Dans les usines de semi-conducteurs, les laboratoires de R&D et les installations de revêtement optique, la connaissance précise de l'épaisseur et des propriétés optiques des couches minces est essentielle. Or, les méthodes de contact traditionnelles peuvent endommager les échantillons fragiles ou entraîner la perte de données cruciales. Aujourd'hui, MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. annonce son dernier ellipsomètre spectroscopique, un instrument de mesure d'épaisseur non destructif conçu pour…mesure de l'épaisseur de la plaquette, l’analyse de l’indice de réfraction et la caractérisation des empilements multicouches.
Ce nouveau système combine une large gamme spectrale, une haute sensibilité et un logiciel de modélisation convivial, le tout dans une plateforme compacte de qualité recherche. Que vous ayez besoin de mesurer des oxydes de grille ultra-minces, des revêtements antireflets sur des cellules solaires ou des empilements OLED complexes, l'ellipsomètre spectroscopique de MSK fournit des données fiables et reproductibles sans contact avec l'échantillon, évitant ainsi tout dommage.
« Les ingénieurs ont souvent du mal à trouver un équilibre entre précision, rapidité et sécurité des échantillons. »a déclaré un chef de produit senior de MSK.« Notre ellipsomètre spectroscopique résout ce problème : véritable instrument de mesure d'épaisseur, il permet de mesurer l'épaisseur des plaquettes et d'analyser les constantes optiques en quelques secondes, sans aucun risque de rayure ou de contamination. »
Pourquoi choisir cet ellipsomètre spectroscopique comme instrument de mesure d'épaisseur
Contrairement aux profileurs à longueur d'onde unique ou mécaniques, cet ellipsomètre spectroscopique utilise la lumière polarisée pour analyser comment un film mince modifie l'état de polarisation de la lumière. À partir de cette mesure, il calcule simultanément plusieurs paramètres :
- Épaisseur du film (monocouche à multicouches complexes)
- Indice de réfraction (n) et coefficient d'extinction (k)
- Bande interdite optique (Eg)
- rugosité de surface
Instrument de mesure d'épaisseur polyvalent, il gère les épaisseurs allant des films ultra-minces (subnanométriques) aux films relativement épais, ce qui le rend adapté à tout, du dépôt de couches atomiques aux revêtements polymères à l'échelle du micron.
Mesure non destructive de l'épaisseur des plaquettes – Essentielle pour la production de semi-conducteurs
Pour la fabrication de semi-conducteurs,mesure de l'épaisseur de la plaquetteIl est essentiel de maîtriser les procédés de dépôt, de gravure et de polissage chimico-mécanique (CMP). Cependant, les profileurs à stylet mécaniques peuvent rayer les films tendres, et les réflectomètres optiques manquent souvent de sensibilité pour les empilements multicouches.
L'ellipsomètre spectroscopique du MSK surmonte ces limitations :
- Sans contact et non destructif – aucun risque d'endommagement des plaquettes structurées ou des films délicats
- Haute sensibilité – capable de détecter des variations d'épaisseur inférieures au nanomètre sur toute la surface de la plaquette
- Analyse multicouche – mesure les couches individuelles dans des empilements complexes (par exemple, SiO₂/Si₃N₄/poly-Si) sans diaphonie
Le système comprend une étape de cartographie automatique prenant en charge les plaquettes jusqu'à 200 mm (8 pouces) avec un positionnement précis. Les utilisateurs peuvent générer en un seul clic des cartes de distribution d'épaisseur 2D et 3D – idéal pour le contrôle de l'uniformité des procédés.
Au-delà des semi-conducteurs : un large éventail d'applications
Bien qu'optimisé pour la mesure de l'épaisseur des plaquettes, cet ellipsomètre spectroscopique est utilisé dans de nombreux secteurs industriels :
- Écrans plats – mesurer l'épaisseur des couches OLED et TFT
- Photovoltaïque – caractériser les revêtements antireflets, les oxydes conducteurs transparents et les couches absorbantes
- Revêtements optiques – vérifier les filtres passe-bande, les couches antireflets et les miroirs à haute réflectivité
- Science des matériaux – étude des couches minces, des matériaux 2D et des polymères
- Biodétection – détection de couches moléculaires sur des surfaces fonctionnalisées
La large gamme spectrale de l'instrument (de l'ultraviolet au proche infrarouge) lui permet de caractériser des matériaux allant des films de lithographie UV profonds aux revêtements optiques infrarouges.
