Yarimo'tkazgich fabrikalarida, ilmiy-tadqiqot laboratoriyalarida va optik qoplama zavodlarida yupqa plyonkalarning aniq qalinligi va optik xususiyatlarini bilish juda muhim - ammo an'anaviy kontakt usullari nozik namunalarga zarar etkazishi yoki muhim ma'lumotlarni o'tkazib yuborishi mumkin. Bugun MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. o'zining eng so'nggi spektroskopik ellipsometrini, ya'ni ... uchun ishlab chiqilgan buzilmas qalinlikni o'lchash asbobini e'lon qildi.gofret qalinligini o'lchash, sinish ko'rsatkichi tahlili va ko'p qatlamli stek tavsifi.
Ushbu yangi tizim keng spektral diapazon, yuqori sezgirlik va foydalanuvchilarga qulay modellashtirish dasturini birlashtiradi – bularning barchasi ixcham, tadqiqot darajasidagi platformada. Sizga ultra yupqa darvoza oksidlarini, quyosh batareyalaridagi aks ettiruvchi qoplamalarni yoki murakkab OLED steklarini o'lchash kerak bo'ladimi, MSK spektroskopik ellipsometri namunangizga tegmasdan yoki shikast yetkazmasdan ishonchli, takrorlanadigan ma'lumotlarni taqdim etadi.
"Muhandislar ko'pincha aniqlik, tezlik va namunalar xavfsizligi o'rtasida muvozanatni saqlashga qiynalishadi"dedi MSK mahsulotining yuqori lavozimli menejeri."Bizning spektroskopik ellipsometrimiz bu muammoni hal qiladi - haqiqiy qalinlikni o'lchash vositasi sifatida u bir necha soniya ichida plastinka qalinligini o'lchash va optik doimiy tahlilni ta'minlaydi, tirnalish yoki ifloslanish xavfi yo'q."
Nima uchun qalinlikni o'lchash vositasi sifatida ushbu spektroskopik ellipsometrni tanlash kerak
Bir to'lqinli yoki mexanik profilerlardan farqli o'laroq, ushbu spektroskopik ellipsometr yupqa plyonka yorug'likning polyarizatsiya holatini qanday o'zgartirishini tahlil qilish uchun polyarizatsiyalangan yorug'likdan foydalanadi. Ushbu o'lchov asosida u bir vaqtning o'zida bir nechta parametrlarni hisoblab chiqadi:
- Plyonka qalinligi (bir qavatli va murakkab ko'p qavatli qatlamlar)
- Sinish ko'rsatkichi (n) va yo'q bo'lish koeffitsienti (k)
- Optik tasma oralig'i (masalan)
- Sirt pürüzlülüğü
Ko'p qirrali qalinlikni o'lchash vositasi sifatida, u ultra yupqa (subnanometr) dan nisbatan qalin plyonkalargacha bo'lgan qalinliklarni qayta ishlaydi - bu uni atom qatlamini cho'ktirishdan tortib mikron o'lchamli polimer qoplamalarigacha bo'lgan hamma narsaga moslashtiradi.
Buzilmaydigan plastinka qalinligini o'lchash - yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun juda muhim
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun,gofret qalinligini o'lchashcho'ktirish, o'yib ishlov berish va CMP jarayonlarini boshqarish uchun juda muhimdir. Biroq, mexanik stilus profilerlari yumshoq plyonkalarni tirnashi mumkin va optik reflektometrlar ko'pincha ko'p qatlamli steklarga sezgir emas.
