Libakeng tsa semiconductor fabs, lilaboratori tsa R&D, le lits'ebeletso tsa ho koahela ka mahlo, ho tseba botenya bo nepahetseng le thepa ea mahlo ea lifilimi tse tšesaane ho bohlokoa - leha ho le joalo mekhoa ea setso ea ho ikopanya e ka senya lisampole tse bonolo kapa ea fetoa ke lintlha tsa bohlokoa. Kajeno, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. e phatlalatsa ellipsometer ea eona ea morao-rao ea spectroscopic, sesebelisoa sa ho lekanya botenya se sa senyeheng se entsoeng bakeng satekanyo ea botenya ba wafer, tlhahlobo ea index ea refractive, le tlhaloso ea li-stack tse nang le mekhahlelo e mengata.
Sistimi ena e ncha e kopanya mefuta e mengata ea li-spectral, kutlo e phahameng, le software ea ho etsa mohlala e bonolo ho e sebelisa - tsohle li le sethaleng se senyenyane, sa maemo a lipatlisiso. Hore na o hloka ho lekanya li-oxide tsa heke tse tšesaane haholo, li-coat tse thibelang ho bonahatsa lisele tsa letsatsi, kapa li-stack tse rarahaneng tsa OLED, ellipsometer ea MSK ea spectroscopic e fana ka data e tšepahalang, e ka phetoang ntle le ho ama kapa ho senya sampole ea hau.
"Hangata baenjiniere ba thatafalloa ho leka-lekanya ho nepahala, lebelo le polokeho ea sampole,"ho boletse mookamedi e moholo wa dihlahiswa tsa MSK."Sesebelisoa sa rona sa ellipsoscopic ellipsometer se rarolla taba ea hore - joalo ka sesebelisoa sa 'nete sa ho lekanya botenya, se fana ka tekanyo ea botenya ba wafer le tlhahlobo e sa khaotseng ea optical ka metsotsoana, ntle le kotsi ea ho ngoapa kapa ho silafala."
Hobaneng o ka Khetha Ellipsometer ena ea Spectroscopic e le Sesebelisoa sa Hao sa ho Lekanya Botenya
Ho fapana le diprofaele tsa bolelele ba leqhubu le le leng kapa tsa mechine, ellipsometer ena ya spectroscopic e sebedisa lesedi le nang le polarized ho sekaseka kamoo filimi e tshesane e fetolang boemo ba polarization ya lesedi. Ho tloha tekanyong eo, e bala diparamitha tse ngata ka nako e le nngwe:
- Botenya ba filimi (ho tloha lera le le leng ho isa ho li-stack tse rarahaneng tsa mekhahlelo e mengata)
- Lenane la refractive (n) le coefficient ea ho fela (k)
- Lekhalo la sehlopha sa optical (Mohlala)
- Ho se tsitse ha bokaholimo
Jwalo ka sesebediswa se lekanyang botenya se nang le bokgoni bo fapaneng, se sebetsana le botenya ho tloha ho bosesaane bo feteletseng (sub-nanometer) ho isa ho difilimi tse teteaneng haholo - e leng se etsang hore e lokele ntho e nngwe le e nngwe ho tloha ho athomo lera ho isa ho dikoahelo tsa polymer tsa micron-scale.
Tekanyo ea Botenya ba Wafer e sa Senyeheng - Bohlokoa bakeng sa Tlhahiso ea Semiconductor
Bakeng sa tlhahiso ea li-semiconductor,tekanyo ea botenya ba waferho bohlokoa ho laola ho beoa, ho tjhesa, le lits'ebetso tsa CMP. Leha ho le jwalo, diprofaele tsa stylus tsa mechini di ka ngoapa difilimi tse bonolo, mme di-reflectometer tsa optical hangata ha di na kutlwisiso bakeng sa di-stack tsa mekhahlelo e mengata.
