MSK портфели метрологияи дақиқро бо эллипсометри пешрафтаи спектроскопӣ барои андозагирии ғафсии вафл ва берун аз он васеъ мекунад

Дар корхонаҳои нимноқилҳо, лабораторияҳои тадқиқотӣ ва рушд ва корхонаҳои пӯшиши оптикӣ, донистани ғафсии дақиқ ва хосиятҳои оптикии плёнкаҳои тунук муҳим аст - аммо усулҳои анъанавии тамос метавонанд ба намунаҳои нозук зарар расонанд ё маълумоти муҳимро аз даст диҳанд. Имрӯз, MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. охирин эллипсометри спектроскопии худро эълон мекунад, ки асбоби ченкунии ғафсии ғайривайронкунанда барои...андозагирии ғафсии вафл, таҳлили нишондиҳандаи шикаст ва тавсифи стекҳои бисёрқабата.

Ин системаи нав диапазони васеи спектрӣ, ҳассосияти баланд ва нармафзори моделсозии барои корбар қулайро муттаҳид мекунад - ҳама дар як платформаи паймон ва дараҷаи тадқиқотӣ. Новобаста аз он ки ба шумо лозим аст, ки оксидҳои дарвозаи ултра тунук, рӯйпӯшҳои зиддиинъикос дар батареяҳои офтобӣ ё стекҳои мураккаби OLED-ро чен кунед, эллипсометри спектроскопии MSK маълумоти боэътимод ва такроршавандаро бидуни тамос ё вайрон кардани намунаи шумо пешниҳод мекунад.

"Муҳандисон аксар вақт барои мувозинат кардани дақиқӣ, суръат ва бехатарии намунаҳо мубориза мебаранд."гуфт як менеҷери калони маҳсулоти MSK.«Эллипсометри спектроскопии мо ин масъаларо ҳал мекунад – ҳамчун асбоби воқеии ченкунии ғафсӣ, он андозагирии ғафсии вафл ва таҳлили доимии оптикиро дар тӯли чанд сония бидуни хатари харошидан ё ифлосшавӣ таъмин мекунад».

6
5

Чаро ин эллипсометри спектроскопиро ҳамчун асбоби ченкунии ғафсӣ интихоб кунед?

Бар хилофи профилҳои якмавҷӣ ё механикӣ, ин эллипсометри спектроскопӣ аз нури поляризатсияшуда барои таҳлили он, ки чӣ гуна як плёнкаи тунук ҳолати поляризатсияи нурро тағйир медиҳад, истифода мебарад. Аз рӯи ин андозагирӣ, он параметрҳои сершуморро ҳамзамон ҳисоб мекунад:

  • Ғафсии плёнка (стекҳои якқабата то мураккаби бисёрқабата)
  • Нишондиҳандаи шикаст (n) ва коэффитсиенти хомӯшшавӣ (k)
  • Фосилаи банди оптикӣ (масалан)
  • Ноҳамвории сатҳӣ

Ҳамчун асбоби бисёрҷонибаи ченкунии ғафсӣ, он ғафсӣҳоро аз ултра тунук (субнанометр) то плёнкаҳои нисбатан ғафс коркард мекунад, ки онро барои ҳама чиз, аз таҳшиншавии қабати атомӣ то пӯшишҳои полимерии миқёси микрон мувофиқ мегардонад.

Андозагирии ғафсии вафли ғайривайронкунанда - барои истеҳсоли нимноқилҳо муҳим аст

Барои истеҳсоли нимноқилҳо,андозагирии ғафсии вафлбарои назорати равандҳои таҳшинкунӣ, кандакорӣ ва CMP муҳим аст. Бо вуҷуди ин, профилёрҳои стилуси механикӣ метавонанд плёнкаҳои нармро харошанд ва рефлектометрҳои оптикӣ аксар вақт барои стекҳои бисёрқабата ҳассосият надоранд.