MSK spektroskopik ellipsometri ushbu cheklovlarni yengib chiqadi:
- Kontaktsiz va buzilmaydi – naqshli plyonkalar yoki nozik plyonkalarga zarar yetkazish xavfi yo'q
- Yuqori sezuvchanlik – plastinka bo'ylab nanometrdan kichik qalinlikdagi o'zgarishlarni aniqlashga qodir
- Ko'p qatlamli tahlil – murakkab steklardagi (masalan, SiO₂/Si₃N₄/poly‑Si) alohida qatlamlarni o'zaro bog'liqliksiz o'lchaydi
Tizim 8 dyuymgacha (200 mm) bo'lgan plastinkalarni aniq joylashuv bilan qo'llab-quvvatlaydigan avtomatik xaritalash bosqichini o'z ichiga oladi. Foydalanuvchilar bir marta bosish orqali 2D va 3D qalinlikdagi taqsimot xaritalarini yaratishlari mumkin - bu jarayonlarning bir xilligini kuzatish uchun ideal.
Yarimo'tkazgichlardan tashqari: Keng qo'llanilish doirasi
Ushbu spektroskopik ellipsometr plastinka qalinligini o'lchash uchun optimallashtirilgan bo'lsa-da, ko'plab sohalarga xizmat ko'rsatadi:
- Yassi panelli displeylar – OLED va TFT qatlam qalinligini o'lchaydi
- Fotovoltaika – aks ettiruvchi qoplamalar, shaffof o'tkazuvchan oksidlar va yutuvchi qatlamlarni tavsiflaydi
- Optik qoplamalar – o'tkazuvchanlik filtrlarini, aks ettiruvchi steklarni va yuqori aks ettiruvchi oynalarni tekshiring
- Materialshunoslik – yupqa plyonkalar, 2D materiallar va polimerlarni o'rganish
- Biosensing – funksionallashtirilgan sirtlarda molekulyar qatlamlarni aniqlash
Asbobning keng spektral diapazoni (ultrabinafshadan yaqin infraqizilgacha) unga chuqur ultrabinafsha litografiya plyonkalaridan infraqizil optik qoplamalargacha bo'lgan materiallarni tavsiflash imkonini beradi.
Murakkab, ammo foydalanish oson: Siz uchun ishlaydigan dasturiy ta'minot
Kuchli qalinlikni o'lchash vositasi kundalik foydalanish uchun ham amaliy bo'lishi kerak. MSK'sspektroskopik ellipsometrquyidagilarni o'z ichiga olgan keng qamrovli tahlil dasturi bilan birga keladi:
- Oldindan yaratilgan optik doimiy ma'lumotlar bazasi - keng tarqalgan yarimo'tkazgichlar, dielektriklar va metallarni o'z ichiga olgan 100 dan ortiq materiallar
- Ko'p dispersiyali modellar – Koshi, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, osilatorlar va boshqalar
- Ko'p qatlamli o'rnatish – tekislangan interfeyslar va sirt pürüzlülüğünü o'z ichiga olgan holda 30 tagacha qatlamni qo'llab-quvvatlaydi
- Bir marta bosish orqali xaritalash – plastinkalar va katta substratlar uchun qalinlik bir xilligi hisobotlarini avtomatik ravishda yaratadi
- Oflayn litsenziyalash – asbobni bog'lamasdan alohida kompyuterlarda ma'lumotlarni tahlil qilish imkonini beradi
Boshqariladigan, interaktiv interfeys o'qitish vaqtini qisqartiradi - yangi foydalanuvchilar bir necha daqiqada odatiy plastinka qalinligini o'lchashni amalga oshirishlari mumkin.
Tadqiqot va ishlab chiqarish muhitlari uchun mo'ljallangan
MSK ushbu spektroskopik ellipsometrni sizning ehtiyojlaringizga mos keladigan bir nechta konfiguratsiyalarda taklif etadi:
- Stol usti tizimi – ilmiy-tadqiqot laboratoriyalari va universitet tadqiqotlari uchun juda mos keladi
- Xaritalash konfiguratsiyasi – avtomatlashtirilgan plastinka skanerlash uchun yuqori aniqlikdagi X/Y bosqichini o'z ichiga oladi
- Moslashtiriladigan spektral diapazonlar – chuqur UV (193 nm) dan qisqa to'lqinli infraqizil (2500 nm) gacha
- Haroratni nazorat qilish bosqichi variantlari – 1000°C gacha bo'lgan in-situ o'lchovlari uchun
Asbob ikki marta aylanadigan kompensator texnologiyasidan foydalanadi, bu esa barcha 16 ta Myuller matritsasi elementlarini bitta o'lchashda o'lchaydi. Bu an'anaviy ellipsometrlarga qaraganda boyroq ma'lumotlarni taqdim etadi - ayniqsa anizotrop yoki depolyarizatsiya qiluvchi namunalar uchun foydalidir.
