Жартылай өткізгіш фабрикаларында, ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар зертханаларында және оптикалық жабын жасау қондырғыларында жұқа қабықшалардың дәл қалыңдығы мен оптикалық қасиеттерін білу өте маңызды, дегенмен дәстүрлі жанасу әдістері нәзік үлгілерді зақымдауы немесе маңызды деректерді жіберіп алуы мүмкін. Бүгін MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. өзінің ең соңғы спектроскопиялық эллипсометрін, ... үшін жасалған бұзбайтын қалыңдықты өлшейтін құралын жариялады.пластина қалыңдығын өлшеу, сыну көрсеткішін талдау және көп қабатты стек сипаттамасы.
Бұл жаңа жүйе кең спектрлік диапазонды, жоғары сезімталдықты және пайдаланушыға ыңғайлы модельдеу бағдарламалық жасақтамасын біріктіреді – мұның бәрі ықшам, зерттеу деңгейіндегі платформада. Сізге ультра жұқа қақпа оксидтерін, күн батареяларындағы шағылыстыруға қарсы жабындарды немесе күрделі OLED стектерін өлшеу қажет болса да, MSK спектроскопиялық эллипсометрі үлгіңізбен байланыспай немесе зақымдамай сенімді, қайталанатын деректерді береді.
«Инженерлер көбінесе дәлдік, жылдамдық және үлгі қауіпсіздігі арасындағы тепе-теңдікті сақтауда қиналады».деді MSK өнімінің аға менеджері.«Біздің спектроскопиялық эллипсометріміз нақты қалыңдықты өлшейтін құрал ретінде пластина қалыңдығын өлшеуді және оптикалық тұрақты талдауды бірнеше секунд ішінде, сызат немесе ластану қаупінсіз қамтамасыз етеді».
Неліктен осы спектроскопиялық эллипсометрді қалыңдықты өлшеу құралы ретінде таңдау керек
Бір толқынды немесе механикалық профильдеушілерден айырмашылығы, бұл спектроскопиялық эллипсометр жұқа қабықшаның жарықтың поляризация күйін қалай өзгертетінін талдау үшін поляризацияланған жарықты пайдаланады. Сол өлшеу негізінде ол бір уақытта бірнеше параметрді есептейді:
- Қабықша қалыңдығы (бір қабаттан күрделі көп қабатты қабаттарға дейін)
- Сыну көрсеткіші (n) және сөну коэффициенті (k)
- Оптикалық жолақ аралығы (мысалы)
- Беткі кедір-бұдырлық
Жан-жақты қалыңдықты өлшейтін құрал ретінде, ол ультра жұқа (нанометрден кіші) бастап салыстырмалы түрде қалың қабықшаларға дейінгі қалыңдықтарды өңдейді, бұл оны атом қабатының тұндыруынан бастап микрон масштабты полимер жабындарына дейін барлығына жарамды етеді.
Бұзбайтын пластина қалыңдығын өлшеу – жартылай өткізгіш өндірісі үшін маңызды
Жартылай өткізгіштер өндірісі үшін,пластина қалыңдығын өлшеутұндыру, ою және CMP процестерін бақылау үшін өте маңызды. Дегенмен, механикалық стилус профильдері жұмсақ қабықшаларды сызып тастауы мүмкін, ал оптикалық рефлектометрлерде көп қабатты стектерге сезімталдық жиі болмайды.
MSK спектроскопиялық эллипсометрі келесі шектеулерді жеңеді:
- Байланыссыз және бұзбайды – өрнектелген пластиналарға немесе нәзік пленкаларға зақым келтіру қаупі жоқ
- Жоғары сезімталдық – пластинадағы нанометрден төмен қалыңдықтағы өзгерістерді анықтай алады
- Көп қабатты талдау – күрделі стектерде (мысалы, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) жеке қабаттарды өзара әрекеттесусіз өлшейді
Жүйеде 8 дюймге (200 мм) дейінгі пластиналарды дәл орналастыруды қолдайтын автоматты картаға түсіру кезеңі бар. Пайдаланушылар бір рет басу арқылы 2D және 3D қалыңдықтың таралу карталарын жасай алады – бұл процестің біркелкілігін бақылау үшін өте қолайлы.
Жартылай өткізгіштерден тыс: кең қолданылу аясы
Бұл спектроскопиялық эллипсометр пластина қалыңдығын өлшеуге оңтайландырылғанымен, көптеген салаларға қызмет көрсетеді:
- Жалпақ панельді дисплейлер – OLED және TFT қабаттарының қалыңдығын өлшейді
- Фотоэлектрлік техника – шағылыстыруға қарсы жабындарды, мөлдір өткізгіш оксидтерді және сіңіргіш қабаттарды сипаттайды
- Оптикалық жабындар – өткізгіштік сүзгілерді, шағылыстыруға қарсы стектерді және жоғары шағылыстырушы айналарды тексеріңіз
- Материалтану – жұқа қабықшаларды, 2D материалдарын және полимерлерді зерттеу
- Биосенсорлық жүйе – функционалданған беттердегі молекулалық қабаттарды анықтау
Аспаптың кең спектрлік диапазоны (ультракүлгін сәуледен инфрақызыл сәулеге дейін) терең ультракүлгін литографиялық пленкалардан бастап инфрақызыл оптикалық жабындарға дейінгі материалдарды сипаттауға мүмкіндік береді.