Эллипсометри спектроскопии MSK ин маҳдудиятҳоро бартараф мекунад:

  • Бетамос ва вайроннашаванда - хатари осеб дидан ба лавҳаҳои нақшдор ё плёнкаҳои нозук вуҷуд надорад
  • Ҳассосияти баланд - қобилияти муайян кардани тағйироти ғафсии зернанометр дар саросари пластина
  • Таҳлили бисёрқабата – қабатҳои алоҳидаро дар стекҳои мураккаб (масалан, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) бе муколамаи байниҳамдигарӣ чен мекунад

Система марҳилаи харитасозии худкорро дар бар мегирад, ки вафлҳои то 8 дюйм (200 мм)-ро бо ҷойгиркунии дақиқ дастгирӣ мекунад. Истифодабарандагон метавонанд харитаҳои тақсимоти ғафсии 2D ва 3D-ро бо як клик эҷод кунанд - ин барои назорати якхелагии раванд беҳтарин аст.

Ғайр аз нимноқилҳо: Доираи васеи татбиқ

Гарчанде ки ин эллипсометри спектроскопӣ барои андозагирии ғафсии вафлҳо оптимизатсия шудааст, он ба бисёр соҳаҳо хизмат мерасонад:

  • Дисплейҳои ҳамвор - ғафсии қабатҳои OLED ва TFT-ро чен мекунанд
  • Фотоэлектрикҳо - хусусиятҳои рӯйпӯшҳои зиддиинъикос, оксидҳои шаффофи ноқил ва қабатҳои ҷаббанда.
  • Пӯшишҳои оптикӣ - филтрҳои банди гузариш, стекҳои зидди инъикос ва оинаҳои баландсифатро санҷед
  • Илми маводшиносӣ - омӯзиши филмҳои тунук, маводҳои дученака ва полимерҳо
  • Биосенсинг - муайян кардани қабатҳои молекулавӣ дар сатҳҳои функсионалӣ

Диапазони васеи спектрии асбоб (аз ултрабунафш то наздик инфрасурх) ба он имкон медиҳад, ки маводҳоро аз плёнкаҳои литографияи ултрабунафши амиқ то пӯшишҳои оптикии инфрасурх тавсиф кунад.

Пешрафта, вале истифодааш осон: Нармафзоре, ки барои шумо кор мекунад

Асбоби пуриқтидори ченкунии ғафсӣ низ бояд барои истифодаи ҳаррӯза амалӣ бошад.эллипсометри спектроскопӣбо нармафзори ҳамаҷонибаи таҳлилӣ меояд, ки хусусиятҳои зеринро дорад:

  • Пойгоҳи додаҳои доимии оптикии пешакӣ сохташуда - зиёда аз 100 мавод, аз ҷумла нимноқилҳо, диэлектрикҳо ва металлҳои маъмулӣ
  • Моделҳои парокандагии сершумор - Коши, Селлмейер, Таук-Лоренц, В-сплайн, осцилляторҳо ва ғайра
  • Мутобиқати бисёрқабата - то 30 қабатро, аз ҷумла интерфейсҳои дараҷабандишуда ва ноҳамвории сатҳро дастгирӣ мекунад
  • Харитасозии як клик - ба таври худкор гузоришҳои якхелагии ғафсӣ барои лавҳаҳо ва субстратҳои калон тавлид мекунад
  • Литсензиядиҳии офлайнӣ – имкон медиҳад, ки таҳлили маълумот дар компютерҳои алоҳида бидуни пайваст кардани асбоб анҷом дода шавад

Интерфейси роҳнамо ва интерактивӣ вақти омӯзишро кам мекунад - корбарони нав метавонанд андозагирии муқаррарии ғафсии вафлиро дар тӯли чанд дақиқа анҷом диҳанд.

Барои муҳитҳои тадқиқотӣ ва истеҳсолӣ тарҳрезӣ шудааст

MSK ин эллипсометри спектроскопиро дар конфигуратсияҳои гуногун барои мувофиқат ба ниёзҳои шумо пешниҳод мекунад:

  • Системаи рӯи миз – барои лабораторияҳои R&D ва таҳқиқоти донишгоҳӣ комил аст
  • Конфигуратсияи харитасозӣ - марҳилаи X/Y-и дақиқи баландро барои сканкунии автоматии вафл дар бар мегирад
  • Диапазонҳои спектрии танзимшаванда - аз ултрабунафши амиқ (193 нм) то инфрасурхи кӯтоҳмавҷ (2500 нм)
  • Имконоти марҳилаи бо ҳарорат назоратшаванда - барои андозагирии in-situ то 1000°C

Ин асбоб аз технологияи компенсатори дукарата истифода мебарад, ки ҳамаи 16 унсури матритсаи Мюллерро дар як бор чен мекунад. Ин нисбат ба эллипсометрҳои анъанавӣ маълумоти бойтар медиҳад - махсусан барои намунаҳои анизотропӣ ё деполяризатсиякунанда муфид аст.