Avancé et facile à utiliser : un logiciel qui fonctionne pour vous
Un instrument de mesure d'épaisseur performant doit également être pratique au quotidien. Celui de MSKellipsomètre spectroscopiqueest fourni avec un logiciel d'analyse complet qui comprend :
- Base de données de constantes optiques pré-intégrée – plus de 100 matériaux, dont des semi-conducteurs, des diélectriques et des métaux courants
- Modèles de dispersion multiples – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, oscillateurs, et plus encore
- Raccord multicouche – supporte jusqu'à 30 couches, y compris les interfaces graduées et la rugosité de surface
- Cartographie en un clic – génère automatiquement des rapports d'uniformité d'épaisseur pour les plaquettes et les grands substrats
- Licence hors ligne – permet l’analyse des données sur des ordinateurs distincts sans immobiliser l’instrument.
L'interface guidée et interactive réduit le temps de formation : les nouveaux utilisateurs peuvent effectuer des mesures d'épaisseur de plaquette de routine en quelques minutes.
Conçu pour les environnements de recherche et de production
MSK propose cet ellipsomètre spectroscopique dans de multiples configurations pour répondre à vos besoins :
- Système de paillasse – idéal pour les laboratoires de R&D et la recherche universitaire
- Configuration de cartographie – comprend une platine X/Y de haute précision pour la numérisation automatisée des plaquettes
- Gammes spectrales personnalisables – de l’UV profond (193 nm) à l’infrarouge à ondes courtes (2500 nm)
- Options de platine à température contrôlée – pour des mesures in situ jusqu'à 1000 °C
Cet instrument utilise une technologie de compensation à double rotation, qui mesure les 16 éléments de la matrice de Mueller en une seule acquisition. Il fournit ainsi des données plus complètes que les ellipsomètres conventionnels, particulièrement utiles pour les échantillons anisotropes ou dépolarisants.
Performances fiables pour le contrôle qualité critique
En production, la répétabilité est primordiale. L'ellipsomètre spectroscopique de MSK offre une stabilité exceptionnelle grâce à :
- Détecteurs refroidis par semi-conducteurs – faible bruit, grande plage dynamique
- Mise au point automatique laser – maintient une position focale constante sur l'ensemble de l'échantillon
- Conception de chemin optique stable – minimise la dérive entre les étalonnages
Le système répond aux normes industrielles les plus rigoureuses, et MSK fournit des rapports de métrologie tiers pour vérifier la précision absolue de l'épaisseur sur des échantillons standard.
Personnalisation et assistance – Adaptées à votre application
MSK comprend que chaque application de couches minces est unique. C'est pourquoi l'entreprise propose :
- Extensions spectrales personnalisées – choisissez les bandes qui correspondent à vos matériaux
- Platines porte-échantillons spécialisées – pour les plaquettes de tailles non standard ou les substrats de formes irrégulières
- Personnalisation du logiciel – ajout de modèles d'analyse spécifiques ou de routines d'automatisation
- Installation et formation sur site – formez rapidement votre équipe
S'agissant d'un instrument de haute précision, le prix affiché sur la page produit correspond à un acompte. MSK invite les acheteurs sérieux à contacter son équipe commerciale pour obtenir un devis précis en fonction de la configuration souhaitée.
Consultation technique et démonstration gratuites
Vous hésitez à utiliser l'ellipsométrie pour votre matériau ? MSK propose une consultation technique gratuite.
Disponibilité et informations de contact
La nouvelle série d'ellipsomètres spectroscopiques est disponible immédiatement pour les commandes internationales. Pour demander un devis, recevoir une brochure produit ou organiser une démonstration en ligne :
Email: molly@mskcnctools.com
Téléphone : 0086-13602071763
Web :www.mskcnctools.com
MSK accueille favorablement les demandes de renseignements provenant d'usines de semi-conducteurs, d'instituts de recherche, de fabricants de revêtements optiques et de producteurs de cellules solaires – allant d'unités uniques à des systèmes multiples.
À propos des outils CNC MSK
Fondée en 2015 et certifiée ISO 9001, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. est spécialisée dans les instruments de métrologie de haute précision et les outils de coupe CNC. Grâce à ses équipements de production allemands et taïwanais et à son équipe R&D dédiée, MSK sert des clients en Europe, en Amérique et en Asie. Sa mission est de fournir des solutions performantes, fiables et économiques pour la caractérisation et l'usinage des matériaux.
Date de publication : 10 avril 2026
