در کارخانههای نیمههادی، آزمایشگاههای تحقیق و توسعه و تأسیسات پوششدهی نوری، دانستن ضخامت دقیق و خواص نوری لایههای نازک بسیار مهم است - با این حال روشهای تماسی سنتی میتوانند به نمونههای ظریف آسیب برسانند یا دادههای حیاتی را از دست بدهند. امروز، شرکت بازرگانی بینالمللی MSK (تیانجین) از جدیدترین بیضیسنج طیفسنجی خود، یک ابزار اندازهگیری ضخامت غیرمخرب که برای ... طراحی شده است، رونمایی کرد.اندازهگیری ضخامت ویفر، تحلیل ضریب شکست، و توصیف پشته چند لایه.
این سیستم جدید، طیف وسیعی از طیفها، حساسیت بالا و نرمافزار مدلسازی کاربرپسند را در یک پلتفرم فشرده و در سطح تحقیقاتی ترکیب میکند. چه نیاز به اندازهگیری اکسیدهای گیت فوقالعاده نازک، پوششهای ضد انعکاس روی سلولهای خورشیدی یا پشتههای OLED پیچیده داشته باشید، بیضیسنج طیفسنجی MSK دادههای قابل اعتماد و تکرارپذیری را بدون تماس یا آسیب رساندن به نمونه شما ارائه میدهد.
«مهندسان اغلب برای ایجاد تعادل بین دقت، سرعت و ایمنی نمونه با مشکل مواجه هستند.»یکی از مدیران ارشد محصول MSK گفت.«بیضیسنج طیفسنجی ما این مشکل را حل میکند - به عنوان یک ابزار اندازهگیری ضخامت واقعی، اندازهگیری ضخامت ویفر و تجزیه و تحلیل ثابت نوری را در عرض چند ثانیه، بدون خطر خراش یا آلودگی، ارائه میدهد.»
چرا این بیضیسنج طیفسنجی را به عنوان ابزار اندازهگیری ضخامت خود انتخاب کنید؟
برخلاف دستگاههای تک طول موج یا پروفیلسنجهای مکانیکی، این بیضیسنج طیفسنجی از نور قطبیده برای تحلیل چگونگی تغییر حالت قطبش نور توسط یک لایه نازک استفاده میکند. از این اندازهگیری، چندین پارامتر را به طور همزمان محاسبه میکند:
- ضخامت فیلم (از تک لایه تا چند لایههای پیچیده)
- ضریب شکست (n) و ضریب خاموشی (k)
- شکاف باند نوری (به عنوان مثال)
- زبری سطح
به عنوان یک ابزار اندازهگیری ضخامت همهکاره، این دستگاه ضخامتهایی از لایههای بسیار نازک (زیر نانومتر) تا لایههای نسبتاً ضخیم را اندازهگیری میکند - و آن را برای همه چیز، از رسوب لایه اتمی گرفته تا پوششهای پلیمری در مقیاس میکرون، مناسب میسازد.
اندازهگیری ضخامت ویفر به روش غیرمخرب - حیاتی برای تولید نیمههادی
برای تولید نیمههادی،اندازهگیری ضخامت ویفربرای کنترل فرآیندهای رسوبگذاری، حکاکی و CMP ضروری است. با این حال، پروفیلسازهای قلمی مکانیکی میتوانند فیلمهای نرم را خراش دهند و بازتابسنجهای نوری اغلب فاقد حساسیت برای پشتههای چند لایه هستند.
بیضویسنج طیفسنجی MSK بر این محدودیتها غلبه میکند:
- غیر تماسی و غیر مخرب - بدون خطر آسیب به ویفرهای طرحدار یا فیلمهای ظریف
- حساسیت بالا - قادر به تشخیص تغییرات ضخامت زیر نانومتری در سراسر ویفر
- تجزیه و تحلیل چند لایه - لایههای منفرد را در تودههای پیچیده (مثلاً SiO₂/Si₃N₄/poly‑Si) بدون تداخل اندازهگیری میکند.
این سیستم شامل یک مرحله نقشهبرداری خودکار است که از ویفرهایی تا 8 اینچ (200 میلیمتر) با موقعیتیابی دقیق پشتیبانی میکند. کاربران میتوانند نقشههای توزیع ضخامت دوبعدی و سهبعدی را تنها با یک کلیک ایجاد کنند - ایدهآل برای نظارت بر یکنواختی فرآیند.
فراتر از نیمهرساناها: طیف وسیع کاربردها
این بیضیسنج طیفسنجی، در حالی که برای اندازهگیری ضخامت ویفر بهینه شده است، در بسیاری از صنایع کاربرد دارد:
- نمایشگرهای صفحه تخت - اندازهگیری ضخامت لایههای OLED و TFT
- فتوولتائیک - پوششهای ضد انعکاس، اکسیدهای رسانای شفاف و لایههای جاذب را توصیف میکند
- پوششهای نوری - فیلترهای میانگذر، پشتههای ضد انعکاس و آینههای با بازتاب بالا را بررسی کنید
- علم مواد - مطالعه لایههای نازک، مواد دوبعدی و پلیمرها
- حسگر زیستی - لایههای مولکولی را روی سطوح عاملدار تشخیص میدهد
محدوده طیفی وسیع این دستگاه (از فرابنفش تا فروسرخ نزدیک) به آن اجازه میدهد تا مواد را از فیلمهای لیتوگرافی فرابنفش عمیق گرفته تا پوششهای نوری فروسرخ، مشخصهیابی کند.