Ellipsometer ea MSK ea spectroscopic e hlola mefokolo ena:
- Ha e amehe kapa ha e senye - ha ho kotsi ea tšenyo ho li-wafer tse nang le lipaterone kapa lifilimi tse bonolo
- Ho ba le kutlo e phahameng – e kgonang ho lemoha diphetoho tsa botenya ba sub-nanometer ho pholletsa le wafer
- Tlhahlobo ea mekhahlelo e mengata - e lekanya mekhahlelo ka bonngoe ka har'a li-stack tse rarahaneng (mohlala, SiO₂/Si₃N₄/poly‑Si) ntle le puisano e fapaneng
Sistimi ena e kenyelletsa mohato oa 'mapa o iketsang o tšehetsang li-wafer tse fihlang ho lisenthimithara tse 200 (200mm) tse nang le sebaka se nepahetseng. Basebelisi ba ka hlahisa limmapa tsa kabo ea botenya ba 2D le 3D ka ho tobetsa hanngoe - e loketseng bakeng sa ho lekola ts'ebetso e ts'oanang.
Ka Nģ'ane ho Li-semiconductor: Mefuta e Meholo ea Tšebeliso
Leha e ntlafalitsoe bakeng sa tekanyo ea botenya ba wafer, ellipsometer ena ea spectroscopic e sebeletsa liindasteri tse ngata:
- Lipontšo tsa phanele e bataletseng - lekanya botenya ba lera la OLED le TFT
- Photovoltaics – e hlalosa masela a thibelang ho bonahatsa khanya, di-oxide tse fetisang motlakase tse bonaletsang, le dikarolo tse monyang mocheso
- Liaparo tsa mahlo - netefatsa li-filter tsa bandpass, li-stack tse thibelang ho bonahatsa khanya, le liipone tse bonahatsang khanya haholo
- Saense ea thepa - ithute lifilimi tse tšesaane, thepa ea 2D, le li-polymers
- Ho lemoha lintho tse phelang – lemoha mekhahlelo ea limolek'hule holim'a libaka tse sebetsang
Mefuta e mengata ea lisebelisoa tsena (ho tloha ho ultraviolet ho isa ho infrared e haufi) e li lumella ho khetholla thepa ho tloha lifiliming tsa lithography tse tebileng tsa UV ho ea ho lipente tsa mahlo tsa infrared.
E Tsoetseng Pele Empa e le Bonolo ho e Sebelisa: Software e U Sebetsang
Sesebelisoa se matla sa ho lekanya botenya le sona se lokela ho ba se sebetsang bakeng sa ts'ebeliso ea letsatsi le letsatsi.sesupa-tsela sa spectroscopice tla le software e felletseng ea tlhahlobo e nang le:
- Sebaka sa polokelo ea lintlha tse sa fetoheng tsa optical se hahiloeng esale pele – thepa e fetang 100 ho kenyeletsoa le li-semiconductor tse tloaelehileng, dielectric le litšepe
- Mefuta e mengata ea ho hasana - Cauchy, Sellmeier, Tauc Lorentz, B spline, oscillator, le tse ling
- Ho kenya likarolo tse ngata - ho tšehetsa likarolo tse fihlang ho tse 30, ho kenyeletsoa le li-interface tse hlophisitsoeng le ho se tsitse ha bokaholimo
- Ho tobetsa hanngoe feela 'mapa - ho hlahisa ka bohona litlaleho tsa ho tšoana ha botenya bakeng sa li-wafer le li-substrate tse kholo
- Laesense ea kantle ho inthanete - e lumella tlhahlobo ea data lik'homphieutheng tse arohaneng ntle le ho tlama sesebelisoa
Sebopeho se tataisitsoeng, se sebelisanang se fokotsa nako ea koetliso - basebelisi ba bacha ba ka etsa tekanyo ea kamehla ea botenya ba wafer ka metsotso e seng mekae.
E etselitsoe Liketsahalo tsa Lipatlisiso le Tlhahiso
MSK e fana ka ellipsometer ena ea spectroscopic ka litlhophiso tse ngata ho lumellana le litlhoko tsa hau:
- Sistimi ea benchtop - e loketse lilaboratori tsa R&D le lipatlisiso tsa univesithi
- Tlhophiso ea 'mapa - e kenyelletsa sethala sa X/Y se nepahetseng haholo bakeng sa ho skena ka mokhoa o iketsang oa wafer
- Mefuta e ka fetoloang ea li-spectral - ho tloha ho UV e tebileng (193nm) ho isa ho infrared ea maqhubu a makhutšoanyane (2500nm)
- Likhetho tsa sethala tse laoloang ke mocheso - bakeng sa litekanyo tsa kahare ho sebaka ho fihlela ho 1000°C
Sesebelisoa sena se sebedisa theknoloji ya compensator e potolohang habeli, e lekanyang dikarolo tsohle tse 16 tsa matrix tsa Mueller ka ho fumana ntho e le nngwe. Sena se fana ka data e ngata ho feta di-ellipmeter tse tlwaelehileng - e leng molemo haholo bakeng sa disampole tsa anisotropic kapa tsa depolarizing.
