In Halbleiterfabriken, Forschungs- und Entwicklungslaboren sowie Anlagen zur optischen Beschichtung ist die genaue Kenntnis der Dicke und der optischen Eigenschaften von Dünnschichten von entscheidender Bedeutung – doch herkömmliche Kontaktmethoden können empfindliche Proben beschädigen oder wichtige Daten verfehlen. Heute stellt MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. ihr neuestes spektroskopisches Ellipsometer vor, ein zerstörungsfreies Dickenmessgerät, das speziell für die Anwendung in Halbleiterfabriken, Forschungs- und Entwicklungslaboren sowie Anlagen zur optischen Beschichtung entwickelt wurde.Waferdickenmessung, Brechungsindexanalyse und Charakterisierung von Mehrschichtsystemen.
Dieses neue System vereint einen breiten Spektralbereich, hohe Empfindlichkeit und benutzerfreundliche Modellierungssoftware – alles in einer kompakten Plattform für Forschungszwecke. Ob Sie ultradünne Gate-Oxide, Antireflexionsbeschichtungen auf Solarzellen oder komplexe OLED-Strukturen messen möchten: Das spektroskopische Ellipsometer von MSK liefert zuverlässige und reproduzierbare Daten, ohne Ihre Probe zu berühren oder zu beschädigen.
„Ingenieure haben oft Schwierigkeiten, Präzision, Geschwindigkeit und Probensicherheit in Einklang zu bringen.“sagte ein leitender Produktmanager im Bereich Muskel-Skelett-Erkrankungen.„Unser spektroskopisches Ellipsometer löst dieses Problem – als echtes Dickenmessgerät ermöglicht es die Messung der Waferdicke und die Analyse der optischen Konstanten in Sekundenschnelle, ohne jegliches Risiko von Kratzern oder Verunreinigungen.“
Warum Sie dieses spektroskopische Ellipsometer als Ihr Dickenmessgerät wählen sollten
Im Gegensatz zu Einzelwellenlängen- oder mechanischen Profilometern nutzt dieses spektroskopische Ellipsometer polarisiertes Licht, um zu analysieren, wie ein dünner Film den Polarisationszustand des Lichts verändert. Aus dieser Messung berechnet es mehrere Parameter gleichzeitig:
- Filmdicke (von Einzelschichten bis hin zu komplexen Mehrschichtsystemen)
- Brechungsindex (n) und Extinktionskoeffizient (k)
- Optische Bandlücke (Eg)
- Oberflächenrauheit
Als vielseitiges Dickenmessgerät eignet es sich für Schichtdicken von ultradünnen (Subnanometer-) bis hin zu relativ dicken Filmen – und ist damit für alles geeignet, von der Atomlagenabscheidung bis hin zu Polymerbeschichtungen im Mikrometerbereich.
Zerstörungsfreie Waferdickenmessung – entscheidend für die Halbleiterproduktion
Für die HalbleiterfertigungWaferdickenmessungDie Kontrolle von Abscheidungs-, Ätz- und CMP-Prozessen ist unerlässlich. Mechanische Tastschnittgeräte können jedoch weiche Schichten zerkratzen, und optische Reflektometer weisen oft eine zu geringe Empfindlichkeit für Mehrschichtsysteme auf.
Das spektroskopische Ellipsometer von MSK überwindet diese Einschränkungen:
- Berührungslos und zerstörungsfrei – kein Risiko einer Beschädigung von strukturierten Wafern oder empfindlichen Filmen
- Hohe Empfindlichkeit – fähig, Dickenvariationen im Subnanometerbereich über den Wafer hinweg zu erfassen.
- Mehrschichtanalyse – misst einzelne Schichten in komplexen Schichtsystemen (z. B. SiO₂/Si₃N₄/Poly-Si) ohne Übersprechen
Das System umfasst eine automatische Kartierungsstufe, die Wafer bis zu 8 Zoll (200 mm) präzise positioniert. Anwender können mit einem Klick 2D- und 3D-Dickenverteilungskarten erstellen – ideal zur Überwachung der Prozessgleichmäßigkeit.
Jenseits von Halbleitern: Breites Anwendungsspektrum
Obwohl es für die Waferdickenmessung optimiert ist, findet dieses spektroskopische Ellipsometer in vielen Branchen Anwendung:
- Flachbildschirme – OLED- und TFT-Schichtdicken messen
- Photovoltaik – Charakterisierung von Antireflexionsbeschichtungen, transparenten leitfähigen Oxiden und Absorberschichten
- Optische Beschichtungen – Bandpassfilter, Antireflexionsschichten und hochreflektierende Spiegel prüfen
- Materialwissenschaft – Untersuchung von Dünnschichten, 2D-Materialien und Polymeren
- Biosensorik – Nachweis molekularer Schichten auf funktionalisierten Oberflächen
Der breite Spektralbereich des Instruments (von Ultraviolett bis Nahinfrarot) ermöglicht die Charakterisierung von Materialien von Tief-UV-Lithographiefilmen bis hin zu optischen Infrarotbeschichtungen.
