په سیمیکمډکټر فابریکو، د څیړنې او پراختیا لابراتوارونو، او د نظري کوټینګ اسانتیاوو کې، د پتلو فلمونو دقیق ضخامت او نظري ملکیتونو پوهیدل خورا مهم دي - مګر دودیز تماس میتودونه کولی شي نازک نمونې زیانمنې کړي یا مهم معلومات له لاسه ورکړي. نن ورځ، MSK (تیانجین) نړیوال سوداګریز شرکت، لمیټډ خپل وروستی سپیکٹروسکوپیک ایلیپسومیټر اعلان کړ، یو غیر ویجاړونکی ضخامت اندازه کولو وسیله چې د دې لپاره انجینر شوې ده.د ویفر ضخامت اندازه کول، د انعکاسي شاخص تحلیل، او د څو پوړونو سټیک ځانګړتیا.
دا نوی سیسټم یو پراخ طیفي لړۍ، لوړ حساسیت، او د کاروونکي دوستانه ماډلینګ سافټویر سره یوځای کوي - ټول په یوه کمپیکټ، د څیړنې درجې پلیټ فارم کې. که تاسو اړتیا لرئ چې د الټرا پتلي ګیټ اکسایډونو اندازه کړئ، په لمریز حجرو کې د انعکاس ضد پوښښونه، یا پیچلي OLED سټیکونه، د MSK سپیکٹروسکوپیک ایلیپسومیټر ستاسو نمونې سره اړیکه نیولو یا زیان رسولو پرته د باور وړ، تکرار وړ معلومات وړاندې کوي.
"انجینران اکثرا د دقت، سرعت، او نمونې خوندیتوب توازن لپاره مبارزه کوي،"د MSK د محصول یو لوړ پوړي مدیر وویل."زموږ سپیکٹروسکوپي ایلیپسومیټر دا حل کوي - د ریښتینې ضخامت اندازه کولو وسیلې په توګه، دا په ثانیو کې د ویفر ضخامت اندازه کول او نظري ثابت تحلیل چمتو کوي، د سکریچ کولو یا ککړتیا صفر خطر سره."
ولې دا سپیکٹروسکوپیک ایلیپسومیټر د خپل ضخامت اندازه کولو وسیلې په توګه غوره کړئ؟
د واحد طول موج یا میخانیکي پروفایلرونو برعکس، دا سپیکٹروسکوپي بیضوي اندازه کوونکی قطبي رڼا کاروي ترڅو تحلیل کړي چې څنګه یو پتلی فلم د رڼا د قطبي کولو حالت بدلوي. د دې اندازه کولو څخه، دا په ورته وخت کې ډیری پیرامیټرونه محاسبه کوي:
- د فلم ضخامت (د یوې طبقې څخه تر پیچلو څو طبقو پورې)
- د انعکاس شاخص (n) او د ورکېدو ضریب (k)
- د آپټیکل بینډ تشه (د مثال په توګه)
- د سطحې ناهمواروالی
د ضخامت د اندازه کولو د یوې څو اړخیزې وسیلې په توګه، دا د الټرا پتلي (فرعي نانومیټر) څخه تر نسبتا ضخامت فلمونو پورې ضخامت اداره کوي - دا د اټومي طبقې زیرمو څخه د مایکرون پیمانه پولیمر کوټینګونو پورې د هرڅه لپاره مناسب کوي.
د غیر تخریبي ویفر ضخامت اندازه کول - د سیمیکمډکټر تولید لپاره مهم دي
د نیمه کنډکټر تولید لپاره،د ویفر ضخامت اندازه کولد جمع کولو، ایچنګ، او CMP پروسو کنټرول لپاره اړین دی. په هرصورت، میخانیکي سټایلس پروفایلرونه کولی شي نرم فلمونه سکریچ کړي، او نظري انعکاس کونکي اکثرا د څو پرتونو سټیکونو لپاره حساسیت نلري.