Tshebetso e Tšepahalang bakeng sa QC e Bohlokoa
Bakeng sa tikoloho ea tlhahiso, ho pheta-pheta ke ntho ea bohlokoa. Ellipsometer ea MSK ea spectroscopic e fana ka botsitso bo ikhethang ka lebaka la:
- Di-detector tse phodisitsweng ke semiconductor – lerata le tlase, sebaka se phahameng sa matla
- Ho tsepamisa mohopolo ka laser ka bohona – ho boloka sebaka se tsitsitseng sa ho tsepamisa mohopolo ho pholletsa le sampole
- Moralo o tsitsitseng oa tsela ea optical - o fokotsa ho hoholeha pakeng tsa litekanyo
Sistimi ena e fihlela maemo a thata a indasteri, 'me MSK e fana ka litlaleho tsa metrology tsa mokha oa boraro ho netefatsa ho nepahala ho felletseng ha botenya lisampoleng tse tloaelehileng.
Ho iketsetsa le ho tšehetsa – Ho ipapisitse le Kopo ea hau
MSK e utloisisa hore ts'ebeliso e 'ngoe le e 'ngoe ea filimi e tšesaane e ikhetha. Ke ka lebaka leo k'hamphani e fanang ka:
- Katoloso ea mefuta ea li-spectral tse ikhethileng - khetha lihlopha tse lumellanang le thepa ea hau
- Mehato e khethehileng ea sampole - bakeng sa boholo ba li-wafer tse sa tloaelehang kapa li-substrate tse nang le sebopeho se sa tloaelehang
- Ho iketsetsa software - eketsa mehlala e itseng ea tlhahlobo kapa mekhoa ea othomathike
- Ho kenya le ho koetlisa sebakeng seo – etsa hore sehlopha sa hau se potlake kapele
Kaha sena ke sesebelisoa se nepahetseng haholo, theko e bontšitsoeng leqepheng la sehlahisoa ke depositi feela. MSK e mema bareki ba tiileng ho ikopanya le sehlopha sa thekiso bakeng sa khotheishene e nepahetseng ho latela tlhophiso ea hau e hlokahalang.
Keletso ea Botekgeniki le Demo ea Mahala
Ha o na bonnete ba hore na ellipsometry e loketse thepa ea hau? MSK e fana ka likeletso tsa tekheniki mahala.
Boteng le Tlhahisoleseding ea ho ikopanya
Letoto le lecha la ellipsometer la spectroscopic le fumaneha hang-hang bakeng sa liodara tsa lefats'e ka bophara. Ho kopa khotheishene, fumana bukana ea sehlahisoa, kapa u hlophise pontšo e phelang inthaneteng:
Email: molly@mskcnctools.com
Mohala: 0086-13602071763
Webosaete:www.mskcnctools.com
MSK e amohela lipotso tse tsoang ho litsebi tsa masela a semiconductor, litsi tsa lipatlisiso, bahlahisi ba masela a optical coating, le bahlahisi ba lisele tsa letsatsi - ho tloha ho li-unit tse le 'ngoe ho ea ho litsamaiso tse ngata.
Mabapi le Lisebelisoa tsa MSK CNC
E thehiloe ka 2015 'me e na le setifikeiti sa ISO 9001, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. e ikhetha ka lisebelisoa tsa metrology tse nepahetseng haholo le lisebelisoa tsa ho seha tsa CNC. Ka lisebelisoa tsa tlhahiso tsa Jeremane le Taiwan le sehlopha se inehetseng sa R&D, MSK e sebeletsa bareki ho pholletsa le Europe, Amerika le Asia. Sepheo sa k'hamphani ke ho fana ka litharollo tse tsoetseng pele, tse tšepahalang, le tse theko e tlaase bakeng sa ho hlalosa le ho sebetsa thepa.
Nako ea poso: Mmesa-10-2026
