На паўправадніковых заводах, у навукова-даследчых лабараторыях і на заводах па нанясенні аптычных пакрыццяў веданне дакладнай таўшчыні і аптычных уласцівасцей тонкіх плёнак мае вырашальнае значэнне, аднак традыцыйныя кантактныя метады могуць пашкодзіць далікатныя ўзоры або прапусціць важныя дадзеныя. Сёння кампанія MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd. абвясціла аб сваім найноўшым спектраскапічным эліпсаметры — неразбуральным прыборе для вымярэння таўшчыні, распрацаваным для...вымярэнне таўшчыні пласціны, аналіз паказчыка праламлення і характарыстыка шматслаёвага стэка.
Гэтая новая сістэма спалучае шырокі спектральны дыяпазон, высокую адчувальнасць і зручнае праграмнае забеспячэнне для мадэлявання — усё гэта ў кампактнай платформе даследчага класа. Незалежна ад таго, ці трэба вам вымяраць ультратонкія аксіды затвораў, антыблікавыя пакрыцці на сонечных элементах або складаныя OLED-стэкі, спектраскапічны эліпсаметр MSK забяспечвае надзейныя і паўтаральныя дадзеныя без кантакту з узорам або яго пашкоджання.
«Інжынерам часта цяжка знайсці баланс паміж дакладнасцю, хуткасцю і бяспекай узораў»,сказаў старэйшы менеджэр па прадуктах MSK.«Наш спектраскапічны эліпсаметр вырашае гэтую праблему — як сапраўдны прыбор для вымярэння таўшчыні, ён забяспечвае вымярэнне таўшчыні пласціны і аналіз аптычнай канстанты за лічаныя секунды без рызыкі драпін або забруджвання».
Чаму варта выбраць гэты спектраскапічны эліпсаметр у якасці прыбора для вымярэння таўшчыні
У адрозненне ад аднахвалевых або механічных прафіляметраў, гэты спектраскапічны эліпсаметр выкарыстоўвае палярызаванае святло для аналізу таго, як тонкая плёнка змяняе стан палярызацыі святла. Зыходзячы з гэтага вымярэння, ён адначасова разлічвае некалькі параметраў:
- Таўшчыня плёнкі (ад аднаслаёвай да складаных шматслаёвых стэкаў)
- Паказчык праламлення (n) і каэфіцыент згасання (k)
- Аптычная забароненая зона (Eg)
- Шурпатасць паверхні
Як універсальны прыбор для вымярэння таўшчыні, ён апрацоўвае таўшчыні ад ультратонкіх (субнанаметравых) да адносна тоўстых плёнак, што робіць яго прыдатным для ўсяго: ад нанясення атамных слаёў да нанясення палімерных пакрыццяў мікраннага маштабу.
Неразбуральнае вымярэнне таўшчыні пласцін — крытычна важнае значэнне для вытворчасці паўправаднікоў
Для вытворчасці паўправаднікоў,вымярэнне таўшчыні пласцінымае важнае значэнне для кантролю працэсаў нанясення, травлення і CMP. Аднак механічныя прафілометры са стылусам могуць падрапаць мяккія плёнкі, а аптычныя рэфлектометры часта не маюць адчувальнасці да шматслаёвых стэкаў.
Спектраскапічны эліпсаметр MSK пераадольвае гэтыя абмежаванні:
- Бескантактавы і неразбуральны — няма рызыкі пашкоджання ўзорчатых пласцін або далікатных плёнак
- Высокая адчувальнасць — здольнасць выяўляць змены таўшчыні пласціны ў межах нанаметраў
- Шматслаёвы аналіз — вымярэнне асобных слаёў у складаных стэках (напрыклад, SiO₂/Si₃N₄/полі-Si) без перакрыжаваных перашкод
Сістэма ўключае ў сябе аўтаматычную пляцоўку для картаграфавання, якая падтрымлівае пласціны памерам да 8 цаляў (200 мм) з дакладным пазіцыянаваннем. Карыстальнікі могуць ствараць 2D- і 3D-карты размеркавання таўшчыні адным пстрычкай мышы — ідэальна падыходзіць для кантролю аднастайнасці працэсу.
Па-за паўправаднікамі: шырокі дыяпазон прымянення
Хоць гэты спектраскапічны эліпсаметр аптымізаваны для вымярэння таўшчыні пласцін, ён падыходзіць для многіх галін прамысловасці:
- Плоскія дысплеі — вымярэнне таўшчыні слаёў OLED і TFT
- Фотаэлектрыка — характарызуе антыблікавыя пакрыцці, празрыстыя праводзячыя аксіды і паглынальныя пласты
- Аптычныя пакрыцці — праверка паласавых фільтраў, антыблікавых пакетаў і люстэркаў з высокай адбівальнай здольнасцю
- Матэрыялазнаўства — вывучэнне тонкіх плёнак, двухмерных матэрыялаў і палімераў
- Біясенсінг — выяўленне малекулярных слаёў на функцыяналізаваных паверхнях
Шырокі спектральны дыяпазон прыбора (ад ультрафіялетавага да блізкага інфрачырвонага) дазваляе яму характарызаваць матэрыялы, ад плёнак глыбокага УФ-літаграфіі да інфрачырвоных аптычных пакрыццяў.