Muhim QC uchun ishonchli ishlash
Ishlab chiqarish muhiti uchun takrorlanuvchanlik hamma narsadir. MSK spektroskopik ellipsometri quyidagilar tufayli ajoyib barqarorlikni ta'minlaydi:
- Yarimo'tkazgichli sovutgichli detektorlar – past shovqin, yuqori dinamik diapazon
- Lazerli avtofokus - namuna bo'ylab izchil fokus holatini saqlaydi
- Barqaror optik yo'l dizayni – kalibrlashlar orasidagi o'zgarishni minimallashtiradi
Tizim qat'iy sanoat standartlariga javob beradi va MSK standart namunalarda mutlaq qalinlik aniqligini tekshirish uchun uchinchi tomon metrologiya hisobotlarini taqdim etadi.
Moslashtirish va qo'llab-quvvatlash – Sizning ilovangizga moslashtirilgan
MSK har bir yupqa plyonkali dastur noyob ekanligini tushunadi. Shuning uchun kompaniya quyidagilarni taklif qiladi:
- Maxsus spektral diapazon kengaytmalari – materiallaringizga mos keladigan polosani tanlang
- Ixtisoslashgan namunaviy bosqichlar – nostandart gofret o'lchamlari yoki g'alati shakldagi substratlar uchun
- Dasturiy ta'minotni sozlash – maxsus tahlil modellari yoki avtomatlashtirish tartiblarini qo'shish
- Joyida o'rnatish va o'qitish – jamoangizni tezda ishga tayyorlang
Bu yuqori aniqlikdagi asbob bo'lgani uchun, mahsulot sahifasida ko'rsatilgan narx faqat depozit hisoblanadi. MSK jiddiy xaridorlarni sizning talab qilinadigan konfiguratsiyangizga asoslangan aniq narxni olish uchun savdo guruhiga murojaat qilishga taklif qiladi.
Bepul texnik maslahat va demo
Ellipsometriya sizning materialingiz uchun to'g'ri keladimi yoki yo'qmi, amin emasmisiz? MSK bepul texnik maslahat beradi.
Mavjudlik va aloqa ma'lumotlari
Yangi spektroskopik ellipsometr seriyasi global buyurtmalar uchun darhol mavjud. Narx so'rash, mahsulot broshyurasi olish yoki jonli onlayn demo tashkil qilish uchun:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Veb:www.mskcnctools.com
MSK yarimo'tkazgich fabrikalari, tadqiqot institutlari, optik qoplama ishlab chiqaruvchilari va quyosh batareyalari ishlab chiqaruvchilarining - bitta blokdan tortib bir nechta tizimlargacha bo'lgan so'rovlarini qabul qiladi.
MSK CNC asboblari haqida
2015-yilda tashkil etilgan va ISO 9001 sertifikatiga ega bo'lgan MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. yuqori aniqlikdagi metrologiya asboblari va CNC kesish asboblariga ixtisoslashgan. Germaniya va Tayvan ishlab chiqarish uskunalari va maxsus ilmiy-tadqiqot guruhi bilan MSK Yevropa, Amerika va Osiyodagi mijozlarga xizmat ko'rsatadi. Kompaniyaning vazifasi materiallarni tavsiflash va ishlov berish uchun ilg'or, ishonchli va tejamkor yechimlarni taqdim etishdir.
Nashr vaqti: 2026-yil 10-aprel