Иҷрои боэътимод барои QC-и муҳим

Барои муҳитҳои истеҳсолӣ, такроршавандагӣ ҳама чиз аст. Эллипсометри спектроскопии MSK ба шарофати инҳо устувории истисноиро таъмин мекунад:

  • Детекторҳои нимноқилӣ бо хунуккунӣ - садои паст, диапазони баланди динамикӣ
  • Автофокуси лазерӣ - мавқеи фокусии якхеларо дар тамоми намуна нигоҳ медорад
  • Тарроҳии устувори роҳи оптикӣ - фосилаи байни калибрченкуниро ба ҳадди ақалл мерасонад

Система ба стандартҳои қатъии соҳавӣ ҷавобгӯ аст ва MSK гузоришҳои метрологии тарафи сеюмро барои тасдиқи дақиқии мутлақи ғафсӣ дар намунаҳои стандартӣ пешниҳод мекунад.

Фармоишдиҳӣ ва дастгирӣ - Мутобиқсозӣ ба барномаи шумо

MSK мефаҳмад, ки ҳар як барномаи плёнкаи тунук беназир аст. Аз ин рӯ, ширкат пешниҳод мекунад:

  • Васеъкунии диапазони спектралии фармоишӣ - тасмаҳоеро интихоб кунед, ки ба маводҳои шумо мувофиқ бошанд
  • Марҳилаҳои махсуси намунавӣ - барои андозаҳои ғайристандартии вафлҳо ё субстратҳои шакли аҷиб
  • Танзими нармафзор - илова кардани моделҳои мушаххаси таҳлил ё тартиботи автоматикунонӣ
  • Насб ва омӯзиш дар макон - дастаи худро зуд омода созед

Азбаски ин асбоби дақиқи баланд аст, нархи дар саҳифаи маҳсулот нишондодашуда танҳо пешпардохт аст. MSK харидорони ҷиддиро даъват мекунад, ки бо дастаи фурӯш барои гирифтани нархномаи дақиқ дар асоси конфигуратсияи зарурии шумо тамос гиранд.

Эллипсометри спектроскопӣ

Машварати ройгони техникӣ ва намоиш

Мутмаин нестед, ки оё эллипсометрия барои маводи шумо мувофиқ аст? MSK машварати ройгони техникӣ пешниҳод мекунад.

Маълумот дар бораи дастрасӣ ва тамос

Силсилаи нави эллипсометрҳои спектроскопӣ фавран барои фармоишҳои ҷаҳонӣ дастрас аст. Барои дархост кардани нархнома, гирифтани брошюраи маҳсулот ё ташкили намоиши мустақими онлайн:

Email: molly@mskcnctools.com
Телефон: 0086-13602071763
Веб:www.mskcnctools.com

MSK дархостҳоро аз корхонаҳои нимноқилҳо, институтҳои тадқиқотӣ, истеҳсолкунандагони пӯшиши оптикӣ ва истеҳсолкунандагони батареяҳои офтобӣ - аз як дастгоҳ то системаҳои сершумор - истиқбол мекунад.

Дар бораи асбобҳои CNC MSK

Ширкати MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd., ки соли 2015 таъсис ёфтааст ва сертификати ISO 9001 дорад, дар соҳаи асбобҳои метрологии дақиқи баланд ва асбобҳои буриши CNC тахассус дорад. Бо таҷҳизоти истеҳсолии Олмон ва Тайван ва як гурӯҳи махсуси R&D, MSK ба муштариён дар саросари Аврупо, Амрико ва Осиё хидмат мерасонад. Вазифаи ширкат пешниҳоди роҳҳои ҳалли пешрафта, боэътимод ва арзон барои тавсифи мавод ва коркарди он мебошад.


Вақти нашр: 10 апрели соли 2026

Паёми худро ба мо фиристед:

Паёми худро дар ин ҷо нависед ва ба мо фиристед