پیشرفته اما آسان برای استفاده: نرمافزاری که برای شما مفید است
یک ابزار اندازهگیری ضخامت قدرتمند باید برای استفاده روزانه نیز کاربردی باشد. MSKبیضوی سنج طیفسنجیهمراه با نرمافزار تحلیل جامع ارائه میشود که دارای ویژگیهای زیر است:
- پایگاه داده ثابت نوری از پیش ساخته شده - بیش از 100 ماده شامل نیمه هادی های رایج، دی الکتریک ها و فلزات
- مدلهای پراکندگی چندگانه - کوشی، سلمایر، تاوک-لورنتز، بی-اسپلاین، نوسانگرها و موارد دیگر
- اتصالات چند لایه - پشتیبانی از حداکثر 30 لایه، شامل سطوح مشترک درجهبندی شده و زبری سطح
- نقشهبرداری با یک کلیک - به طور خودکار گزارشهای یکنواختی ضخامت را برای ویفرها و زیرلایههای بزرگ تولید میکند
- مجوز آفلاین - امکان تجزیه و تحلیل دادهها را در رایانههای جداگانه و بدون اتصال دستگاه فراهم میکند
رابط کاربری هدایتشده و تعاملی، زمان آموزش را کاهش میدهد - کاربران جدید میتوانند اندازهگیری ضخامت ویفر را در عرض چند دقیقه انجام دهند.
طراحی شده برای محیطهای تحقیقاتی و تولیدی
MSK این بیضیسنج طیفسنجی را در پیکربندیهای مختلف برای مطابقت با نیازهای شما ارائه میدهد:
- سیستم رومیزی - مناسب برای آزمایشگاههای تحقیق و توسعه و تحقیقات دانشگاهی
- پیکربندی نقشهبرداری - شامل مرحله X/Y با دقت بالا برای اسکن خودکار ویفر
- محدودههای طیفی قابل تنظیم - از فرابنفش عمیق (193 نانومتر) تا فروسرخ موج کوتاه (2500 نانومتر)
- گزینههای مرحلهای با کنترل دما - برای اندازهگیریهای درجا تا 1000 درجه سانتیگراد
این دستگاه از فناوری جبرانساز دوار استفاده میکند که هر 16 عنصر ماتریس مولر را در یک برداشت اندازهگیری میکند. این امر دادههای غنیتری نسبت به بیضویسنجهای معمولی ارائه میدهد - بهویژه برای نمونههای ناهمسانگرد یا دپلاریزه مفید است.
عملکرد قابل اعتماد برای کنترل کیفیت بحرانی
برای محیطهای تولیدی، تکرارپذیری حرف اول را میزند. بیضیسنج طیفسنجی MSK به لطف موارد زیر، پایداری فوقالعادهای ارائه میدهد:
- آشکارسازهای خنکشده با نیمههادی - نویز کم، محدوده دینامیکی بالا
- فوکوس خودکار لیزری - موقعیت کانونی ثابتی را در سراسر نمونه حفظ میکند
- طراحی مسیر نوری پایدار - انحراف بین کالیبراسیونها را به حداقل میرساند
این سیستم مطابق با استانداردهای سختگیرانه صنعتی است و MSK گزارشهای مترولوژی شخص ثالث را برای تأیید دقت مطلق ضخامت روی نمونههای استاندارد ارائه میدهد.
سفارشیسازی و پشتیبانی - متناسب با درخواست شما
شرکت MSK میداند که هر کاربرد لایه نازک منحصر به فرد است. به همین دلیل است که این شرکت موارد زیر را ارائه میدهد:
- گسترشهای طیفی سفارشی - باندهایی را انتخاب کنید که با مواد شما مطابقت دارند
- مراحل نمونهبرداری تخصصی - برای اندازههای غیر استاندارد ویفر یا زیرلایههای با شکل عجیب
- سفارشیسازی نرمافزار - اضافه کردن مدلهای تحلیل خاص یا روالهای اتوماسیون
- نصب و آموزش در محل - تیم خود را به سرعت با آخرین تغییرات آشنا کنید
از آنجا که این یک ابزار با دقت بالا است، قیمت نشان داده شده در صفحه محصول فقط به عنوان پیشپرداخت است. MSK از خریداران جدی دعوت میکند تا برای دریافت قیمت دقیق بر اساس پیکربندی مورد نیاز خود با تیم فروش تماس بگیرند.
مشاوره فنی و دموی رایگان
مطمئن نیستید که آیا روش بیضویسنجی برای ماده شما مناسب است یا خیر؟ MSK مشاوره فنی رایگان ارائه میدهد.
اطلاعات تماس و موجودی
سری جدید بیضویسنجهای طیفسنجی هماکنون برای سفارشهای جهانی در دسترس است. برای درخواست قیمت، دریافت بروشور محصول یا هماهنگی برای یک نمایش آنلاین زنده:
Email: molly@mskcnctools.com
تلفن: 0086-13602071763
وب:www.mskcnctools.com
شرکت MSK از درخواستهای کارخانههای نیمههادی، مؤسسات تحقیقاتی، تولیدکنندگان پوششهای نوری و تولیدکنندگان سلولهای خورشیدی - از واحدهای منفرد گرفته تا سیستمهای چندگانه - استقبال میکند.
درباره ابزارهای CNC شرکت MSK
شرکت فناوری برش MSK (تیانجین) که در سال ۲۰۱۵ تأسیس شد و دارای گواهینامه ISO 9001 است، در زمینه ابزارهای اندازهگیری دقیق و ابزارهای برش CNC تخصص دارد. MSK با تجهیزات تولیدی آلمانی و تایوانی و یک تیم تحقیق و توسعه اختصاصی، به مشتریان در سراسر اروپا، آمریکا و آسیا خدمات ارائه میدهد. ماموریت این شرکت ارائه راهحلهای پیشرفته، قابل اعتماد و مقرون به صرفه برای توصیف و ماشینکاری مواد است.
زمان ارسال: آوریل-10-2026