Пашыранае, але простае ў выкарыстанні: праграмнае забеспячэнне, якое працуе для вас
Магутны прыбор для вымярэння таўшчыні павінен быць таксама практычным для штодзённага выкарыстання. MSKспектраскапічны эліпсаметрпастаўляецца з комплексным праграмным забеспячэннем для аналізу, якое ўключае:
- Папярэдне створаная база дадзеных аптычных канстант — больш за 100 матэрыялаў, у тым ліку распаўсюджаныя паўправаднікі, дыэлектрыкі і металы
- Шматлікія мадэлі дысперсіі — Кошы, Зельмейера, Таўка-Лорэнца, B-сплайн, асцылятары і іншыя
- Шматслаёвая фітынга — падтрымлівае да 30 слаёў, уключаючы градуяваныя інтэрфейсы і шурпатасць паверхні
- Картаграфаванне адным пстрычкай мышы — аўтаматычна стварае справаздачы аб аднастайнасці таўшчыні для пласцін і вялікіх падкладак
- Аўтаномнае ліцэнзаванне — дазваляе аналізаваць дадзеныя на асобных кампутарах без прывязкі прыбора да канкрэтнай сістэмы.
Інтэрактыўны інтэрфейс з інструкцыямі скарачае час навучання — новыя карыстальнікі могуць выконваць звычайныя вымярэнні таўшчыні пласцін за лічаныя хвіліны.
Распрацавана для даследаванняў і вытворчасці
MSK прапануе гэты спектраскапічны эліпсаметр у некалькіх канфігурацыях, каб задаволіць вашыя патрэбы:
- Настольная сістэма — ідэальна падыходзіць для навукова-даследчых лабараторый і універсітэцкіх даследаванняў
- Канфігурацыя мапавання — уключае высокадакладны X/Y-столік для аўтаматычнага сканавання пласцін
- Наладжвальныя спектральныя дыяпазоны — ад глыбокага ультрафіялетавага выпраменьвання (193 нм) да кароткахвалевага інфрачырвонага выпраменьвання (2500 нм)
- Варыянты платформы з рэгуляваннем тэмпературы — для вымярэнняў in situ да 1000°C
Прыбор выкарыстоўвае тэхналогію падвойнага кампенсатара з паваротам, якая вымярае ўсе 16 элементаў матрыцы Мюлера за адзін набор дадзеных. Гэта забяспечвае больш шырокія дадзеныя, чым звычайныя эліпсаметры, што асабліва карысна для анізатропных або дэпалярызацыйных узораў.
Надзейная праца для крытычна важнага кантролю якасці
Для вытворчых асяроддзяў паўтаральнасць — гэта галоўнае. Спектраскапічны эліпсаметр MSK забяспечвае выключную стабільнасць дзякуючы:
- Паўправадніковыя дэтэктары з астуджэннем — нізкі ўзровень шуму, шырокі дынамічны дыяпазон
- Лазерная аўтафокусіроўка — падтрымлівае паслядоўнае становішча фокуса па ўсім узоры
- Стабільная канструкцыя аптычнага шляху — мінімізуе дрэйф паміж каліброўкамі
Сістэма адпавядае строгім галіновым стандартам, а MSK прадастаўляе справаздачы трэціх асоб па метралогіі для праверкі абсалютнай дакладнасці таўшчыні стандартных узораў.
Налада і падтрымка — адаптаваныя да вашага прыкладання
MSK разумее, што кожнае прымяненне тонкай плёнкі ўнікальнае. Таму кампанія прапануе:
- Пашырэнне спектральнага дыяпазону на заказ — выбірайце дыяпазоны, якія адпавядаюць вашым матэрыялам
- Спецыялізаваныя стойкі для ўзораў — для нестандартных памераў пласцін або падкладак няправільнай формы
- Налада праграмнага забеспячэння — даданне пэўных мадэляў аналізу або працэдур аўтаматызацыі
- Усталёўка і навучанне на месцы — хутка дайце сваёй камандзе магчымасць працаваць
Паколькі гэта высокадакладны прыбор, цана, паказаная на старонцы прадукту, з'яўляецца толькі перадаплатай. MSK запрашае сур'ёзных пакупнікоў звязацца з аддзелам продажаў для атрымання дакладнай прапановы ў залежнасці ад патрэбнай вам канфігурацыі.
Бясплатная тэхнічная кансультацыя і дэманстрацыя
Не ўпэўненыя, ці падыходзіць эліпсаметрыя для вашага матэрыялу? MSK прапануе бясплатную тэхнічную кансультацыю.
Даступнасць і кантактная інфармацыя
Новая серыя спектраскапічных эліпсаметраў даступная для заказаў па ўсім свеце. Каб запытаць прапанову, атрымаць брашуру аб прадукце або дамовіцца аб анлайн-дэманстрацыі:
Email: molly@mskcnctools.com
Тэлефон: 0086-13602071763
Вэб:www.mskcnctools.com
MSK вітае запыты ад паўправадніковых заводаў, навукова-даследчых інстытутаў, вытворцаў аптычных пакрыццяў і вытворцаў сонечных батарэй — ад асобных адзінак да некалькіх сістэм.
Пра інструменты з ЧПУ MSK
Кампанія MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd., заснаваная ў 2015 годзе і сертыфікаваная па стандарту ISO 9001, спецыялізуецца на вытворчасці высокадакладных метралагічных прыбораў і інструментаў для рэзкі з ЧПУ. Дзякуючы нямецкаму і тайваньскаму вытворчаму абсталяванню і спецыялізаванай камандзе даследаванняў і распрацовак, MSK абслугоўвае кліентаў па ўсёй Еўропе, Амерыцы і Азіі. Місія кампаніі — прадастаўляць перадавыя, надзейныя і эканамічна эфектыўныя рашэнні для характарыстыкі і апрацоўкі матэрыялаў.
Час публікацыі: 10 красавіка 2026 г.
