În fabricile de semiconductori, laboratoarele de cercetare și dezvoltare și instalațiile de acoperire optică, cunoașterea exactă a grosimii și a proprietăților optice ale peliculelor subțiri este esențială - însă metodele tradiționale de contact pot deteriora probele delicate sau pot rata date cruciale. Astăzi, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. anunță cel mai recent elipsometru spectroscopic, un instrument de măsurare a grosimii nedistructiv conceput pentru...măsurarea grosimii plachetei, analiza indicelui de refracție și caracterizarea stivei multistrat.
Acest nou sistem combină o gamă spectrală largă, o sensibilitate ridicată și un software de modelare ușor de utilizat – toate într-o platformă compactă, de nivel de cercetare. Indiferent dacă trebuie să măsurați oxizi de porți ultra-subțiri, acoperiri antireflexie pe celule solare sau stive OLED complexe, elipsometrul spectroscopic MSK oferă date fiabile și repetabile, fără a contacta sau deteriora proba.
„Inginerii se luptă adesea să echilibreze precizia, viteza și siguranța probelor”a spus un manager de produs senior la MSK.„Elipsometrul nostru spectroscopic rezolvă această problemă – fiind un instrument autentic de măsurare a grosimii, oferă măsurarea grosimii plachetei și analiza constantei optice în câteva secunde, fără risc de zgârieturi sau contaminare.”
De ce să alegeți acest elipsometru spectroscopic ca instrument de măsurare a grosimii
Spre deosebire de profiloarele cu lungime de undă unică sau cele mecanice, acest elipsometru spectroscopic folosește lumina polarizată pentru a analiza modul în care o peliculă subțire modifică starea de polarizare a luminii. Din această măsurare, calculează simultan mai mulți parametri:
- Grosimea peliculei (de la straturi simple la stive complexe multistrat)
- Indicele de refracție (n) și coeficientul de extincție (k)
- Intervalul de bandă optică (Eg)
- Rugozitatea suprafeței
Fiind un instrument versatil de măsurare a grosimii, acesta gestionează grosimi de la pelicule ultra-subțiri (subnanometrice) până la pelicule relativ groase – fiind potrivit pentru orice, de la depunerea de straturi atomice până la acoperiri polimerice la scară micronică.
Măsurarea nedistructivă a grosimii plachetelor – esențială pentru producția de semiconductori
Pentru fabricarea semiconductorilor,măsurarea grosimii placheteieste esențială pentru controlul depunerii, gravării și proceselor CMP. Cu toate acestea, profiloarele mecanice cu stilou pot zgâria peliculele moi, iar reflectometrele optice adesea nu au sensibilitate pentru stivele multistrat.
Elipsometrul spectroscopic al MSK depășește aceste limitări:
- Fără contact și nedistructiv – fără risc de deteriorare a napolitanelor modelate sau a peliculelor delicate
- Sensibilitate ridicată – capabilă să detecteze variații de grosime sub nanometrice pe plachetă
- Analiză multistrat – măsoară straturi individuale în stive complexe (de exemplu, SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) fără interacțiune
Sistemul include o etapă de mapare automată care acceptă napolitane de până la 8 inci (200 mm) cu poziționare precisă. Utilizatorii pot genera hărți de distribuție a grosimii 2D și 3D cu un singur clic – ideală pentru monitorizarea uniformității procesului.
Dincolo de semiconductori: o gamă largă de aplicații
Deși optimizat pentru măsurarea grosimii plachetelor, acest elipsometru spectroscopic deservește numeroase industrii:
- Ecrane cu ecran plat – măsoară grosimile straturilor OLED și TFT
- Fotovoltaică – caracterizarea acoperirilor antireflexie, a oxizilor conductivi transparenți și a straturilor absorbante
- Acoperiri optice – verificare filtre trece-bandă, stive antireflexie și oglinzi cu reflectivitate ridicată
- Știința materialelor – studiază peliculele subțiri, materialele 2D și polimerii
- Biodetecție – detectarea straturilor moleculare pe suprafețe funcționalizate
Gama spectrală largă a instrumentului (de la ultraviolet la infraroșu apropiat) îi permite să caracterizeze materiale, de la pelicule litografice în ultraviolet profund până la acoperiri optice în infraroșu.