Fortschrittlich und dennoch benutzerfreundlich: Software, die für Sie funktioniert
Ein leistungsstarkes Dickenmessgerät muss auch im täglichen Gebrauch praktisch sein. MSK'sspektroskopisches Ellipsometerwird mit einer umfassenden Analysesoftware geliefert, die folgende Funktionen bietet:
- Vorkonfigurierte Datenbank optischer Konstanten – über 100 Materialien, darunter gängige Halbleiter, Dielektrika und Metalle
- Mehrere Dispersionsmodelle – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-Spline, Oszillatoren und mehr
- Mehrschichtige Anpassung – unterstützt bis zu 30 Schichten, einschließlich abgestufter Übergänge und Oberflächenrauheit
- Ein-Klick-Mapping – automatische Erstellung von Berichten zur Dickenhomogenität für Wafer und große Substrate
- Offline-Lizenzierung – ermöglicht die Datenanalyse auf separaten Computern, ohne das Gerät zu blockieren.
Die geführte, interaktive Benutzeroberfläche verkürzt die Einarbeitungszeit – neue Benutzer können innerhalb weniger Minuten routinemäßige Waferdickenmessungen durchführen.
Entwickelt für Forschungs- und Produktionsumgebungen
MSK bietet dieses spektroskopische Ellipsometer in verschiedenen Konfigurationen an, um Ihren Bedürfnissen gerecht zu werden:
- Tischgerät – ideal für Forschungs- und Entwicklungslabore sowie universitäre Forschung
- Mapping-Konfiguration – beinhaltet einen hochpräzisen X/Y-Tisch für das automatisierte Wafer-Scannen
- Anpassbare Spektralbereiche – von tiefem UV (193 nm) bis zu kurzwelligem Infrarot (2500 nm)
- Optionen für temperaturgeregelte Messbühnen – für In-situ-Messungen bis 1000 °C
Das Gerät nutzt eine Technologie mit zwei rotierenden Kompensatoren, die alle 16 Elemente der Mueller-Matrix in einer einzigen Messung erfasst. Dies liefert umfangreichere Daten als herkömmliche Ellipsometer – besonders nützlich bei anisotropen oder depolarisierenden Proben.
Zuverlässige Leistung für kritische Qualitätskontrolle
In Produktionsumgebungen ist Wiederholgenauigkeit von entscheidender Bedeutung. Das spektroskopische Ellipsometer von MSK bietet dank folgender Eigenschaften außergewöhnliche Stabilität:
- Halbleitergekühlte Detektoren – geringes Rauschen, hoher Dynamikbereich
- Laser-Autofokus – sorgt für eine gleichbleibende Fokusposition über die gesamte Probe.
- Stabiles optisches Pfaddesign – minimiert die Abweichung zwischen Kalibrierungen
Das System erfüllt strenge Industriestandards, und MSK stellt unabhängige Metrologieberichte zur Verfügung, um die absolute Dickengenauigkeit an Standardmustern zu überprüfen.
Anpassung & Support – maßgeschneidert für Ihre Anwendung
MSK versteht, dass jede Dünnschichtanwendung einzigartig ist. Deshalb bietet das Unternehmen Folgendes an:
- Benutzerdefinierte Spektralbereichserweiterungen – wählen Sie die Bänder, die zu Ihren Materialien passen
- Spezielle Probenhalter – für Wafer mit nicht standardmäßigen Abmessungen oder Substrate mit ungewöhnlicher Form
- Softwareanpassung – Hinzufügen spezifischer Analysemodelle oder Automatisierungsroutinen
- Installation und Schulung vor Ort – bringen Sie Ihr Team schnell auf den neuesten Stand.
Da es sich um ein hochpräzises Instrument handelt, ist der auf der Produktseite angegebene Preis lediglich eine Anzahlung. MSK bittet ernsthafte Interessenten, sich für ein individuelles Angebot, das auf ihrer gewünschten Konfiguration basiert, an das Vertriebsteam zu wenden.
Kostenlose technische Beratung & Demo
Sie sind sich nicht sicher, ob Ellipsometrie für Ihr Material geeignet ist? MSK bietet eine kostenlose technische Beratung an.
Verfügbarkeit & Kontaktinformationen
Die neue Serie spektroskopischer Ellipsometer ist ab sofort weltweit bestellbar. Um ein Angebot anzufordern, eine Produktbroschüre zu erhalten oder eine Live-Online-Demonstration zu vereinbaren:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK begrüßt Anfragen von Halbleiterfabriken, Forschungsinstituten, Herstellern optischer Beschichtungen und Solarzellenherstellern – von Einzelgeräten bis hin zu Mehrsystemanlagen.
Über MSK CNC-Werkzeuge
Die 2015 gegründete und nach ISO 9001 zertifizierte MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. ist spezialisiert auf hochpräzise Messtechnik und CNC-Schneidwerkzeuge. Mit Fertigungsanlagen aus Deutschland und Taiwan sowie einem engagierten Forschungs- und Entwicklungsteam bedient MSK Kunden in ganz Europa, Amerika und Asien. Das Unternehmen hat sich zum Ziel gesetzt, fortschrittliche, zuverlässige und kosteneffiziente Lösungen für die Materialcharakterisierung und -bearbeitung anzubieten.
Veröffentlichungsdatum: 10. April 2026
