MSK пластина калынлыгын үлчәү һәм аннан да күбрәк өчен алдынгы спектроскопик эллипсометр белән төгәл метрология портфолиосын киңәйтә

Ярымүткәргеч фабрикаларында, фәнни-тикшеренү һәм эшләнмәләр лабораторияләрендә һәм оптик каплау корылмаларында юка пленкаларның төгәл калынлыгын һәм оптик үзлекләрен белү бик мөһим, ләкин традицион контакт ысуллары нечкә үрнәкләргә зыян китерергә яки мөһим мәгълүматларны күрмәскә мөмкин. Бүген MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. үзенең иң яңа спектроскопик эллипсометрын игълан итә, ул ... өчен эшләнгән җимерелми торган калынлык үлчәү коралы.пластина калынлыгын үлчәү, сыну күрсәткече анализы һәм күп катламлы стек характеристикасы.

Бу яңа система киң спектр диапазонын, югары сизгерлекне һәм кулланучыга уңайлы модельләштерү программасын берләштерә - болар барысы да компакт, тикшеренү дәрәҗәсендәге платформада. Сезгә ультра-нечкә капка оксидларын, кояш батареяларындагы чагылышка каршы каплауларны яки катлаулы OLED катламнарын үлчәү кирәк булса да, MSK спектроскопик эллипсометры сезнең үрнәккә кагылмыйча яки зыян китермичә ышанычлы, кабатланырлык мәгълүмат бирә.

"Инженерлар еш кына төгәллек, тизлек һәм үрнәкләр куркынычсызлыгы арасында баланс табуда кыенлыклар кичерәләр",диде MSKның өлкән продукт менеджеры."Безнең спектроскопик эллипсометр моны хәл итә - чын калынлык үлчәү коралы буларак, ул пластина калынлыгын үлчәүне һәм оптик даими анализны берничә секунд эчендә тәэмин итә, тырналу яки пычрану куркынычы юк."

6
5

Ни өчен бу спектроскопик эллипсометрны калынлыкны үлчәү коралы итеп сайларга кирәк

Бер дулкын озынлыгындагы яки механик профильләрдән аермалы буларак, бу спектроскопик эллипсометр поляризацияләнгән яктылыкны кулланып, юка пленканың яктылыкның поляризация халәтен ничек үзгәртүен анализлый. Бу үлчәү нигезендә ул бер үк вакытта берничә параметрны исәпли:

  • Пленка калынлыгы (бер катламлыдан катлаулы күп катламлы катламлы катламнарга кадәр)
  • Сыну күрсәткече (n) һәм сүнү коэффициенты (k)
  • Оптик зона аралыгы (мәсәлән)
  • Өслекнең тигезсезлеге

Күп функцияле калынлык үлчәү коралы буларак, ул ультра-нечкә (субнанометр) калынлыклардан алып чагыштырмача калын пленкаларга кадәр калынлыкларны эшкәртә, бу аны атом катламы утыртудан алып микрон масштаблы полимер каплауларга кадәр бар нәрсә өчен дә яраклы итә.

Ярымүткәргеч җитештерү өчен җимерми торган пластина калынлыгын үлчәү - бик мөһим

Ярым ярымүткәргечләр җитештерү өчен,пластина калынлыгын үлчәүутырту, гравюра ясау һәм CMP процессларын контрольдә тоту өчен бик мөһим. Шулай да, механик стилус профильләре йомшак пленкаларны тырный ала, ә оптик рефлектометрлар еш кына күп катламлы катламнар өчен сизгерлеккә ия түгел.

MSK спектроскопик эллипсометры бу чикләүләрне җиңә:

  • Контактсыз һәм җимерми – бизәкле пластиналарга яки нечкә пленкаларга зыян килү куркынычы юк
  • Югары сизгерлек – пластина буйлап нанометрдан түбән калынлык үзгәрешләрен ачыклый ала
  • Күп катламлы анализ – катлаулы стеклардагы (мәсәлән, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) аерым катламнарны үзара сөйләшүләрсез үлчи.

Система 8 дюймга (200 мм) кадәр пластиналарны төгәл урнаштыруны тәэмин итүче автоматик карталаштыру этабын үз эченә ала. Кулланучылар бер басу белән 2D һәм 3D калынлык бүленеш карталарын булдыра алалар - бу процессның бердәмлеген күзәтү өчен идеаль.

Ярымүткәргечләрдән тыш: киң куллану диапазоны

Пластиналар калынлыгын үлчәү өчен оптимальләштерелгән булса да, бу спектроскопик эллипсометр күп тармакларга хезмәт күрсәтә:

  • Яссы панельле дисплейлар – OLED һәм TFT катлам калынлыгын үлчәү
  • Фотоэлектриклар – чагылышка каршы каплауларны, үтә күренмәле үткәргеч оксидларны һәм абсорбер катламнарын характерлый
  • Оптик каплаулар – тасмалы фильтрларны, чагылышка каршы стекларны һәм югары чагылышлы көзгеләрне тикшерегез
  • Материаллар фәне – юка пленкаларны, 2D материалларны һәм полимерларны өйрәнү
  • Биосенсорлау – функциональләштерелгән өслекләрдә молекуляр катламнарны ачыклау

Җиһазның киң спектр диапазоны (ультрафиолеттан алып инфракызылга кадәр) тирән ультрафиолет литография пленкаларыннан алып инфракызыл оптик каплауларга кадәр материалларны характерларга мөмкинлек бирә.