د MSK سپیکٹروسکوپي ایلپسومیټر دا محدودیتونه لرې کوي:
- غیر تماس لرونکی او غیر ویجاړونکی - د نمونې شوي ویفرونو یا نازکو فلمونو ته د زیان رسولو خطر نشته
- لوړ حساسیت - د ویفر په اوږدو کې د فرعي نانومیټر ضخامت توپیرونو کشف کولو وړتیا لري
- څو پوړیزه تحلیل - په پیچلو سټېکونو کې انفرادي طبقې اندازه کوي (د مثال په توګه، SiO₂/Si₃N₄/poly‑Si) پرته له متقابل خبرو اترو
په دې سیسټم کې د اتوماتیک نقشې کولو مرحله شامله ده چې د دقیق موقعیت سره تر 8 انچو (200 ملي میتر) پورې ویفرونو ملاتړ کوي. کاروونکي کولی شي د یو کلیک سره د 2D او 3D ضخامت ویش نقشې رامینځته کړي - د پروسې یووالي څارنې لپاره مثالی.
د سیمیکمډکټرونو هاخوا: د غوښتنلیک پراخه لړۍ
که څه هم دا سپیکٹروسکوپي ایلیپسومیټر د ویفر ضخامت اندازه کولو لپاره غوره شوی، ډیری صنعتونو ته خدمت کوي:
- د فلیټ پینل ښودنه - د OLED او TFT طبقې ضخامت اندازه کړئ
- فوتوولټیکونه - د انعکاس ضد پوښښونه، شفاف کنډکټیو اکسایډونه، او د جذب پرتونه مشخص کوي
- آپټیکل کوټینګونه - د بینډ پاس فلټرونه، د انعکاس ضد سټیکونه، او لوړ انعکاس لرونکي عکسونه تایید کړئ
- د موادو ساینس - د نري فلمونو، دوه بعدي موادو، او پولیمرونو مطالعه
- بایو سینسنګ - په فعالو سطحو کې د مالیکولي طبقو کشف کول
د دې وسیلې پراخه طیفي لړۍ (له الټرا وایلیټ څخه تر نږدې انفراریډ پورې) دې ته اجازه ورکوي چې د ژورو UV لیتوګرافي فلمونو څخه تر انفراریډ آپټیکل کوټینګونو پورې مواد مشخص کړي.
پرمختللی خو کارول یې اسانه: سافټویر چې ستاسو لپاره کار کوي
د ضخامت اندازه کولو یو پیاوړی وسیله باید د ورځني کارونې لپاره هم عملي وي. MSK'sسپیکٹروسکوپي بیضوي اندازه کوونکید جامع تحلیل سافټویر سره راځي چې ځانګړتیاوې لري:
- مخکې جوړ شوی نظری ثابت ډیټابیس - له ۱۰۰ څخه ډیر مواد چې پکې عام سیمیکمډکټرونه، ډایالټریکونه او فلزات شامل دي
- د ګڼ شمېر خپراوي ماډلونه - کاچي، سیلمایر، ټاک لورینټز، بي سپلاین، اوسیلیټرونه، او نور
- څو طبقې فټینګ - تر 30 طبقو پورې ملاتړ کوي، په شمول د درجه بندي شوي انٹرفیسونو او سطحې ناهموارۍ
- د یو کلیک نقشه کول - په اتوماتيک ډول د ویفرونو او لویو سبسټریټونو لپاره د ضخامت یووالي راپورونه رامینځته کوي
- آفلاین جواز ورکول - د وسیلې له تړلو پرته په جلا کمپیوټرونو کې د معلوماتو تحلیل ته اجازه ورکوي
لارښود شوی، متقابل انٹرفیس د روزنې وخت کموي - نوي کاروونکي کولی شي په څو دقیقو کې د ویفر ضخامت معمول اندازه کړي.
د څیړنې او تولید چاپیریال لپاره ډیزاین شوی
MSK دا سپیکٹروسکوپي ایلیپسومیټر په څو ترتیباتو کې وړاندې کوي ترڅو ستاسو اړتیاوې پوره کړي:
- د بنچ ټاپ سیسټم - د څیړنې او پراختیا لابراتوارونو او پوهنتون څیړنې لپاره مناسب
- د نقشې کولو ترتیب - د اتوماتیک ویفر سکین کولو لپاره د لوړ دقیق X/Y مرحله شامله ده
- د تنظیم وړ طیفي سلسلې - له ژور UV (193nm) څخه تر لنډې څپې انفراریډ (2500nm) پورې
- د تودوخې کنټرول شوي مرحلې اختیارونه - د 1000 درجو سانتي ګراد پورې د داخلي اندازه کولو لپاره
دا وسیله د دوه ګوني څرخیدونکي معاوضې ټیکنالوژۍ څخه کار اخلي، کوم چې په یوه واحد استملاک کې ټول 16 مولر میټریکس عناصر اندازه کوي. دا د دودیزو ایلیپسومیټرونو په پرتله بډایه معلومات چمتو کوي - په ځانګړي توګه د انیسوټروپیک یا ډیپولاریز کولو نمونو لپاره ګټور.
