MSK એ વેફર જાડાઈ માપન અને તેનાથી આગળ માટે એડવાન્સ્ડ સ્પેક્ટ્રોસ્કોપિક એલિપ્સોમીટર સાથે પ્રિસિઝન મેટ્રોલોજી પોર્ટફોલિયોનું વિસ્તરણ કર્યું

તમારા જાડાઈ માપવાના સાધન તરીકે આ સ્પેક્ટ્રોસ્કોપિક એલિપ્સોમીટર શા માટે પસંદ કરો?

સિંગલ-તરંગલંબાઇ અથવા મિકેનિકલ પ્રોફાઇલર્સથી વિપરીત, આ સ્પેક્ટ્રોસ્કોપિક એલિપ્સોમીટર ધ્રુવીકૃત પ્રકાશનો ઉપયોગ કરીને વિશ્લેષણ કરે છે કે પાતળી ફિલ્મ પ્રકાશની ધ્રુવીકરણ સ્થિતિને કેવી રીતે સુધારે છે. તે માપનમાંથી, તે એકસાથે અનેક પરિમાણોની ગણતરી કરે છે:

• ફિલ્મ જાડાઈ (એક સ્તરથી જટિલ બહુ-સ્તરીય સ્ટેક્સ)
• રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ (n) અને લુપ્તતા ગુણાંક (k)
• ઓપ્ટિકલ બેન્ડ ગેપ (દા.ત.)
• સપાટીની ખરબચડીતા

બહુમુખી જાડાઈ માપવાના સાધન તરીકે, તે અતિ-પાતળા (સબ-નેનોમીટર) થી પ્રમાણમાં જાડી ફિલ્મો સુધીની જાડાઈને સંભાળે છે - જે તેને અણુ સ્તરના નિક્ષેપથી લઈને માઇક્રોન-સ્કેલ પોલિમર કોટિંગ્સ સુધીની દરેક વસ્તુ માટે યોગ્ય બનાવે છે.

બિન-વિનાશક વેફર જાડાઈ માપન - સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે મહત્વપૂર્ણ

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે,વેફર જાડાઈ માપનડિપોઝિશન, એચિંગ અને CMP પ્રક્રિયાઓને નિયંત્રિત કરવા માટે તે જરૂરી છે. જો કે, મિકેનિકલ સ્ટાઇલસ પ્રોફાઇલર્સ સોફ્ટ ફિલ્મ્સને ખંજવાળી શકે છે, અને ઓપ્ટિકલ રિફ્લેક્ટરમીટરમાં ઘણીવાર મલ્ટિ-લેયર સ્ટેક્સ માટે સંવેદનશીલતાનો અભાવ હોય છે.

MSK નું સ્પેક્ટ્રોસ્કોપિક એલિપ્સોમીટર આ મર્યાદાઓને દૂર કરે છે:

• સંપર્ક રહિત અને વિનાશક નહીં - પેટર્નવાળા વેફર્સ અથવા નાજુક ફિલ્મને નુકસાન થવાનું કોઈ જોખમ નથી
• ઉચ્ચ સંવેદનશીલતા - વેફરમાં સબ-નેનોમીટર જાડાઈના ફેરફારો શોધવામાં સક્ષમ.
• બહુ-સ્તરીય વિશ્લેષણ - ક્રોસ-ટોક વિના જટિલ સ્ટેક્સ (દા.ત., SiO₂/Si₃N₄/પોલી‑Si) માં વ્યક્તિગત સ્તરોને માપે છે.

આ સિસ્ટમમાં એક ઓટોમેટિક મેપિંગ સ્ટેજ શામેલ છે જે ચોક્કસ સ્થિતિ સાથે 8 ઇંચ (200mm) સુધીના વેફર્સને સપોર્ટ કરે છે. વપરાશકર્તાઓ એક જ ક્લિકથી 2D અને 3D જાડાઈ વિતરણ નકશા જનરેટ કરી શકે છે - જે પ્રક્રિયા એકરૂપતા દેખરેખ માટે આદર્શ છે.