK משרתת לקוחות ברחבי אירופה, אמריקה ואסיה. משימת החברה היא לספק פתרונות מתקדמים, אמינים וחסכוניים לאפיון ועיבוד שבבי של חומרים.
זמן פרסום: 10 באפריל 2026