Алдынгы, ләкин куллану җиңел: Сезнең өчен эшли торган программа тәэминаты

Көчле калынлык үлчәү коралы көндәлек куллану өчен дә файдалы булырга тиеш. MSK'sспектроскопик эллипсометркомплекслы анализ программасы белән килә, ул түбәндәгеләрне үз эченә ала:

  • Алдан төзелгән оптик даими мәгълүмат базасы – 100 дән артык материал, шул исәптән гадәти ярымүткәргечләр, диэлектриклар һәм металлар
  • Күп дисперсия модельләре – Коши, Селлмейер, Таук-Лоренц, В-сплайн, осцилляторлар һәм башкалар
  • Күп катламлы урнаштыру – 30 катламга кадәр тота, шул исәптән тигезләнгән интерфейслар һәм өслекнең тигезсезлеге
  • Бер басу белән карталаштыру – пластиналар һәм зур субстратлар өчен калынлык бердәмлеге отчетларын автоматик рәвештә булдыра
  • Оффлайн лицензияләү – коралны бәйләмичә, аерым компьютерларда мәгълүматларны анализларга мөмкинлек бирә

Җитәкләнгән, интерактив интерфейс өйрәнү вакытын кыскарта - яңа кулланучылар берничә минут эчендә гадәти пластина калынлыгын үлчәүне башкара ала.

Фәнни-тикшеренү һәм җитештерү мохите өчен эшләнгән

MSK бу спектроскопик эллипсометрны сезнең ихтыяҗларыгызга туры китерү өчен төрле конфигурацияләрдә тәкъдим итә:

  • Эш өстәле системасы – фәнни-тикшеренү һәм эшләнмәләр лабораторияләре һәм университет тикшеренүләре өчен бик яхшы
  • Карталаштыру конфигурациясе – автоматик рәвештә пластина сканерлау өчен югары төгәллекле X/Y этабын үз эченә ала
  • Спектраль диапазоннарны көйләргә мөмкин – тирән ультрафиолеттан (193 нм) кыска дулкынлы инфракызылга (2500 нм) кадәр
  • Температура белән контрольдә тотыла торган этап вариантлары – 1000°C кадәр урында үлчәүләр өчен

Прибор икеләтә әйләнүче компенсатор технологиясен куллана, ул бер тапкыр алуда барлык 16 Мюллер матрицасы элементын үлчи. Бу гадәти эллипсометрларга караганда байрак мәгълүмат бирә - аеруча анизотроп яки деполяризацияләүче үрнәкләр өчен файдалы.

Критик КБ өчен ышанычлы эшчәнлек

Җитештерү мохите өчен кабатланучанлык бик мөһим. MSK спектроскопик эллипсометры түбәндәгеләр аркасында гаҗәеп тотрыклылык бирә:

  • Ярымүткәргечле суытулы детекторлар – түбән тавыш, югары динамик диапазон
  • Лазер автофокусы – үрнәк буенча даими фокус позициясен саклый
  • Оптик юлның тотрыклы дизайны – калибрлаулар арасындагы тайпылышны минимальләштерә

Система катгый сәнәгать стандартларына туры килә, һәм MSK стандарт үрнәкләрдә калынлыкның абсолют төгәллеген тикшерү өчен өченче як метрология отчетларын тәкъдим итә.

Үзгәртү һәм ярдәм – Сезнең кушымтагызга туры китереп эшләнгән

MSK һәр юка пленка куллану үзенчәлекле икәнен аңлый. Шуңа күрә компания түбәндәгеләрне тәкъдим итә:

  • Спектраль диапазон киңәйтүләрен махсус сайлагыз - материалларыгызга туры килә торган полосаларны сайлагыз
  • Махсуслаштырылган үрнәк этаплары – стандарт булмаган пластина зурлыклары яки сәер формадагы субстратлар өчен
  • Программа тәэминатын көйләү - махсус анализ модельләрен яки автоматлаштыру процедураларын өстәү
  • Урында урнаштыру һәм өйрәтү – командагызны тиз арада эшкә өйрәтегез

Бу югары төгәллекле корал булганлыктан, продукт битендә күрсәтелгән бәя бары тик алдан түләү генә. MSK җитди сатып алучыларны сезгә кирәкле конфигурация нигезендә төгәл бәя алу өчен сату командасына мөрәҗәгать итәргә чакыра.

Спектроскопик эллипсометр

Бушлай техник консультация һәм демо

Эллипсометрия сезнең материал өчен туры киләме-юкмы икәнен белмисезме? MSK бушлай техник консультация тәкъдим итә.

Мөмкинлек һәм элемтә мәгълүматы

Яңа спектроскопик эллипсометр сериясе глобаль заказлар өчен шунда ук сатып алырга мөмкин. Бәя сорау, продукт брошюрасын алу яки онлайн-демо оештыру өчен:

Email: molly@mskcnctools.com
Телефон: 0086-13602071763
Веб:www.mskcnctools.com

MSK ярымүткәргеч фабрикаларыннан, тикшеренү институтларыннан, оптик каплау җитештерүчеләреннән һәм кояш батареялары җитештерүчеләреннән - бер блоктан алып берничә системага кадәр - сорауларны кабул итә.

MSK CNC кораллары турында

2015 елда оешкан һәм ISO 9001 сертификатына ия булган MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. югары төгәллекле метрология кораллары һәм CNC кисү кораллары җитештерүгә махсуслаша. Германия һәм Тайвань җитештерү җиһазлары һәм махсус тикшеренүләр һәм эшләнмәләр командасы белән MSK Европа, Америка һәм Азиядәге клиентларга хезмәт күрсәтә. Компаниянең миссиясе - материалларны характерлау һәм эшкәртү өчен алдынгы, ышанычлы һәм экономияле чишелешләр тәкъдим итү.


Бастырып чыгару вакыты: 2026 елның 10 апреле

Хәбәрегезне безгә җибәрегез:

Хәбәрегезне монда языгыз һәм безгә җибәрегез