د انتقادي QC لپاره د باور وړ فعالیت
د تولید چاپیریال لپاره، د تکرار وړتیا هرڅه دي. د MSK سپیکٹروسکوپیک ایلیپسومیټر استثنایی ثبات وړاندې کوي مننه:
- د نیمهمایکډر-یخ شوي کشف کوونکي - ټیټ شور، لوړ متحرک حد
- د لیزر اتومات تمرکز - په ټوله نمونه کې ثابت فوکل موقعیت ساتي
- د باثباته نظري لارې ډیزاین - د کیلیبریشنونو ترمنځ جریان کموي
دا سیسټم د صنعت سخت معیارونه پوره کوي، او MSK د دریمې ډلې میټرولوژي راپورونه چمتو کوي ترڅو په معیاري نمونو کې د ضخامت مطلق دقت تایید کړي.
تخصیص او ملاتړ - ستاسو د غوښتنلیک سره سم جوړ شوی
MSK پوهیږي چې د هر پتلي فلم غوښتنلیک ځانګړی دی. له همدې امله شرکت وړاندیز کوي:
- د دودیز طیفي رینج توسیعونه - هغه بانډونه غوره کړئ چې ستاسو د موادو سره سمون ولري.
- د نمونې ځانګړي مرحلې - د غیر معیاري ویفر اندازو یا عجیب شکل لرونکي سبسټریټ لپاره
- د سافټویر اصلاح کول - ځانګړي تحلیلي ماډلونه یا د اتومات کولو معمولونه اضافه کړئ
- په ساحه کې نصب او روزنه - خپل ټیم په چټکۍ سره چمتو کړئ
ځکه چې دا یو لوړ دقت لرونکی وسیله ده، د محصول په پاڼه کې ښودل شوی قیمت یوازې زیرمه ده. MSK جدي پیرودونکو ته بلنه ورکوي چې ستاسو د اړتیا وړ ترتیب پراساس د دقیق نرخ لپاره د پلور ټیم سره اړیکه ونیسي.
وړیا تخنیکي مشوره او ډیمو
نه پوهېږئ چې آیا ایلپسومیټري ستاسو د موادو لپاره سمه ده؟ MSK وړیا تخنیکي مشوره وړاندې کوي.
د شتون او اړیکو معلومات
د سپیکٹروسکوپیک ایلپسومیټر نوې لړۍ سمدلاسه د نړیوالو فرمایشونو لپاره شتون لري. د نرخ غوښتنه کولو لپاره، د محصول بروشر ترلاسه کړئ، یا د ژوندۍ آنلاین ډیمو تنظیم کړئ:
Email: molly@mskcnctools.com
تلیفون: ۰۰۸۶-۱۳۶۰۲۰۷۱۷۶۳
ویب:www.mskcnctools.com
MSK د سیمیکمډکټر فابریکو، څیړنیزو موسسو، د نظری کوټینګ جوړونکو، او د لمریز حجرو تولیدونکو څخه د پوښتنو هرکلی کوي - له واحد واحدونو څخه تر څو سیسټمونو پورې.
د MSK CNC وسیلو په اړه
د MSK (Tianjin) د پرې کولو ټیکنالوژۍ شرکت، لمیټډ، په ۲۰۱۵ کال کې تاسیس شوی او د ISO 9001 تصدیق شوی، د لوړ دقیق میټرولوژي وسایلو او CNC پرې کولو وسیلو کې تخصص لري. د جرمني او تایوان د تولید تجهیزاتو او وقف شوي R&D ټیم سره، MSK په ټوله اروپا، امریکا او آسیا کې پیرودونکو ته خدمت کوي. د شرکت ماموریت د موادو ځانګړتیا او ماشین کولو لپاره پرمختللي، باوري، او ارزانه حلونه چمتو کول دي.
د پوسټ وخت: اپریل-۱۰-۲۰۲۶