Жетілдірілген, бірақ қолдануға оңай: сізге сәйкес келетін бағдарламалық жасақтама
Қуатты қалыңдықты өлшейтін құрал күнделікті қолдануға да ыңғайлы болуы керек. MSKспектроскопиялық эллипсометркешенді талдау бағдарламалық жасақтамасымен бірге келеді, ол келесі мүмкіндіктерді ұсынады:
- Алдын ала жасалған оптикалық тұрақтылар дерекқоры – кең таралған жартылай өткізгіштерді, диэлектриктерді және металдарды қоса алғанда, 100-ден астам материал
- Көп дисперсиялық модельдер – Коши, Селлмейер, Таук-Лоренц, В-сплайн, осцилляторлар және т.б.
- Көп қабатты бекіту – тегістелген интерфейстер мен беттің кедір-бұдырлығын қоса алғанда, 30 қабатқа дейін қолдайды
- Бір рет басу арқылы картаға түсіру – пластиналар мен үлкен негіздер үшін қалыңдықтың біркелкілігі туралы есептерді автоматты түрде жасайды
- Офлайн лицензиялау – құралды байланыстырмай, бөлек компьютерлерде деректерді талдауға мүмкіндік береді
Басқарылатын, интерактивті интерфейс оқыту уақытын қысқартады – жаңа пайдаланушылар бірнеше минут ішінде пластина қалыңдығын әдеттегідей өлшей алады.
Зерттеу және өндірістік орталарға арналған
MSK сіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес келетін бірнеше конфигурацияда осы спектроскопиялық эллипсометрді ұсынады:
- Үстел үсті жүйесі – ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар зертханалары мен университеттік зерттеулер үшін өте қолайлы
- Карталау конфигурациясы – пластиналарды автоматты түрде сканерлеуге арналған жоғары дәлдіктегі X/Y сатысын қамтиды
- Теңшелетін спектрлік диапазондар – терең ультракүлгін сәуледен (193 нм) қысқа толқынды инфрақызылға (2500 нм) дейін
- Температураны басқаратын кезең опциялары – 1000°C дейінгі in situ өлшеулер үшін
Құрал қос айналмалы компенсатор технологиясын пайдаланады, ол барлық 16 Мюллер матрицалық элементін бір реттік өлшеуде өлшейді. Бұл дәстүрлі эллипсометрлерге қарағанда бай деректерді қамтамасыз етеді – әсіресе анизотропты немесе деполяризацияланатын үлгілер үшін пайдалы.
Маңызды сапаны бақылау үшін сенімді өнімділік
Өндірістік орталар үшін қайталанымдылық маңызды. MSK спектроскопиялық эллипсометрі келесі мүмкіндіктердің арқасында ерекше тұрақтылықты қамтамасыз етеді:
- Жартылай өткізгішті салқындатылатын детекторлар – төмен шу, жоғары динамикалық диапазон
- Лазерлік автофокус – үлгі бойынша біркелкі фокустық позицияны сақтайды
- Тұрақты оптикалық жол дизайны – калибрлеулер арасындағы ауытқуды азайтады
Жүйе қатаң салалық стандарттарға сәйкес келеді, ал MSK стандартты үлгілердегі абсолютті қалыңдық дәлдігін тексеру үшін үшінші тарап метрология есептерін ұсынады.
Теңшеу және қолдау – сіздің қолданбаңызға бейімделген
MSK әрбір жұқа қабықша қолданбасының ерекше екенін түсінеді. Сондықтан компания мыналарды ұсынады:
- Спектрлік диапазон кеңейтімдерін теңшеу – материалдарыңызға сәйкес келетін жолақтарды таңдаңыз
- Мамандандырылған үлгі сатылары – стандартты емес пластина өлшемдері немесе ерекше пішінді негіздер үшін
- Бағдарламалық жасақтаманы теңшеу – нақты талдау модельдерін немесе автоматтандыру процедураларын қосу
- Орналастыру және оқыту – командаңызды тез арада жұмысқа дайындаңыз
Бұл жоғары дәлдіктегі құрал болғандықтан, өнім бетінде көрсетілген баға тек алдын ала төлем болып табылады. MSK байыпты сатып алушыларды қажетті конфигурацияңызға негізделген нақты баға алу үшін сату тобына хабарласуға шақырады.
Тегін техникалық кеңес және демо
Эллипсометрия сіздің материалыңызға сәйкес келетініне сенімді емессіз бе? MSK тегін техникалық кеңес береді.
Қолжетімділік және байланыс ақпараты
Жаңа спектроскопиялық эллипсометр сериясы әлемдік тапсырыстар үшін дереу қолжетімді. Баға сұрау, өнім брошюрасын алу немесе тікелей онлайн көрсетілім ұйымдастыру үшін:
Email: molly@mskcnctools.com
Телефон: 0086-13602071763
Веб:www.mskcnctools.com
MSK жартылай өткізгіш фабрикаларынан, ғылыми-зерттеу институттарынан, оптикалық жабын өндірушілерінен және күн батареяларын өндірушілерден – бір блоктан бастап бірнеше жүйелерге дейін – сұраныстарды қабылдайды.
MSK CNC құралдары туралы
2015 жылы құрылған және ISO 9001 сертификатына ие MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. компаниясы жоғары дәлдіктегі метрология құралдары мен CNC кесу құралдарына маманданған. Неміс және Тайвань өндірістік жабдықтарымен және арнайы ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар тобымен MSK Еуропа, Америка және Азиядағы тұтынушыларға қызмет көрсетеді. Компанияның миссиясы - материалдарды сипаттау және өңдеу үшін озық, сенімді және үнемді шешімдер ұсыну.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 10 сәуір