Avansat, dar ușor de utilizat: Software care funcționează pentru dvs.
Un instrument puternic de măsurare a grosimii trebuie să fie și practic pentru utilizarea zilnică. MSKelipsometru spectroscopicvine cu un software complet de analiză care include:
- Bază de date predefinită cu constante optice – peste 100 de materiale, inclusiv semiconductori, dielectrici și metale comune
- Modele multiple de dispersie – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, oscilatoare și altele
- Montaj multistrat – suportă până la 30 de straturi, inclusiv interfețe gradate și rugozitatea suprafeței
- Cartografiere cu un singur clic – generează automat rapoarte de uniformitate a grosimii pentru napolitane și substraturi mari
- Licențiere offline – permite analiza datelor pe computere separate fără a ocupa instrumentul
Interfața interactivă ghidată reduce timpul de instruire – noii utilizatori pot efectua măsurători de rutină ale grosimii plachetelor în câteva minute.
Conceput pentru medii de cercetare și producție
MSK oferă acest elipsometru spectroscopic în configurații multiple pentru a se potrivi nevoilor dumneavoastră:
- Sistem de laborator – perfect pentru laboratoarele de cercetare și dezvoltare și cercetarea universitară
- Configurație de mapare – include platforma X/Y de înaltă precizie pentru scanarea automată a plachetelor
- Intervale spectrale personalizabile – de la UV profund (193 nm) la infraroșu cu unde scurte (2500 nm)
- Opțiuni de platină cu temperatură controlată – pentru măsurători in situ de până la 1000°C
Instrumentul utilizează tehnologia compensatorului cu rotație duală, care măsoară toate cele 16 elemente ale matricei Mueller într-o singură achiziție. Aceasta oferă date mai bogate decât elipsometrele convenționale - utilă în special pentru probele anizotrope sau depolarizante.
Performanță fiabilă pentru QC critic
Pentru mediile de producție, repetabilitatea este esențială. Elipsometrul spectroscopic MSK oferă o stabilitate excepțională datorită:
- Detectoare răcite cu semiconductori – zgomot redus, gamă dinamică ridicată
- Autofocalizare cu laser – menține o poziție focală constantă pe întreaga mostră
- Design stabil al căii optice – minimizează deviația dintre calibrări
Sistemul îndeplinește standarde riguroase ale industriei, iar MSK furnizează rapoarte metrologice de la terți pentru a verifica precizia absolută a grosimii pe probele standard.
Personalizare și asistență – adaptate aplicației dumneavoastră
MSK înțelege că fiecare aplicație pentru peliculă subțire este unică. De aceea, compania oferă:
- Extensii personalizate ale intervalului spectral – alegeți benzile care se potrivesc cu materialele dvs.
- Etape specializate pentru probe – pentru dimensiuni nestandardizate ale plachetelor sau substraturi cu forme neobișnuite
- Personalizare software – adăugați modele de analiză specifice sau rutine de automatizare
- Instalare și instruire la fața locului – puneți echipa la curent rapid
Deoarece acesta este un instrument de înaltă precizie, prețul afișat pe pagina produsului este doar un avans. MSK invită cumpărătorii serioși să contacteze echipa de vânzări pentru o ofertă exactă bazată pe configurația necesară.
Consultanță tehnică gratuită și demonstrație
Nu sunteți sigur dacă elipsometria este potrivită pentru materialul dumneavoastră? MSK oferă consultanță tehnică gratuită.
Disponibilitate și informații de contact
Noua serie de elipsometre spectroscopice este disponibilă imediat pentru comenzi globale. Pentru a solicita o ofertă, a primi o broșură a produsului sau a programa o demonstrație online:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK primește solicitări de la fabricile de semiconductori, institutele de cercetare, producătorii de acoperiri optice și producătorii de celule solare – de la unități individuale la sisteme multiple.
Despre sculele CNC MSK
Fondată în 2015 și certificată ISO 9001, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. este specializată în instrumente de metrologie de înaltă precizie și scule de tăiere CNC. Cu echipamente de producție germane și taiwaneze și o echipă dedicată de cercetare și dezvoltare, MSK deservește clienți din Europa, America și Asia. Misiunea companiei este de a oferi soluții avansate, fiabile și rentabile pentru caracterizarea și prelucrarea materialelor.
Data publicării: 10 aprilie 2026
